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半導(dǎo)體物理知識(shí)點(diǎn)總結(jié)
本章主要討論半導(dǎo)體中電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。主要介紹了半導(dǎo)體的幾種常見晶
體結(jié)構(gòu),半導(dǎo)體中能帶的形成,半導(dǎo)體中電子的狀態(tài)和能帶特點(diǎn),在講解半導(dǎo)體
中電子的運(yùn)動(dòng)時(shí),引入了有效質(zhì)量的概念。闡述本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu),引入了
空穴散射的概念。最后,介紹了Si、Ge和GaAs的能帶結(jié)構(gòu)。
在1.1節(jié),半導(dǎo)體的幾種常見晶體結(jié)構(gòu)及結(jié)合性質(zhì)。(重點(diǎn)掌握)在1.2節(jié),
為了深入理解能帶的形成,介紹了電子的共有化運(yùn)動(dòng)。介紹半導(dǎo)體中電子的狀態(tài)
和能帶特點(diǎn),并對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體的能帶進(jìn)行比較,在此基礎(chǔ)上引入本征
激發(fā)的概念。(重點(diǎn)掌握)在1.3節(jié),引入有效質(zhì)量的概念。討論半導(dǎo)體中電子
的平均速度和加速度。(重點(diǎn)掌握)在1.4節(jié),闡述本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu),由
此引入了空穴散射的概念,得到空穴的特點(diǎn)。(重點(diǎn)掌握)在1.5節(jié),介紹回旋
共振測(cè)試有效質(zhì)量的原理和方法。(理解即可)在1.6節(jié),介紹Si、Ge的能帶結(jié)
構(gòu)。(掌握能帶結(jié)構(gòu)特征)在L7節(jié),介紹HI-V族化合物的能帶結(jié)構(gòu),主要了解
GaAs的能帶結(jié)構(gòu)。(掌握能帶結(jié)構(gòu)特征)本章重建點(diǎn):
重點(diǎn):
1、半導(dǎo)體硅、銘的晶體結(jié)構(gòu)(金剛石型結(jié)杓)及其特點(diǎn);
三五族化合物半導(dǎo)體的閃鋅礦型結(jié)構(gòu)及其特點(diǎn)。
2、熟悉晶體中電子、孤立原子的電子、自由電子的運(yùn)動(dòng)有何不同:孤立原
子中的電子是在該原子的核和其它電子的勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),自由電子是在恒定為零的
勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),而晶體中的電子是在嚴(yán)格周期性重復(fù)排列的原子間運(yùn)動(dòng)(共有化運(yùn)
動(dòng)),單電子近似認(rèn)為,晶體中的某一個(gè)電子是在周期性排列且固定不動(dòng)的原子
核的勢(shì)場(chǎng)以及其它大量電子的平均勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),這個(gè)勢(shì)場(chǎng)也是周期性變化的,而
且它的周期與品格周期相同。
3、晶體中電子的共有化運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致分立的能級(jí)發(fā)生劈裂,是形成半導(dǎo)體能帶
的原因,半導(dǎo)體能帶的特點(diǎn):
①存在軌道雜化,失去能級(jí)與能帶的對(duì)應(yīng)關(guān)系。雜化后能帶重新分開為上
能帶和下能帶,上能帶稱為導(dǎo)帶,下能帶稱為價(jià)帶②低溫下,價(jià)帶填滿電子,導(dǎo)
帶全空,高溫下價(jià)帶中的一部分電子躍遷到導(dǎo)帶,使晶體呈現(xiàn)弱導(dǎo)電性。
③導(dǎo)帶與價(jià)帶間的能隙(Energygap)稱為禁帶(forbiddenband).禁帶寬
度取決于晶體種類、晶體結(jié)構(gòu)及溫度。
④當(dāng)原子數(shù)很大時(shí),導(dǎo)帶、價(jià)帶內(nèi)能級(jí)密度很大,可以認(rèn)為能級(jí)準(zhǔn)連續(xù)。
4、晶體中電子運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的數(shù)學(xué)描述:自由電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài):對(duì)于波矢為k
的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),自由電子的能量E,動(dòng)量p,速度v均有確定的數(shù)值。因此,波矢
k可用以描述自由電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),不同的k值標(biāo)志自由電子的不同狀態(tài),自由
電子的E和k的關(guān)系曲線呈拋物線形狀,是連續(xù)能譜,從零到無限大的所有能量
值都是允許的。晶體中的電子運(yùn)動(dòng):服從布洛赫定理:晶體中的電子是以調(diào)幅平
面波在晶體中傳播。這個(gè)波函數(shù)稱為布洛赫波函數(shù)。求解薛定渭方程,得到電子
在周期場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)其能量不連續(xù),形成一系列允帶和禁帶。一個(gè)允帶對(duì)應(yīng)的K
值范圍稱為布里淵區(qū)。
5、用能帶理論解釋導(dǎo)帶、半導(dǎo)體、絕Z彖體的導(dǎo)電性.
6、理解半導(dǎo)體中求E(k)與k的關(guān)系的方法:晶體中電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)要比
自由電子復(fù)雜得多,要得到它的E(k)表達(dá)式很困難。但在半導(dǎo)體中起作用地
是位于導(dǎo)帶底或價(jià)帶頂附近的電子。因此,可采用級(jí)數(shù)展開的方法研究帶底或帶
頂E(k)關(guān)系。
7、掌握電子的有效質(zhì)量的定義:=/(一維),注意,在能帶底是正值,在
能帶頂是負(fù)值。電子的速度為v=,注意v可以是正值,也可以是負(fù)值,這取決
于能量對(duì)波矢的變化率。
8、引入電子有效質(zhì)量后,半導(dǎo)體中電子所受的外力與加速度的關(guān)系具有牛
頓第二定律的形式,即@=。??梢娛且杂行з|(zhì)且代換了電子慣性質(zhì)量。
9、有效質(zhì)量的意義:在經(jīng)典牛頓第二定律口a二f/mO,式中f是外合力,是
