2024年離子注入設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)分析報(bào)告匯報(bào)人：XXX日期：XXX1contents目錄行業(yè)發(fā)展概述行業(yè)環(huán)境分析行業(yè)現(xiàn)狀分析行業(yè)格局及趨勢(shì)12342Part01行業(yè)發(fā)展概述行業(yè)定義行業(yè)發(fā)展歷程行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈3行業(yè)定義離子注入機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域，半導(dǎo)體領(lǐng)域中屬于晶圓制造設(shè)備，主要用于晶圓制造流程中的注入（摻雜）工序，主要方式和目的是通過(guò)加入少量雜質(zhì)使得原本導(dǎo)電性能很差的純凈硅變?yōu)橐环N有用的半導(dǎo)體。通過(guò)離子注入機(jī)的加速和引導(dǎo)，將需摻雜離子以離子束形式入射到材料中去，發(fā)生一系列理化反應(yīng)從而優(yōu)化材料表面性能。離子注入相較以往的高溫?zé)釘U(kuò)散法存在精確控制能量和劑量、均勻性好、純度高等優(yōu)點(diǎn)，已基本取代高溫?zé)釘U(kuò)散法成為主流工藝。根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機(jī)分為低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束離子注入機(jī)，應(yīng)用存在區(qū)別，如高能離子注入機(jī)因電子束能量較高，主要用于深埋層。離子注入機(jī)主要用于摻雜工藝。目前從摻雜工藝技術(shù)上有2種方法:一是高溫?zé)釘U(kuò)散法，即將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐，將雜質(zhì)擴(kuò)散到硅片內(nèi)的一種方法；二是離子注入法，通過(guò)離子注入機(jī)的加速和引導(dǎo)，將要摻雜的離子以離子束形式入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子發(fā)生一系列理化反應(yīng)，入射離子逐漸損失能量，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化，最后停留在材料中，從而優(yōu)化材料表面性能，或使材料獲得某些新的性能。4行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈離子注入機(jī)就是在離子源部分將雜質(zhì)分子進(jìn)行電離，從而產(chǎn)生大量的各種各樣的離子，通過(guò)萃取極的高壓，將所有的離子吸取出來(lái)進(jìn)而獲得所需的注入能量，然后利用束線部分的磁場(chǎng)，四極棱鏡，孔徑篩選器，來(lái)篩選出所需能量的離子及均勻性，最后利用靶室的各部件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)對(duì)硅片的均勻注入。機(jī)械材料、電氣材料、儀器儀表、真空系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)離子注入機(jī)設(shè)計(jì)、離子注入機(jī)制造集成電路制造、IGBT制造、太陽(yáng)能電池制造、AMOLED制造產(chǎn)業(yè)鏈概述5行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈機(jī)械材料、電氣材料、儀器儀表、真空系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈上游離子注入機(jī)設(shè)計(jì)、離子注入機(jī)制造產(chǎn)業(yè)鏈中游集成電路制造、IGBT制造、太陽(yáng)能電池制造、AMOLED制造產(chǎn)業(yè)鏈下游6Part02行業(yè)環(huán)境分析行業(yè)政治環(huán)境行業(yè)經(jīng)濟(jì)環(huán)境行業(yè)社會(huì)環(huán)境行業(yè)驅(qū)動(dòng)因素7行業(yè)政治環(huán)境描述8行業(yè)政治環(huán)境2突破集成電路關(guān)鍵裝備和材料，加強(qiáng)集成電路裝備、材料與工藝結(jié)合，研發(fā)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成電路生產(chǎn)線所用的光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、退火設(shè)備、單晶生長(zhǎng)設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備等《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)指導(dǎo)目錄(2016)》將高效N型晶體硅太陽(yáng)能離子注入機(jī)等太陽(yáng)能電池生產(chǎn)裝備，以及中束流、大束流、高能離子注入機(jī)等集成電路生產(chǎn)裝備列入名錄《首臺(tái)（套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2019年版）》集成電路為重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域，“十四五”規(guī)劃建設(shè)世界級(jí)產(chǎn)業(yè)集群。