Requirementsforsemiconductorequipmentmanufacturinginformationtagging前言 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語和定義 1I本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(TC203)提出并歸口。體科技有限公司、北京京運通科技股份有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公信息的拷貝、印刷和屏幕顯示穩(wěn)定精確的在線檢索以及在將原始資科整合到培訓(xùn)2規(guī)范性引用文件凡是不注由期的引用文件，其最新版本(包斷有的修改單)適用于本文件。ISO8379.1986/A1:19一致性編寫應(yīng)用程序用于創(chuàng)建一致性文檔。對于一致性編寫應(yīng)用程序一致性元素是使用半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識為該類元素規(guī)定名稱和標(biāo)1照結(jié)構(gòu)模型(例如DTD或Schema)劃分。2標(biāo)簽tag標(biāo)簽是符合SGML標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則的一串字符(也用于XML和HTML)。標(biāo)簽位于數(shù)據(jù)流中，指示可擴展鏈接語言extensiblelinkinglanguage可擴展標(biāo)記語言extensiblemarsuplangu接規(guī)范可以為半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)調(diào)規(guī)定的超文本鏈接提供語法XSL樣式表語言在本標(biāo)準(zhǔn)中既未——限制條件檢索(提高精度);4.2SGML標(biāo)準(zhǔn)和XML建議語族則應(yīng)完全符合W3CXML建議。規(guī)定超文本鏈接符合可擴展鏈接語言(XLL)也是為了達到上述目的。和XML句法編寫的DTDs應(yīng)符合SGML的XML子集要求，不應(yīng)使用XML所禁止的功能和語法，如34.4.1文檔(信息)模型可以命名元素，描述元素之間的關(guān)系以及設(shè)置標(biāo)記或內(nèi)容限制，并控制信息 URL等。 4——通過對頂層和下層的命名創(chuàng)建明確的層次結(jié)構(gòu)。(一個<section>可以包含一個或多個<subsections>,而每一個<subsections>也可以包含一個或多個<sub-subsections>,以此類推。)——RCDATA和CDATA聲明內(nèi)容(元素和實體不能被識別的字符數(shù)據(jù));——“AND”連接器(用于指定需要連接的所有元素，但順序無關(guān)緊要);—CDATA(字符數(shù)據(jù)) ID(當(dāng)前文檔中元素的唯一標(biāo)識符):——IDREF和IDREFS(同一文檔中指向其他——ENTITY或ENTITYS(一個或多個已定義的實體的名稱);——NMTOKEN或NMTOKENS(完全由名稱字符組成的一個或多個單詞)?！?REQUIRED(必須出現(xiàn)的);——#IMPLIED(可選擇的，可以被應(yīng)用程序應(yīng)用);——#FIXED(固定的，不能修改)。5創(chuàng)建可最大限度地重復(fù)使用，并且與XML兼容的SGML文檔，根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識產(chǎn)生的標(biāo)記實例應(yīng)符合以下要求：——字符“<”和“&”應(yīng)分別轉(zhuǎn)化為“&1t”和“&”; 數(shù)據(jù)內(nèi)容中可存在無標(biāo)記部分；——一般文本實體的替換文本應(yīng)格式良好，例如一個元素在一個實體內(nèi)開始，應(yīng)在該實體內(nèi)結(jié)束； 應(yīng)顯示所有屬性(包括默認(rèn)屬性),屬性值應(yīng)是格式良好的，帶有名稱、等號、引號； 除XML聲明之外，禁止使用處理指令，例如：<?XMLversion=“1.0”RMD='INTERNAL'>。5半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識的使用5.1一致性一致性文檔是符合半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識規(guī)定的文檔類標(biāo)記規(guī)則的支檔。非一致性文檔是未正確使用標(biāo)記或者未遵守半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識規(guī)定的標(biāo)記規(guī)則的文檔。應(yīng)用程序創(chuàng)建的一致性文檔應(yīng)可在沒有重要信息天夫的條件下與非他一致性應(yīng)用程序交換?？ㄖ滦詰?yīng)用程序何以為交換到其他系統(tǒng)的文檔或信息類傳遞標(biāo)記規(guī)則(信息模型)。一致性應(yīng)用程序用以創(chuàng)建呈現(xiàn)或者利用一致性文檔工作，包活瀏覽器、在線呈現(xiàn)軟件、打印與組合引擎、編輯器和編寫系統(tǒng)、搜索和檢索引擎等。當(dāng)把一致性文欄需入、轉(zhuǎn)化為軟件的內(nèi)部格式時，這些應(yīng)用程序應(yīng)能夠接受這些一數(shù)性學(xué)5.1.2一致性編寫應(yīng)用程序一致性編寫應(yīng)用程序應(yīng)可以生一致性信一個用程序如甲具有以下功能，則符合半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識要求——創(chuàng)建和處理一致性文檔： 創(chuàng)建和操縱大類或多類的一致性文檔； 導(dǎo)入一致性文檔到應(yīng)用程序和輸出匹配的一致性文檔： 將非一致性文檔轉(zhuǎn)換成一致性文檔。5.1.3一致性呈現(xiàn)應(yīng)用程序一致性呈現(xiàn)應(yīng)用程序應(yīng)可在不導(dǎo)致信息重大損失的條件下呈現(xiàn)(打印顯示、語音表達等)一致性文檔。呈現(xiàn)內(nèi)容應(yīng)與初始系統(tǒng)的目的保持一致，但無需達到精確拓制的程度。呈現(xiàn)應(yīng)用程序應(yīng)可以接受任何符合本標(biāo)準(zhǔn)要求的一致性文檔，并且以可視或非可視的形式呈現(xiàn)上述文檔。一致性呈現(xiàn)應(yīng)用程序應(yīng)不再對內(nèi)容等提出額外的要求或限制。例如，渲染引擎可以不要求模型中的可選元素出現(xiàn)，也可以不要求屬性值范圍比模型更嚴(yán)格。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識標(biāo)記的文檔應(yīng)按照SGML或者XML模型解析，并應(yīng)遵守本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的規(guī)則和標(biāo)簽庫。標(biāo)識驗證應(yīng)利用有效的SGML或XML分析程序完成，以獨立的形式或者合并到其他軟件包中。5.2半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識的維護6——備注(需要時)——相關(guān)元素(需要時);——與元素相關(guān)的屬性(如有);——呈現(xiàn)信息(需要時)——元素的標(biāo)記示例(需要時);7包括供內(nèi)部使用的附加元素(這些元素在交換前需要被刪除),例如，這些信息可能包括用于跟蹤內(nèi)部8 ——格式(Format)?！獊碓?Source)?！鏅?quán)(Rights)。9 A.4手冊元素A.4.2元數(shù)據(jù)除基本項目標(biāo)簽中的元數(shù)椐外，手逐應(yīng)鼓持基礎(chǔ)命名空間內(nèi)的元數(shù)據(jù)(手冊類型): 維護手冊通常經(jīng)過培訓(xùn)的維修技師在客戶現(xiàn)場進行設(shè)備的維修和保養(yǎng)時使用的手冊類型。 手冊型 A.6配方元素A.6.2元數(shù)據(jù) A.10.1元素描述除基本項目標(biāo)簽中的元數(shù)據(jù)外錯誤在碼元素還應(yīng)支持以下在塞礎(chǔ)命名空間內(nèi)