慣性質(zhì)量。但半導(dǎo)體中電子在外力作用下,描述電子運(yùn)動(dòng)規(guī)律的方程中出現(xiàn)的是
有效質(zhì)量皿/,而不是電子的慣性質(zhì)量。這是因?yàn)橥饬并不是電子受力的總和,
半導(dǎo)體中的電子即使在沒有外加電場(chǎng)作用時(shí),它也要受到半導(dǎo)體內(nèi)部原子及其它
電子的勢(shì)場(chǎng)作用。當(dāng)電子在外力作用下運(yùn)動(dòng)時(shí),它一方面受到外電場(chǎng)力f的作用,
同時(shí)還和半導(dǎo)體內(nèi)部原子、電子相互作用著,電子的加速度應(yīng)該是半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)
場(chǎng)和外電場(chǎng)作用的綜合效果。但是,要找出內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的具體形式并且求得加速度
遇到一定的困難,引進(jìn)有效質(zhì)量后可使問題變得簡(jiǎn)單,直接把外力f和電子的加
速度聯(lián)系起來,而內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用則由有效質(zhì)量加以概括。因此,引進(jìn)有效質(zhì)量
的意義在于它概括了半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用,使得在解決半導(dǎo)體中電子在外力作
用下的運(yùn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)規(guī)律時(shí),可以不涉及到半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用。特別是mn*可以
直接由實(shí)驗(yàn)測(cè)定,因而可以很方便地解決電子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律。在能帶底部附近,
d2E/dk2>0,電子的有效質(zhì)量是正值;
在能帶頂附近,d2E/dk20,數(shù)值上與該處的電子有效質(zhì)量相同,即=一>0,
空穴帶電荷+q。
③空穴的能量坐標(biāo)與電子的相反,分布也服從能量最小原理。
13、本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu):對(duì)本征半導(dǎo)體,導(dǎo)帶中出現(xiàn)多少電子,價(jià)帶
中就對(duì)應(yīng)出現(xiàn)多少空穴,導(dǎo)帶上電子參與導(dǎo)電,價(jià)帶上空穴也參與導(dǎo)電,這就是
本征半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu)。這一點(diǎn)是半導(dǎo)體同金屬的最大差異,金屬中只有電子一
種荷載電流的粕子(稱為載流子),而半導(dǎo)體中有電子和空穴兩種載流子°正是
由于這兩種載流子的作用,使半導(dǎo)體表現(xiàn)出許多奇異的特性,可用來制造形形色
色的器件。
14、回旋共振的實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),硅、褚電子有效質(zhì)量各向異性,說明其等能面
各向異性。通過分析,在有六個(gè)橢球等能面,分別分布在晶向的六個(gè)等效晶軸上,
電子主要分布在這六個(gè)橢球的中心(極值)附近。僅從回旋共振的實(shí)驗(yàn)還不能決
定導(dǎo)帶極值(橢球中心)的確定位置。通過施主電子自旋共振熨驗(yàn)得出,硅的導(dǎo)
帶極值位于方向的布生淵區(qū)邊界的0.85倍處。
15、n型錯(cuò)的實(shí)驗(yàn)指出,錯(cuò)的導(dǎo)電極小值位于方向的布里淵區(qū)邊界上共有八
個(gè)。極值附近等能面為沿方向旋轉(zhuǎn)的八個(gè)橢球面;每個(gè)橢球面有半個(gè)在布里淵區(qū),
因此,在簡(jiǎn)約布里淵區(qū)共有四個(gè)橢球。
16、硅和錯(cuò)的價(jià)帶結(jié)構(gòu):有三條價(jià)帶,其中有兩條價(jià)帶的極值在k=0處重
合,有兩種空穴有效質(zhì)量與之對(duì)應(yīng),分別為重空穴和輕空穴,還有第三個(gè)價(jià)帶,
其帶頂比前兩個(gè)價(jià)帶降低了,對(duì)于硅,=0.04ev,對(duì)于鐳=0.29ev,這條價(jià)帶給
出了第三種空穴??昭ㄖ匾植荚谇皟蓚€(gè)價(jià)帶。在價(jià)帶頂附近,等能面接近平面。
17、神化綠的能帶結(jié)構(gòu):導(dǎo)帶極小值位于布里淵區(qū)中心k=0處,等能面為
球面,導(dǎo)帶底電子有效質(zhì)量為0.067。在方向布里淵區(qū)邊界還有一個(gè)導(dǎo)帶極小值,
極值附近的曲線的曲率比較小,所以此處電子有效質(zhì)量比較大,約為0.55,它
4、金剛石結(jié)構(gòu)的第一布里淵區(qū)是一個(gè)十四面體,(見教材圖1—11),要注
意圖中特殊點(diǎn)的位置。
5、有效質(zhì)量的意義:引入有效質(zhì)量后,電子的運(yùn)動(dòng)可用牛頓第二定律描述,
a=f/mn*o注意,這是一個(gè)經(jīng)典力學(xué)方程,f是外合力。半導(dǎo)體中的電子除了外
力作用外,還受到半導(dǎo)體內(nèi)部原子及其它電子勢(shì)場(chǎng)力的作用,這種作用隱含在有
效質(zhì)量中,這就使得在解決半導(dǎo)體中電子在外力作用下的運(yùn)動(dòng)規(guī)律時(shí),可以不涉
及半導(dǎo)體內(nèi)部勢(shì)場(chǎng)的作用。
6、價(jià)帶電子導(dǎo)電通常用空穴導(dǎo)電來描述。實(shí)踐證明,這樣做是十分方便的。
但是,如何理解空穴導(dǎo)電?設(shè)想價(jià)帶中一個(gè)電子被激發(fā)到價(jià)帶,此時(shí)價(jià)帶為不滿
帶,價(jià)帶中電子便可導(dǎo)電。設(shè)電子電流密度密度為J,則:J=價(jià)帶(k狀態(tài)空出)
電子總電流可以用下述方法計(jì)算出J的值。設(shè)想以一個(gè)電子填充到空的k狀態(tài),
這個(gè)電子的電流等于電子電荷F乘以k狀態(tài)電子的速度v(k),即k狀態(tài)電子電
流=(-q)v(k)填入這個(gè)電子后,價(jià)帶又被填滿,總電流應(yīng)為零,即J+(-q)
v(k)=0因而得到1=(+q)v(k)這就是說,當(dāng)價(jià)帶k狀態(tài)空出時(shí),價(jià)帶電
子的總電流,就如同一個(gè)正電荷的粒子以k狀態(tài)電子速度v(k)運(yùn)動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生