在裝備材料方面，加強(qiáng)裝備材料創(chuàng)新發(fā)展，突破光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、離子注入設(shè)備、濕法設(shè)備,檢測(cè)設(shè)備等集成電路前道核心工藝設(shè)備言戰(zhàn)網(wǎng)《上海市先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》901020304行業(yè)社會(huì)環(huán)境整體光伏產(chǎn)業(yè)來(lái)看，根據(jù)中國(guó)光伏行業(yè)協(xié)會(huì)（CPIA）的統(tǒng)計(jì)，2018年全球光伏設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為48億美元，同比增8%。太陽(yáng)能光伏設(shè)備可分為硅片生產(chǎn)、電池生產(chǎn)和組件生產(chǎn)三個(gè)環(huán)節(jié)的設(shè)備，其中離子注入主要用于電池生產(chǎn)，由于全球僅萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下凱世通、美國(guó)Intevac和日本真空技術(shù)三家生產(chǎn)太陽(yáng)能離子注入機(jī)，根據(jù)萬(wàn)業(yè)企業(yè)公告，2017年萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下凱世通和Intevac分別銷售15和2臺(tái)離子注入機(jī)（日本真空技術(shù)未披露銷量），以600萬(wàn)人民幣的平均單價(jià)來(lái)測(cè)算，則2017年離子注入機(jī)的市場(chǎng)規(guī)模至少為02億人民幣，占2017年全球光伏設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為0.3%以上。展望未來(lái)，隨著國(guó)內(nèi)光伏建設(shè)的政策支持與方案落地，疊加歐洲、印度與其他新興國(guó)家的發(fā)力，全球光伏裝機(jī)量有望持續(xù)增長(zhǎng)，從而帶來(lái)整體光伏設(shè)備與太陽(yáng)能離子注入設(shè)備行業(yè)的繼續(xù)成長(zhǎng)。10行業(yè)驅(qū)動(dòng)因素1234政策支持在中美持續(xù)對(duì)弈、中方政策高度重視、國(guó)有基金資金助力的情況下，離子注入機(jī)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在加速到來(lái)。由于離子注入機(jī)在集成電路制造前道設(shè)備中的不可替代性和目前被美日龍頭企業(yè)壟斷的市場(chǎng)現(xiàn)狀，我國(guó)在政策上對(duì)離子注入機(jī)重視程度較高，在多項(xiàng)政策中將離子注入機(jī)的研發(fā)列為戰(zhàn)略發(fā)展目標(biāo)。中國(guó)晶圓廠加速擴(kuò)建產(chǎn)能,半導(dǎo)體專用設(shè)備需求巨大離子注入設(shè)備占前道晶圓設(shè)備市場(chǎng)33份額，目前全球每年市場(chǎng)規(guī)模約1B億美元。根據(jù)離子注人設(shè)備產(chǎn)率和工藝注入量的不同.估計(jì)成熟制程產(chǎn)線每方片/月需要約2臺(tái)大束流離子注入機(jī)，先進(jìn)制程產(chǎn)線每萬(wàn)片/月需要約4-5臺(tái)大末流離子注入機(jī)。如中芯計(jì)劃投資76億美元新建的北京亦莊2Bnm一期.設(shè)計(jì)產(chǎn)能10方片/月,約需40臺(tái)離子注入機(jī).總計(jì)價(jià)值約12億人民幣。長(zhǎng)江存儲(chǔ)—條月產(chǎn)5方片12英寸存儲(chǔ)制造線.已采購(gòu)30余臺(tái)離子注入機(jī)。有望快速突破OLED面板離子注入技術(shù)瓶頸需求驅(qū)動(dòng):AMOLED已經(jīng)成為智能移動(dòng)設(shè)備面板的首選，除智能手機(jī)，AMOLED面板已滲透到智能手表、車載顯示和虛擬現(xiàn)實(shí)可穿戴設(shè)備等更多應(yīng)用領(lǐng)域。至2020年,AMOLED面板需求面積年復(fù)合增長(zhǎng)率將達(dá)40.7%。技術(shù)需求:目前主流TFT-LCD顯示的前段制造工藝和AMOLED前段制造工藝大部分設(shè)備相同,由于AMOLED采用LTPSTFT背板,需額外添加激光結(jié)晶設(shè)備和離子注入機(jī)。光伏需求加速離子注入設(shè)備改造N-PERT電池產(chǎn)線離子注入高效低成本,中國(guó)企業(yè)凱世通光伏領(lǐng)城實(shí)力強(qiáng)。全球光伏離子注入企業(yè)僅有三家，除凱世通外,還有美國(guó)Irntevac和日本真空。