的電流。因此,通常把價(jià)帶中空著的狀態(tài)看成是帶正電的粒子,稱為空穴。引進(jìn)
這樣一個(gè)假象的粒子一一空穴后,便可以很簡(jiǎn)便地描述價(jià)帶(未填滿)的電流。
7、回旋共振原理及條件。
8、對(duì)E(k)表達(dá)式和回旋共振實(shí)驗(yàn)有效質(zhì)量表達(dá)式的處理。在k空間合理
的選取坐標(biāo)系,可是問題得到簡(jiǎn)化。如選取為能量零點(diǎn),以為坐標(biāo)原點(diǎn),取、、
為三個(gè)直角坐標(biāo)軸,分別與橢球主軸重合,并使軸沿橢球長(zhǎng)軸方向(即沿方向),
則等能面分別為繞軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)橢球面。E(k)表達(dá)式簡(jiǎn)化為E(k)=;
如果、軸選取恰當(dāng),計(jì)算可簡(jiǎn)單,選取使磁感應(yīng)強(qiáng)度B位于軸和軸所組成
的平面內(nèi),且同軸交角,則在這個(gè)坐標(biāo)系里,B的方向氽弦、、分別為=siu,=
0,=coso
本章基本概念及名詞術(shù)語:
1、原胞和晶胞:都是用來描述晶體中晶格周期性的最小重復(fù)單元,但二者
有所不同。在固體物理學(xué)中,原胞只強(qiáng)調(diào)晶格的周期性;
而在結(jié)晶學(xué)中,晶胞還要強(qiáng)調(diào)晶格中原子分布的對(duì)稱性。
2、電子的共有化運(yùn)動(dòng):原子組成晶體后,由于原子殼層的交疊,電子不再
局限在某一個(gè)原子上,可以由一個(gè)原子轉(zhuǎn)移到另一個(gè)原子上去,因而,電子將可
以在整個(gè)晶體中運(yùn)動(dòng),這種運(yùn)動(dòng)稱為電子的共有化運(yùn)動(dòng)。但須注意,因?yàn)楦髟?/p>
中相似殼層上的電子才有相同的能量,電子只能在相似殼層中轉(zhuǎn)移。
3、能帶產(chǎn)生的原因:
定性理論(物理概念):晶體中原子之間的相互作用,使能級(jí)分裂形成能帶
定量理論(量子力學(xué)計(jì)算):電子在周期場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),其能量不連續(xù)形成能帶。
能帶(energyband)包括允帶和禁帶。
允帶(allowedband):允許電子能量存在的能量范圍。
禁帶(forbiddcnband):不允許電子存在的能量范圍。
允帶又分為空帶、滿帶、導(dǎo)帶、價(jià)帶。
空帶(pmpt.yhand):不被電子占據(jù)的允帶c
滿帶(filledband):允帶中的能量狀態(tài)(能級(jí))均被電子占據(jù)。
導(dǎo)帶(conductionband):電子未占滿的允帶(有部分電子。)價(jià)帶
(valenceband):被價(jià)電子占據(jù)的允帶(低溫下通常被價(jià)電子占滿)。
4、用能帶理論解釋導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的導(dǎo)電性:
固體按其導(dǎo)電性分為導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體,其機(jī)理可以根據(jù)電子填充能
帶的情況來說明。
固體能夠?qū)щ?,是固體中的電子在外場(chǎng)的作用下定向運(yùn)動(dòng)的結(jié)果。由于電
場(chǎng)力對(duì)電子的加速作用,使電子的運(yùn)動(dòng)速度和能量都發(fā)生了變化。換言之,即電
子與外電場(chǎng)間發(fā)生能量交換。從能帶論來看,電子的能量變化,就是電子從一個(gè)
能級(jí)躍遷到另一個(gè)能級(jí)上去。對(duì)于滿帶,其中的能級(jí)已被電子所占滿,在外電場(chǎng)
作用下,滿帶中的電子并不形成電流,對(duì)導(dǎo)電沒有貢獻(xiàn),通常原子中的內(nèi)層電子
都是占據(jù)滿帶中的能級(jí),因而內(nèi)層電子對(duì)導(dǎo)電沒有貢獻(xiàn)。對(duì)丁被電子部分占滿的
能帶,在外電場(chǎng)作用下,電子可從外電場(chǎng)中吸收能量躍遷到未被電子占據(jù)的的能
級(jí)去,起導(dǎo)電作用,常稱這種能帶為導(dǎo)帶。金屬中,由于組成金屬的原子中的價(jià)
電子占據(jù)的能帶是部分占滿的,所以金屬是良好的導(dǎo)電體。
半導(dǎo)體和絕緣體的能帶類似,即下面是已被價(jià)電子占滿的滿帶(其下面還
有為內(nèi)層電子占滿的若干滿帶),亦稱價(jià)帶,中間為禁帶,上面是空帶。因此,
在外電場(chǎng)作用下并不導(dǎo)電,但是這只是絕對(duì)溫度為零時(shí)的情況。當(dāng)外界條件發(fā)生
變化時(shí),例如溫度升高或有光照時(shí),滿帶中有少量電子可能被激發(fā)到上面的看到
中去,使能帶底部附近有了少量電子,因而在外電場(chǎng)作用下,這些電子將參與導(dǎo)
電;
同時(shí),滿帶中由于少了一些電子,在滿帶頂部附近出現(xiàn)了一些空的量子狀
態(tài),滿帶變成了部分占滿的能帶,在外電場(chǎng)作用下,仍留在滿帶中的電子也能夠
起導(dǎo)電作用,滿帶電子的這種導(dǎo)電作用等效于把這些空的量子狀態(tài)看作帶正電荷
的準(zhǔn)粒子的導(dǎo)電作用,常稱這些空的量子狀態(tài)為空穴。所以在半導(dǎo)體中導(dǎo)帶的電
子和價(jià)帶的空穴參與導(dǎo)電,這是與金屬導(dǎo)體的最大差別。絕緣體的禁帶寬度很大,
激發(fā)電子需要很大的能量,在通常溫度下,能激發(fā)到導(dǎo)帶中的電子很少,所以導(dǎo)
電性很差。半導(dǎo)體禁帶寬度比較小,數(shù)量級(jí)在leV左右,在通常溫度下已有不少
電子被激發(fā)到導(dǎo)帶中去,所以具有一定的導(dǎo)電能力,這是絕Z彖體和半導(dǎo)體的主要
區(qū)別。室溫下,金剛石的禁帶寬度為6?7eV,它是絕緣體;
硅為1.12eV,錯(cuò)為0.67eV,碎化錢為1.43eV,所以它們都是半導(dǎo)體。
5、半導(dǎo)體中電子的準(zhǔn)動(dòng)量:經(jīng)典意義上的動(dòng)量是慣性質(zhì)量與速度的乘積,
即v。根據(jù)教材式(1T)和式(1T0),對(duì)于自由電子v=hk,這是自由電子的
真實(shí)動(dòng)量,而在半導(dǎo)體中hk=v;
有效質(zhì)量與慣性質(zhì)量有質(zhì)的區(qū)別,前者隱含了晶格勢(shì)場(chǎng)的作用(雖然有質(zhì)
量的量綱)。因?yàn)閂與V具有相同的形式,因此稱V為準(zhǔn)動(dòng)量。
6、本征激發(fā):共價(jià)鍵上的電子激發(fā)成為準(zhǔn)自由電子,亦即價(jià)帶電子吸收能
量被激發(fā)到導(dǎo)帶成為導(dǎo)帶電子的過程,稱為本征激發(fā)。這一概念今后經(jīng)常用到。
7、載流子:晶體中荷載電流(或傳導(dǎo)電流)的粒子。金屬中為電子,半導(dǎo)
體中有兩種載流子即電子和空穴,而影響半導(dǎo)體導(dǎo)電性的主要是導(dǎo)帶電子和價(jià)帶
空穴。
8、回旋共振實(shí)驗(yàn):目的是測(cè)量電子的有效質(zhì)量,以便采用理論與實(shí)驗(yàn)相結(jié)
合的方法推出半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)。為能觀測(cè)出明顯的共振吸收峰,就要求樣品純
度要高,而且實(shí)驗(yàn)一般在低溫下進(jìn)行,交變電磁場(chǎng)的頻率在微波甚至在紅外光的
范圍。實(shí)驗(yàn)中常是固定交變電磁場(chǎng)的頻率,改變磁感應(yīng)強(qiáng)度以觀測(cè)吸收現(xiàn)象。磁
感應(yīng)強(qiáng)度約為零點(diǎn)幾T。等能面的形狀與有效質(zhì)量密切相關(guān),對(duì)于球形等能面,
有效質(zhì)量各向同性,即只有一個(gè)有效質(zhì)量;
對(duì)于橢球等能面,有效質(zhì)量各向異性,即在不同的波矢方向?qū)?yīng)不同的有
效質(zhì)量。
9、橫向有效質(zhì)量沿橢球短軸方向,縱向有效質(zhì)量沿橢球長(zhǎng)軸方向。
10、直接帶隙半導(dǎo)體是指導(dǎo)帶極小值與價(jià)帶極大值對(duì)應(yīng)同一波矢;
間接帶隙半導(dǎo)體是指導(dǎo)帶極小值與價(jià)帶極大值對(duì)應(yīng)不同的波矢。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章要求熟練掌握基本的物理原理和概
念一一考題主要涉及填空、名詞解釋和簡(jiǎn)答題(物理過程的解釋)1、以上基本
概念和名詞術(shù)語的解釋。
2、熟悉金剛石型結(jié)構(gòu)與閃鋅礦型結(jié)構(gòu)晶胞原子的空間立體分布及硅、褚、
碎化線晶體結(jié)構(gòu)特點(diǎn),晶格常數(shù),原子密度數(shù)量級(jí)(1022個(gè)原子/立方厘米)。
3、掌握能帶形成的原因及電子共有化運(yùn)動(dòng)的特點(diǎn):
掌握實(shí)際半導(dǎo)體的能帶的特點(diǎn)。
4、掌握有效質(zhì)量的意義及計(jì)算公式,速度的計(jì)算方法,正確理解半導(dǎo)體中
電子的加速度與外力及有效質(zhì)量的關(guān)系,正確理解準(zhǔn)動(dòng)量及其計(jì)算方法,準(zhǔn)動(dòng)量
的變化量應(yīng)為。
5、掌握半導(dǎo)體的導(dǎo)電機(jī)構(gòu),正確理解空穴的導(dǎo)電機(jī)理。
6、學(xué)握硅、銘、神化錢的能帶結(jié)構(gòu),注意它們導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂所處的位置。
7、已留的課后作業(yè)題。
第二章半導(dǎo)體中的雜質(zhì)和缺陷能級(jí)本章各節(jié)內(nèi)容提要:
理想半導(dǎo)體:1、原子嚴(yán)格地周期性排列,晶體具有完整的晶格結(jié)構(gòu)。2、
晶體中無雜質(zhì),無缺陷。3電子在周期場(chǎng)中作共有化運(yùn)動(dòng),形成允帶和禁帶一一
電子能量只能處在允帶中的能級(jí)上,禁帶中無能級(jí)。由本征激發(fā)提供載流子。如
果晶體具有完整的(完美的)晶格結(jié)構(gòu),無任何雜質(zhì)和缺陷一一本征半導(dǎo)體。(純
凈半導(dǎo)體中,Ef的位置和載流子的濃度只是由材料本身的本征性質(zhì)決定的)實(shí)
際材料中,1、總是有雜質(zhì)、缺陷,使周期場(chǎng)破壞,在雜質(zhì)或缺陷周圍引起局部
性的量子態(tài)一一對(duì)應(yīng)的能級(jí)常常處在禁帶中,對(duì)半導(dǎo)體的性質(zhì)起著決定性的影
響。2、雜質(zhì)電離提供我流子。本章重點(diǎn)介紹半導(dǎo)體中主要的雜質(zhì)和缺陷及其能
級(jí)。
在2.1節(jié),介紹硅、偌中的淺能級(jí)和深能級(jí)雜質(zhì)以及和雜質(zhì)能級(jí),淺能級(jí)
雜質(zhì)電離能的計(jì)算,介紹了雜質(zhì)補(bǔ)償作用。
在2.2節(jié),介紹HI-V族化合物中的雜質(zhì)能級(jí),引入等電子陷阱、等電子
絡(luò)合物以及兩性雜質(zhì)的概念。
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、在純凈的半導(dǎo)體中摻入一定的雜質(zhì),可以顯著地控制半導(dǎo)體地導(dǎo)電性質(zhì)。
根據(jù)摻入雜質(zhì)地分布位置可以分為替位式雜質(zhì)和受主雜質(zhì)。
2、施主雜質(zhì)電離后成為不可移動(dòng)的帶正電的施主離子,同時(shí)向?qū)峁╇?/p>
子,使半導(dǎo)體成為電子導(dǎo)電的n型半導(dǎo)體。受主雜質(zhì)電離后成為不可移動(dòng)的帶負(fù)
電的受主離子,同時(shí)向價(jià)帶提供空穴,使半導(dǎo)體成為空穴導(dǎo)電的p型半導(dǎo)體。
3、雜質(zhì)元素?fù)饺氚雽?dǎo)體后,由于在晶格勢(shì)場(chǎng)中引入微擾,使能帶極值附近
出現(xiàn)分立的能級(jí)一一雜質(zhì)能級(jí)。V族元素在靠近導(dǎo)帶底的禁帶中引入施主能級(jí),
山族元素在靠近價(jià)帶頂?shù)慕麕е幸胧苤髂芗?jí)。類氫模型對(duì)淺能級(jí)的位置給出了
比較滿意的定量描述。經(jīng)過修正后,施主雜質(zhì)的電離能和軌道半徑可表示為:
,;
受主雜質(zhì)的電離能可表示為:式中,為氫原子的基態(tài)電離能;
為晶體的相對(duì)介電常數(shù)。
4、施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)有相互抵消作用,逍常稱為“雜質(zhì)補(bǔ)償”。“雜質(zhì)
補(bǔ)償”是制造各種半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)。
5、非川、V族雜質(zhì)元素在半導(dǎo)體中也可能會(huì)產(chǎn)生深能級(jí)或多能級(jí)。
6、例如:金Au在硅中電離后產(chǎn)生兩個(gè)能級(jí),一個(gè)在價(jià)帶上面0.35ev處的
施主能級(jí),它在P型硅中起主要作用。另一個(gè)在導(dǎo)帶下面0.54ev處的受主能級(jí),
它在u型硅中起主要作用。
7、深能級(jí)雜質(zhì)和晶體缺陷形成的能級(jí)一般作為復(fù)合中心。
8、四族元素硅在li巾化錢中的雙性行為,即硅的濃度較低時(shí)主要起施主雜質(zhì)