凱世通專注離子注入技術(shù)，緊抓中國(guó)巨大的市場(chǎng)，光伏領(lǐng)域出貨量世界第一、占據(jù)光侯離子注入絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)地位。中國(guó)光伏離子注入機(jī)潛在市場(chǎng)規(guī)模約為225億元:根據(jù)國(guó)家能源局2018年公布2017年全國(guó)新增光伏裝機(jī)58Gw,其中生產(chǎn)線超過(guò)000條，未來(lái)光伏的發(fā)展趨勢(shì)是高效單品的路線，通過(guò)產(chǎn)業(yè)鏈交流假如按照30%技術(shù)升級(jí)的需求進(jìn)行估算,中國(guó)有近30O條生產(chǎn)線需耍用離子注入設(shè)備來(lái)改造為N-PERT電池產(chǎn)線,市場(chǎng)空間較大。11Part03行業(yè)現(xiàn)狀分析行業(yè)現(xiàn)狀行業(yè)痛點(diǎn)12行業(yè)現(xiàn)狀下游消費(fèi)電子需求回暖，疊加汽車電子產(chǎn)業(yè)快速擴(kuò)張，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度高漲帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張，數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1024億美元，經(jīng)歷了2019年產(chǎn)業(yè)的整體萎縮，產(chǎn)業(yè)回彈規(guī)模更快細(xì)分產(chǎn)品類型而言，晶圓制造設(shè)備種類眾多且技術(shù)壁壘深厚，如光刻機(jī)等產(chǎn)品價(jià)格極高，是半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，相較2020年結(jié)構(gòu)（晶圓制造設(shè)備占比84%、封裝和測(cè)試分別占比9%和6%），封裝設(shè)備因銷售額同比增長(zhǎng)87%左右，遠(yuǎn)高于晶圓設(shè)備增速（44%）和測(cè)試設(shè)備（30%），占比提升至12%左右。離子注入機(jī)屬于半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵設(shè)備，占比晶圓制造設(shè)備價(jià)值量4-6%左右。13行業(yè)市場(chǎng)情況隨著下游消費(fèi)電子領(lǐng)域回升和汽車電子等需求持續(xù)增長(zhǎng)，2020-2021年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度回升，離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)?？焖贁U(kuò)張，2019年達(dá)18億美元左右，根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備總體規(guī)模變化情況預(yù)測(cè)，2021年全球離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)30億美元，2022年上半年來(lái)看，主要晶圓廠訂單減少，整體半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域增長(zhǎng)將降速，離子注入機(jī)需求增長(zhǎng)有限。目前，全球離子注入機(jī)仍以大束流離子注入機(jī)為主，數(shù)據(jù)顯示，大束流離子注入機(jī)占全部離子注入機(jī)市場(chǎng)份額的61%，中低束流離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)分別占比20%和18%。主要原因是14行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模2016年中國(guó)離子注入機(jī)的市場(chǎng)規(guī)模約為222億元，2020年增長(zhǎng)至453億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為168%，近3年復(fù)合增長(zhǎng)率為223%。從過(guò)去市場(chǎng)表現(xiàn)來(lái)看，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模增速均高于行業(yè)增速，未來(lái)隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠加速擴(kuò)張，對(duì)離子注入機(jī)的采購(gòu)需求將隨之快速增長(zhǎng)，中國(guó)市場(chǎng)有望持續(xù)領(lǐng)跑全球增速。離子注入機(jī)按下游應(yīng)用領(lǐng)域不同，可以分為集成電路離子注入機(jī)、光伏離子注入機(jī)和AMOLED離子注入機(jī)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，截至2020年我國(guó)離子注入機(jī)總產(chǎn)量為26臺(tái)，同比2019年增加了6臺(tái)。