作用,當(dāng)硅的濃度較高時(shí),一部分硅原子將起到受主雜質(zhì)作用。這種雙性行為可
作如下解釋:實(shí)驗(yàn)測(cè)得硅在碎化線中引入一淺施主能級(jí)(-0.002)ev,硅應(yīng)起
施主作用,那么當(dāng)硅雜質(zhì)電離后,每一個(gè)硅原子向?qū)峁┮粋€(gè)導(dǎo)電電子,導(dǎo)帶
中的電子濃度應(yīng)隨硅雜質(zhì)濃度的增加而線性增加。但是實(shí)驗(yàn)表明,當(dāng)硅雜質(zhì)濃度
上升到一定程度之后,導(dǎo)帶電子濃度趨向飽和,施主雜質(zhì)的有效濃度降低了。這
種現(xiàn)象出現(xiàn),是因?yàn)楣桦s質(zhì)濃度較高時(shí),硅原子不僅取代錢原子起著受主雜質(zhì)的
作用,而且硅也取代了一部分V族碑原子而起著受主雜質(zhì)的作用,因而對(duì)于取代
in族原子錢的硅施主雜質(zhì)起到補(bǔ)償作用,從而降低了有效施主雜質(zhì)的濃度,電子
濃度趨于飽和??梢?,在這個(gè)粒子中,硅雜質(zhì)的總效果是起施主作用,保持神化
錢為n型半導(dǎo)體。實(shí)驗(yàn)還表明,碎化線單晶體中硅雜質(zhì)濃度為時(shí),取代鐵原子的
硅施主濃度與取代碑原子的硅受主濃度之比約為5.3:1。硅取代碑所產(chǎn)生受主能
級(jí)在()ev處。
9、點(diǎn)缺陷和位錯(cuò)對(duì)半導(dǎo)體性能的影響難點(diǎn):
1、用類氫模型計(jì)算淺能級(jí)雜質(zhì)的電離能;
解釋金在銘中產(chǎn)生多重能級(jí)的原因:金是I族元素,中性金原子(記為)
只有一個(gè)價(jià)電子,它取代錯(cuò)晶格中的一個(gè)錯(cuò)原子而位于晶格點(diǎn)上。金比錯(cuò)少三個(gè)
價(jià)電子,中性金原子的這一個(gè)價(jià)電子,可以電離而躍遷入導(dǎo)帶,這一施主能級(jí)為,
因此,電離能為()。因?yàn)榻鸬倪@個(gè)價(jià)電子被共價(jià)鍵所束縛,電離能很大,略小
于褚的禁帶寬度,所以,這個(gè)施主能級(jí)靠近價(jià)帶頂。電離以后,中性金原子接受
就稱為帶一個(gè)電子電荷的正電中心。但是,另一方面,中性金原子還可以和周圍
的四個(gè)銘原子形成共價(jià)鍵,在形成共價(jià)鍵時(shí),它可以從價(jià)帶接受三個(gè)電子,形成、、
三個(gè)受主能級(jí)。金原子接受第一個(gè)電子后變?yōu)?,相?yīng)的受主能級(jí)為,其電離能為
(-)。接受第二個(gè)電子后,變?yōu)?,相?yīng)的受主能級(jí)為,其電離能為(-)o接受第
三個(gè)電子后,變?yōu)?,相?yīng)的受主能級(jí)為,其電離能為(-)。上述的、、分別表示
成為帶一個(gè)、兩個(gè)、三個(gè)電子電荷的負(fù)電中心。由于電子間的庫侖排斥作用,金
從價(jià)帶接受第二個(gè)電子所需要的電離能比接受第一個(gè)電子時(shí)的大,接受第三個(gè)電
子時(shí)的電離能又比接受第二個(gè)電子時(shí)的大,所以,?o離價(jià)帶頂相對(duì)近一些,但
是比m族雜質(zhì)引入的淺能級(jí)還是深得多,更深,就兒乎靠近導(dǎo)帶底了。于是金在
錯(cuò)中一共有、、、、五種荷電狀態(tài),相應(yīng)地存在著、、、四個(gè)孤立能級(jí),它們都是深
能級(jí)。以上的分析方法,也可以用來說明其它一些在硅、錯(cuò)中形成深能級(jí)的雜質(zhì),
基本上與實(shí)驗(yàn)情況相一致。
本章基本概念及名詞術(shù)語:
施主雜質(zhì)(n型雜質(zhì)):雜質(zhì)電離后能夠施放電子而產(chǎn)生自由電子并形成正
電中心的雜質(zhì)——施主雜質(zhì)。
施主雜質(zhì)電離能:雜質(zhì)價(jià)電子掙脫雜質(zhì)原子的束縛成為自由電子所需要的
能量一一雜質(zhì)電離能,用EDi表示。
正電中心:施主電離后的正離子一一正電中心施主能級(jí)ED:施主電子被施
主雜質(zhì)束縛時(shí)的能量而應(yīng)的能級(jí)稱為施主能級(jí)。對(duì)于電離能小的施主雜質(zhì)的施主
能級(jí)位于禁帶中導(dǎo)帶底以下較小底距離。
受主雜質(zhì):能夠向(晶體)半導(dǎo)體提供空穴并形成負(fù)電中心底雜質(zhì)一一受
主雜質(zhì)受主雜質(zhì)電離能EAi:空穴掙脫受主雜質(zhì)克縛成為導(dǎo)電空穴所需的能量。
受主能級(jí)EA:空穴被受主雜質(zhì)束縛時(shí)的能量狀態(tài)對(duì)應(yīng)的能級(jí)。
淺能級(jí)雜質(zhì):電離能小的雜質(zhì)稱為淺能級(jí)雜質(zhì)。所謂淺能級(jí),是指施主能
級(jí)靠近導(dǎo)帶底,受主能級(jí)靠近價(jià)帶頂.室溫下,摻雜濃度不很高底情況下,淺能
級(jí)雜質(zhì)幾乎可以可以全部電離。五價(jià)元素磷(P)、睇(Sb)在硅、錯(cuò)中是淺受主
雜質(zhì),三價(jià)元素硼(B)、鋁(A1)、像(Ga)、鋼(In)在硅、褚中為淺受主雜質(zhì)。
雜質(zhì)補(bǔ)償:半導(dǎo)體中存在施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)時(shí),它們底共同作用會(huì)使我
流子減少,這種作用稱為雜質(zhì)補(bǔ)償。在制造半導(dǎo)體器件底過程中,通過采用雜質(zhì)
補(bǔ)償?shù)追椒▉砀淖儼雽?dǎo)體某個(gè)區(qū)域底導(dǎo)電類型或電阻率。
高度補(bǔ)償:若施主雜質(zhì)濃度與受主雜質(zhì)濃度相差不大或二者相等,則不能
提供電子或空穴,這種情況稱為雜質(zhì)的高等補(bǔ)償。這種材料容易被誤認(rèn)為高純度
半導(dǎo)體,實(shí)際上含雜質(zhì)很多,性能很差,一般不能用來制造半導(dǎo)體器件。
深能級(jí)雜質(zhì):雜質(zhì)電離能大,施主能級(jí)遠(yuǎn)離導(dǎo)帶底,受主能級(jí)遠(yuǎn)離價(jià)帶頂。
深能級(jí)雜質(zhì)有三人基本特點(diǎn):一是不容易電離,對(duì)載流子濃度影響不大;
二是一般會(huì)產(chǎn)生多重能級(jí),甚至既產(chǎn)生施主能級(jí)也產(chǎn)生受主能級(jí)。三是能
起到復(fù)合中心作用,使少數(shù)載流子壽命降低(在第五章詳細(xì)討論)。四是深能級(jí)
雜質(zhì)電離后以為帶電中心,對(duì)載流子起散射作用,使載流子遷移率減少,導(dǎo)電性
能下降。
等電子陷阱和等離子雜質(zhì):在某些化合物半導(dǎo)體中,例如磷化錢中摻入V
族元素氮或鈕,氮或飽將取代磷并在禁帶中產(chǎn)生能級(jí)。這個(gè)能級(jí)稱為等離子陷阱。