15行業(yè)現(xiàn)狀進(jìn)出口目前高端集成電路離子注入機(jī)仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，就數(shù)量而言，進(jìn)口和出口整體皆表現(xiàn)為穩(wěn)步增長(zhǎng)趨勢(shì)，進(jìn)口增速略高于出口增速，尤其2021年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)也需求大幅度上升背景下，離子注入機(jī)進(jìn)口量增加154臺(tái)，進(jìn)口金額增長(zhǎng)45%至13億美元，出口而言雖然出口量有所上升，但產(chǎn)品主要為中低端產(chǎn)品，對(duì)比進(jìn)出口均價(jià)而言，單臺(tái)離子注入機(jī)進(jìn)口均價(jià)是出口均價(jià)的40倍以上。進(jìn)口來(lái)源地就我國(guó)離子注入機(jī)進(jìn)口來(lái)源分布而言，美國(guó)是最大供給國(guó)，數(shù)據(jù)顯示2021年我國(guó)從美國(guó)進(jìn)口234臺(tái)離子注入機(jī)，金額達(dá)11億美元，除此之外，日韓等半導(dǎo)體發(fā)展較快的發(fā)達(dá)國(guó)家也是進(jìn)口關(guān)鍵來(lái)源國(guó)，分別從日本和韓國(guó)進(jìn)口74和35臺(tái)。16流通環(huán)節(jié)有待完善離子注入設(shè)備產(chǎn)品種類繁多，消費(fèi)數(shù)量較大，質(zhì)量參差不齊，試劑流通管理難以完善，導(dǎo)致離子注入設(shè)備行業(yè)目前在流通領(lǐng)域還面臨許多問(wèn)題。（1）在產(chǎn)品的流通中，許多環(huán)節(jié)缺少安全的冷鏈和冷庫(kù)設(shè)施供應(yīng)。在目前運(yùn)輸多為汽車和鐵路運(yùn)輸?shù)那闆r下，離子注入設(shè)備行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)普遍采用運(yùn)輸箱內(nèi)置冰凍袋的冷藏方式，在高溫天氣或長(zhǎng)距離運(yùn)輸?shù)那闆r下無(wú)法確保運(yùn)輸溫度的穩(wěn)定，影響試劑的安全性。（2）監(jiān)管人員技術(shù)水平有待提高。離子注入設(shè)備產(chǎn)品是一種高技術(shù)含量的產(chǎn)品，產(chǎn)品研發(fā)涉及生物學(xué)、信息技術(shù)、電子技術(shù)、工程學(xué)等多項(xiàng)學(xué)科，而目前從事離子注入設(shè)備行業(yè)的人員50%以上是工商、質(zhì)檢管理等專業(yè)背景的人員，缺少必要的專業(yè)技術(shù)知識(shí)。知識(shí)背景的不匹配使得管理流程漏洞頻發(fā)，離子注入設(shè)備行業(yè)整體監(jiān)管水平有待提高。（3）中間環(huán)節(jié)加價(jià)嚴(yán)重。出于安全的考慮，國(guó)家對(duì)離子注入設(shè)備行業(yè)進(jìn)出口標(biāo)準(zhǔn)與流程嚴(yán)格把控，環(huán)節(jié)復(fù)雜，中間環(huán)節(jié)加價(jià)嚴(yán)重，代理公司的介入可能使產(chǎn)品出廠價(jià)格上漲至少一倍以上，導(dǎo)致產(chǎn)品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力下降，阻礙本土離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)的國(guó)際化進(jìn)程。流通環(huán)節(jié)問(wèn)題中間環(huán)節(jié)加價(jià)嚴(yán)重供應(yīng)鏈質(zhì)量監(jiān)管Part04行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局及趨勢(shì)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局行業(yè)代表企業(yè)18&&&行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局概述行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局概述中國(guó)政府正大力推動(dòng)社會(huì)資本進(jìn)入離子注入設(shè)備行業(yè)，對(duì)離子注入設(shè)備行業(yè)產(chǎn)品需求被迅速拉動(dòng)，需求量呈現(xiàn)上升趨勢(shì)，離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)進(jìn)軍國(guó)民經(jīng)濟(jì)大產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略窗口期已經(jīng)來(lái)臨。