這種效應(yīng)稱為等離子雜質(zhì)效應(yīng)。所謂等離子雜質(zhì)是與基質(zhì)晶體原子具有同數(shù)量?jī)r(jià)
電子的雜質(zhì)原子,它們替代了格點(diǎn)上的同族原子后,基本上仍是電中性的。但是
由于原子序數(shù)不同,這些原子的共價(jià)半徑和電負(fù)性有差別,因而它們能俘獲某種
載流子而成為帶電中心。這個(gè)帶電中心就稱為等離子陷阱。是否周期表中同族元
素均能形成等離子陷阱呢?只有當(dāng)摻入原子與基質(zhì)晶體原子在電負(fù)性、共價(jià)半徑
方面有較大差別時(shí),才能形成等離子陷阱。一般說,同族元素原子序數(shù)越小,電
負(fù)性越大,共價(jià)半徑越小。等電子雜質(zhì)電負(fù)性大于基質(zhì)晶體原子的電負(fù)性時(shí),取
代后,它便能俘獲電子成為負(fù)電中心。反之,它能俘獲空穴成為正電中心。例如,
氮的共價(jià)半徑和電負(fù)性分別為0.070nm和3.0,磷的共價(jià)半徑和電負(fù)性分別為
0.UOnm和2.1,氮取代磷后能俘獲電子成為負(fù)電中心。這個(gè)俘獲中心稱為等離
子陷阱。這個(gè)電子的電離能AED=O.008cVo例的共價(jià)半徑和負(fù)電性分別為
0.146nmff1.9,秘取代磷后能俘獲空穴,它的電離能是△EA=O.038eV。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章主要在于對(duì)各種概念的理解和掌握
一一考題主要涉及填空題、名詞解釋1、以上基石概念和名詞術(shù)語的解釋。
2、掌握淺能級(jí)雜質(zhì)和深能級(jí)雜質(zhì)的基本特點(diǎn)和在半導(dǎo)體中起的作用。
3、掌握等電子陷阱和等離子雜質(zhì)的概念。能解釋硅在碑化線中的雙性行為。
4、掌握點(diǎn)缺陷和位錯(cuò)缺陷對(duì)半導(dǎo)體性能的影響。
5、已留的課后作業(yè)第三章半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計(jì)分布本章內(nèi)容提要:
1、本章的主要任務(wù):計(jì)算本征半導(dǎo)體和雜質(zhì)半導(dǎo)體的熱平衡載流子濃度及
費(fèi)米能級(jí)的位置,討論nO、p0、EF與ND、NA、T的關(guān)系。
2、熱平衡和熱平衡載流子:在一定溫度下,如果沒有其它外界作用半導(dǎo)體
中的導(dǎo)電電子和空穴是依靠電子的熱激發(fā)作用而產(chǎn)生的,電子從不斷熱震動(dòng)的晶
格中獲得一定的能量,就可能從低能量的量子態(tài)躍遷到高能量的量子態(tài),例如,
電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶(這就是本征激發(fā)),形成導(dǎo)電電子和價(jià)帶空穴。電子和
空穴也可以通過雜質(zhì)電離方式產(chǎn)生,當(dāng)電子從施主能級(jí)躍遼到導(dǎo)帶時(shí)產(chǎn)生導(dǎo)帶電
子;
當(dāng)電子從價(jià)帶激發(fā)到受主能級(jí)時(shí)產(chǎn)生價(jià)帶空穴等。與此同時(shí),還存在著相
反的過程,即電子也可以從高能量的量子態(tài)躍遷到低能量的量子態(tài),并向品格放
出一定能量,從而使導(dǎo)帶中的電子和價(jià)帶中的空穴不斷減少,這一過程稱為我流
子的復(fù)合。在一定溫度下,這兩個(gè)相反的過程之間將建立起動(dòng)態(tài)的平衡,稱為熱
平衡狀態(tài)。這時(shí),半導(dǎo)體中的導(dǎo)電電子濃度和空穴濃度都保持一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)值,
這種處于熱平衡狀態(tài)下的導(dǎo)電電子和空穴稱為熱平衡載流子。當(dāng)溫度改變時(shí),破
壞了原來的平衡狀態(tài),又重新建立起新的平衡狀態(tài),熱平衡載流子的濃度也將發(fā)
生變化,達(dá)到另一穩(wěn)定數(shù)值。
3、解決問題的思路:熱平衡是一種動(dòng)態(tài)平衡,載流子在各個(gè)能級(jí)之間躍遷,
但它們?cè)诿總€(gè)能級(jí)上出現(xiàn)的幾率是不同的。
要討論熱平衡載流子的統(tǒng)計(jì)分布,是首先要解決下述問題:
①允許的量子態(tài)按能量的分布情況一一狀態(tài)密度;
②電子在允許的量子態(tài)中符合分布——分布函數(shù)。
然后討論nO、pO、EF與ND、NA、的關(guān)系。
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、為計(jì)算電子和空穴的濃度,必須對(duì)一個(gè)能帶內(nèi)的所有能量積分,而不只
是對(duì)布里淵區(qū)體積積分,為此引入狀態(tài)密度概念即單位能量間隔內(nèi)的量子態(tài)數(shù)。
表達(dá)式為:。可通過下述步驟計(jì)算狀態(tài)密度:首先算出單位k空間中的量子態(tài)數(shù),
即k空間中的狀態(tài)密度;
然后算出k空間中與能量E到E+dE間所對(duì)應(yīng)的k空間體積,并和k空間
中的狀態(tài)密度相乘,從而求得在能量E到E+dE間的量子態(tài)數(shù)dE;
最后,根據(jù)前式,求得狀態(tài)密度g(E)o
2、費(fèi)米分布函數(shù)的意義:它表示能量為E的量子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的幾率,
它是描寫熱平衡狀態(tài)下電子在允許的量子態(tài)上如何分布的一個(gè)統(tǒng)計(jì)分布函數(shù);
費(fèi)米分布函數(shù)還給出空穴占據(jù)各能級(jí)的幾率,一個(gè)能級(jí)要么被電子占據(jù),
否則就是空的,即被空穴占據(jù),3、與對(duì)稱于可以證明:
這對(duì)研究電子和空穴的分布很方便。
4、費(fèi)米分布函數(shù)與波耳茲曼分布函數(shù)的關(guān)系:
當(dāng)時(shí),電子的費(fèi)米分布函數(shù)轉(zhuǎn)化為波耳茲曼分布函數(shù)。因?yàn)閷?duì)于熱平衡系
統(tǒng)和溫度為定值,則,這就是通常見到的波耳茲曼分布函數(shù)。
同理,當(dāng)時(shí),空穴的費(fèi)米分布函數(shù)轉(zhuǎn)化為空穴的波耳茲曼分布函數(shù)。在半
導(dǎo)體中,最常遇到的情況是費(fèi)米能級(jí)位于價(jià)帶內(nèi),而且與導(dǎo)帶底或價(jià)帶頂?shù)木嚯x
遠(yuǎn)大于,所以,對(duì)導(dǎo)帶中的所有量子態(tài)來說,被電子占據(jù)的幾率,一般都滿足,
故半導(dǎo)體電子中的電子分布可以用電子的波耳茲曼分布函數(shù)描寫。由于隨著能量
E的增大,f(E)迅速減小,所以導(dǎo)帶中絕大多數(shù)電子分布在導(dǎo)帶底附近。同理,
對(duì)半導(dǎo)體價(jià)帶中的所有量子態(tài)來說,被空穴占據(jù)的幾率,一般都滿足,故價(jià)帶中
的空穴分布服從空穴的波耳茲曼分布函數(shù)。由于隨著能量E的增大,迅速增大,
所以價(jià)帶中絕大多數(shù)空穴分布在價(jià)帶頂附近。因而和是討論半導(dǎo)體問題時(shí)常用的
兩個(gè)公式。通常把服從波耳茲曼統(tǒng)計(jì)率的電子系統(tǒng)稱為非簡(jiǎn)并性系統(tǒng)。
5、費(fèi)米能級(jí):稱為費(fèi)米能級(jí)或費(fèi)米能量,它和溫度、半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類
型、雜質(zhì)的含量以及能量零點(diǎn)的選取有關(guān)。是一個(gè)很重要的物理參數(shù),只要知道
了的數(shù)值,在一定溫度下,電子在各量子態(tài)上的統(tǒng)計(jì)分布就完全確定。它可以由
半導(dǎo)體中能帶內(nèi)所以量子態(tài)中被電子占據(jù)的量子態(tài)數(shù)應(yīng)等于電子總數(shù)N這一條
件來決定,即,將半導(dǎo)體中大量電子的集體看成一個(gè)熱力學(xué)系統(tǒng),由統(tǒng)計(jì)理論證
明,費(fèi)米能級(jí)是系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),即,代表系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),F(xiàn)式系統(tǒng)的自由能。上
式的意義是:當(dāng)系統(tǒng)處于熱平衡狀態(tài),也不對(duì)外界做功的情況下,系統(tǒng)中增加一
個(gè)電子所引起系統(tǒng)自由能的變化,等于系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),所以處于熱平衡狀態(tài)的電
子系統(tǒng)有統(tǒng)一的費(fèi)米能級(jí)。一般可以認(rèn)為,在溫度不很高時(shí),能量大于費(fèi)米能級(jí)
的電子態(tài)基本上沒有被電子占據(jù),而能量小于費(fèi)米能級(jí)的幾率在各溫度下總是
1/2,所以費(fèi)米能級(jí)的位置比較直觀的標(biāo)志了電子占據(jù)量子態(tài)的狀況,通常就說
費(fèi)米能級(jí)標(biāo)志了電子填充能級(jí)的水平。費(fèi)米能級(jí)位置越高,說明有較多的能量較
高的電子態(tài)上有電子。
6、導(dǎo)出導(dǎo)帶電子濃度和價(jià)帶空穴濃度的表達(dá)式。理解、掌握電子濃度、空
穴濃度表達(dá)式的意義。
7、利用電中性條件(所謂電中性條件,就是電中性的半導(dǎo)體,其負(fù)電數(shù)與
正電荷相等。因?yàn)殡娮訋ж?fù)電,空穴帶正電,所以對(duì)本征半導(dǎo)體,電中性條件是
導(dǎo)帶中的電子濃度應(yīng)等于價(jià)帶中的空穴濃度,即=,由此式可導(dǎo)出費(fèi)米能級(jí)。)
求解本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí):本征半導(dǎo)體就是沒有雜質(zhì)和缺陷的半導(dǎo)體,在絕對(duì)
零度時(shí),價(jià)帶中的全部量子態(tài)都被電子占據(jù),而導(dǎo)帶中的量子態(tài)全部空著,也就
是說,半導(dǎo)體中共價(jià)鍵是飽和的、完整的。當(dāng)半導(dǎo)體的溫度大于零度時(shí),就有電
子從價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶中去,同時(shí)價(jià)帶中產(chǎn)生空穴,這就是所謂的本征激發(fā)。由于
電子和空穴成對(duì)產(chǎn)生,導(dǎo)帶中的電子濃度應(yīng)等于價(jià)帶中的空穴濃度,即=。
8、本征載流子濃度與溫度和價(jià)帶寬度有關(guān)。溫度升高時(shí),本征載流子濃度
迅速增加;
不同的半導(dǎo)體材料,在同一溫度下,禁帶寬度越大,本征載流子濃度越大。
9、一定溫度下,任何非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體的熱平衡載流子的濃度的乘積對(duì)于該溫
度時(shí)的本征載流子的濃度的平方,即,與所含雜質(zhì)無關(guān)。因此,它不僅適用于本
征半導(dǎo)體材料,而且也適用于非簡(jiǎn)并的雜質(zhì)半導(dǎo)體材料。
10、的意義:可伶為判斷半導(dǎo)體材料的熱平衡條件。熱平衡條件下,、均為
常數(shù),則也為常數(shù),這時(shí)單位時(shí)間單位體積內(nèi)產(chǎn)生的截流子數(shù)等于單位時(shí)間單位
體積內(nèi)復(fù)合掉的載流子數(shù),也就是說產(chǎn)生率大于復(fù)合率。因此,此式可作為判斷
半導(dǎo)體材料是否達(dá)到熱平衡的依據(jù)式。
II、半導(dǎo)體雜質(zhì)能級(jí)被電子占據(jù)的幾率函數(shù)與費(fèi)米分布函數(shù)不同:因?yàn)殡s
質(zhì)能級(jí)和能帶中的能級(jí)是有區(qū)別的,在能帶中的能級(jí)可以容納自旋下凡的兩個(gè)電
子;
而施主能級(jí)只能或者被一個(gè)任意自旋方向的電子占據(jù),或者不接受電子(空
的)這兩種情況中的一種,即施主能級(jí)不允許同時(shí)被自旋方向相反的兩個(gè)電子所
占據(jù)。所以不能用費(fèi)米分布函數(shù)表示電子占據(jù)雜質(zhì)能級(jí)的幾率。
12、分析雜質(zhì)半導(dǎo)體摻雜濃度和溫度對(duì)載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)的影響,摻
有某種雜質(zhì)的半導(dǎo)體的載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)由溫度和雜質(zhì)濃度所決定。對(duì)于雜
質(zhì)濃度一定的半導(dǎo)體,隨著溫度的升高,載流子則是從以雜質(zhì)電離為主要來源過
渡到以本征激發(fā)為主要來源的過程,相應(yīng)地,費(fèi)米能級(jí)則從位于雜質(zhì)能級(jí)附近逐
漸移近禁帶中線處。譬如n型半導(dǎo)體,在低溫弱電離區(qū)時(shí),導(dǎo)帶中的電子是從施
主雜質(zhì)電離產(chǎn)生的;
隨著溫度升高,導(dǎo)帶中的電子濃度也增加,而費(fèi)米能級(jí)則從施主能級(jí)以上
往下降到施主能級(jí)以下;
當(dāng)下降到以下若干時(shí),施主雜質(zhì)全部電離,導(dǎo)帶中的電子濃度等于施主濃