離子注入設(shè)備行業(yè)各業(yè)態(tài)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)激烈，當(dāng)前，市場(chǎng)上50%以上的離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)有外資介入，包括中外獨(dú)（合）資、臺(tái)港澳與境內(nèi)合資、外商獨(dú)資等，純內(nèi)資本土離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)數(shù)目較少，約占離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)總數(shù)的25%。此外，商業(yè)銀行逐步進(jìn)入離子注入設(shè)備行業(yè)，興業(yè)銀行、中心銀行、民生銀行等先后成立金融公司，涉足設(shè)備融資租賃業(yè)務(wù)。中國(guó)本土離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)根據(jù)租賃公司股東背景及運(yùn)營(yíng)機(jī)制的不同又可以劃分為廠商系、獨(dú)立系和銀行系三類三類離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)各有優(yōu)劣勢(shì)：（1）離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)具有設(shè)備技術(shù)優(yōu)勢(shì)，主要與母公司設(shè)備銷售聯(lián)動(dòng)，以設(shè)備、耗材的銷售利潤(rùn)覆蓋融資租賃成本；（2）獨(dú)立系離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)產(chǎn)業(yè)化程度高，易形成差異化商業(yè)模式，提供專業(yè)化的融資租賃服務(wù)；（3）銀行系離子注入設(shè)備行業(yè)企業(yè)背靠銀行股東，能夠以較低成本獲取資金，且在渠道體系等方面具備一定優(yōu)勢(shì)。行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國(guó)、美國(guó)和日本，其中，中國(guó)大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場(chǎng)份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場(chǎng)份額。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機(jī)知名廠商。凱世通作為萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下子公司，2020年受疫情影響離子注入機(jī)營(yíng)收大幅度下降，2021年產(chǎn)業(yè)回暖，達(dá)23億元，毛利水平整體較高。綜合來(lái)看，目前市場(chǎng)上離子注入機(jī)主要由美國(guó)和日本的廠商壟斷，知名公司還有臺(tái)灣AIBT漢辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）,SEN和Invetac等，其中日新公司是AMOLED離子注入機(jī)市場(chǎng)壟斷廠家，漢辰科技產(chǎn)品主要服務(wù)于臺(tái)積電，而國(guó)內(nèi)起步較晚，目前主要代表性的企業(yè)僅有凱世通和北京中科信電子裝備兩家:（1）中電科電子裝備自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)中束流離子注入機(jī)在中芯國(guó)際大生產(chǎn)線上穩(wěn)定流片逾200萬(wàn)，首臺(tái)200mmCMP設(shè)備實(shí)現(xiàn)了銷售。這是電科裝備承擔(dān)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”科技重大02專項(xiàng)所取得重大成果的縮影。（2）光伏競(jìng)爭(zhēng)格局目前全球只有凱世通、美國(guó)Intevac公司、日本真空3家公司主要從事光伏離子注入機(jī)的生產(chǎn)制造，凱世通的光伏離子注入機(jī)更被廣泛應(yīng)用，市場(chǎng)占有率全球第一。20行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國(guó)、美國(guó)和日本，其中，中國(guó)大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場(chǎng)份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場(chǎng)份額。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機(jī)知名廠商。凱世通作為萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下子公司，2020年受疫情影響離子注入機(jī)營(yíng)收大幅度下降，2021年產(chǎn)業(yè)回暖，達(dá)23億元，毛利水平整體較高。競(jìng)爭(zhēng)格局1（1）中電科電子裝備自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)中束流離子注入機(jī)在中芯國(guó)際大生產(chǎn)線上穩(wěn)定流