度,處于飽和區(qū);
再升高溫度,雜質(zhì)電離已經(jīng)不能增加電子數(shù),但本征激發(fā)產(chǎn)生的電子迅速
增加著,半導(dǎo)體進(jìn)入過渡區(qū),這是導(dǎo)帶中的電子由數(shù)量級(jí)相近的本征激發(fā)部分和
雜質(zhì)電離部分組成,而費(fèi)米能級(jí)則繼續(xù)下降;
當(dāng)溫度再升高時(shí),本征激發(fā)成為載流子的主要來源,載流子濃度急劇上升,
而費(fèi)米能級(jí)下降到禁帶中線處這時(shí)就是典型的本征激發(fā)。對(duì)于P型半導(dǎo)體,作相
似的討論,在受主濃度一定時(shí),隨著溫度升高,費(fèi)米能級(jí)從在受主能級(jí)以下逐漸
上升到禁帶中線處,而載流子則從以受主電離為主要來源轉(zhuǎn)化到以本征激發(fā)為主
要來源。當(dāng)溫度一定時(shí),費(fèi)米能級(jí)的位置由雜質(zhì)濃度所決定,例如n型半導(dǎo)體,
隨著施主濃度的增加,費(fèi)米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向?qū)У追较?。?duì)于p型半導(dǎo)
體,隨著受主濃度的增加費(fèi)米能級(jí)從禁帶中線逐漸移向價(jià)帶頂附近。這說明,在
雜質(zhì)半導(dǎo)體中,費(fèi)米能級(jí)的位置不但反映了半導(dǎo)體導(dǎo)電類型,而且還反映了半導(dǎo)
體的摻雜水平。對(duì)于n型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中線以上,越大,費(fèi)米能級(jí)
位置越高。對(duì)于P型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)位于中線以下,越大,費(fèi)米能級(jí)位置越低。
13、一般情況下,半導(dǎo)體既含有施主雜質(zhì),又含有受主雜質(zhì),在熱平衡狀
態(tài)下,電中性方程為,此式的意義是:同時(shí)含有一種施主雜質(zhì)和一種受主雜質(zhì)情
況下,半導(dǎo)體單位體積內(nèi)的負(fù)電荷數(shù)(導(dǎo)帶電子濃度與電離受主濃度之和)等于
單位體內(nèi)的正電荷數(shù)(價(jià)帶空穴濃度與電離施主濃度之和)。
14、施主濃度大于受主濃度情況下,分析載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)與溫度的
關(guān)系。
15、簡(jiǎn)并半導(dǎo)體的載流子濃度:對(duì)于n型半導(dǎo)體,施主濃度很高,使費(fèi)米
能級(jí)接近或進(jìn)入導(dǎo)帶時(shí),導(dǎo)帶底附近底量子態(tài)基本上已被電子占據(jù),導(dǎo)帶中底電
子數(shù)目很多,的條件不能成立,必須考慮泡利不相容原理的作用。這時(shí),不能再
用玻耳茲曼分布函數(shù),必須用費(fèi)米分布函數(shù)來分析導(dǎo)帶中電子的分布問題。這種
情況稱為載流子的簡(jiǎn)并化。發(fā)生載流子簡(jiǎn)并化的半導(dǎo)體稱為基本半導(dǎo)體,對(duì)于P
型半導(dǎo)體,其費(fèi)米能級(jí)接近價(jià)帶頂或進(jìn)入價(jià)帶,也必須用費(fèi)米分布函數(shù)來分析價(jià)
帶中空穴的分布問題。
16、簡(jiǎn)并時(shí)的雜質(zhì)濃度:對(duì)n型半導(dǎo)體,半導(dǎo)體發(fā)生簡(jiǎn)并時(shí),摻雜濃度接
近或大于導(dǎo)帶底有效狀態(tài)密度;
對(duì)于雜質(zhì)電離能小的雜質(zhì),則雜質(zhì)濃度較小時(shí)就會(huì)發(fā)生簡(jiǎn)并。對(duì)于P型半
導(dǎo)體,發(fā)生簡(jiǎn)并的受主濃度接近或大于價(jià)帶頂有效狀態(tài)密度,如果受主電離能較
小,受主濃度較小時(shí)就會(huì)發(fā)生簡(jiǎn)并。對(duì)于不同種類的半導(dǎo)體,因?qū)У子行顟B(tài)
密度和價(jià)帶頂有效密度各不相同。一般規(guī)律是有效狀態(tài)密度小的材料,其發(fā)生簡(jiǎn)
并的雜質(zhì)濃度較小。
難點(diǎn):
1、能量狀態(tài)密度與k空間量子態(tài)的分布即等能面的形狀有關(guān)。在k空間量
子態(tài)的分布是均勻的,量子態(tài)的密度為V(立方晶體的體積)。如果計(jì)入自旋,
每個(gè)量子態(tài)可以允許兩個(gè)自旋相反的電子占據(jù)一個(gè)量子態(tài)。換言之,k空間每個(gè)
量子態(tài)實(shí)際上代表自旋方向相反的兩個(gè)量子態(tài),所以,在k空間,電子允許的量
子態(tài)密度為2Vo注意;這時(shí)每個(gè)量子態(tài)最多容納一個(gè)電子。這樣,與費(fèi)米分布
函數(shù)的定義就統(tǒng)一起來了(費(fèi)米分布函數(shù)是能量為E的一個(gè)量子態(tài)被一個(gè)電子占
據(jù)的幾率)。
2、狀態(tài)密度表達(dá)式的推導(dǎo)過程作為課堂討論的課程重點(diǎn)內(nèi)容之一。
3、導(dǎo)出導(dǎo)帶電子濃度的基本思路是:和計(jì)算狀態(tài)密度是一樣,認(rèn)為能帶中
的能級(jí)是連續(xù)分布的,將能帶分成一個(gè)個(gè)很小的能量間隔來處理。對(duì)導(dǎo)帶分為無
限多的無限小的能量間隔,則在能量到之間有個(gè)量子態(tài),而電子占據(jù)能量為的量
子態(tài)的幾率是,則在到間有個(gè)被電子占據(jù)的量子態(tài),因?yàn)槊總€(gè)被占據(jù)的量子態(tài)上
有一個(gè)電子,所以在到間有個(gè)電子。然后把所有能量區(qū)間中的電子數(shù)相加,實(shí)際
上是從導(dǎo)帶底到導(dǎo)帶頂對(duì)進(jìn)行積分,就得到了能帶中底電子總數(shù),再除以半導(dǎo)體
體積就得到了導(dǎo)帶中的電子濃度。因?yàn)橘M(fèi)米能級(jí)一般在禁帶中,導(dǎo)帶中的能級(jí)遠(yuǎn)
高于費(fèi)米能級(jí),即當(dāng)時(shí),計(jì)算導(dǎo)帶電子濃度可用玻耳茲曼分布函數(shù)。
4、本征半導(dǎo)體中導(dǎo)帶電子濃度等于價(jià)帶空穴濃度,根據(jù)載流子的分布函數(shù)
及費(fèi)米年間的意義可知:本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)應(yīng)該位于導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂之間的
中間位置,即禁帶中央處。只有這樣,導(dǎo)帶電子和價(jià)帶空穴才能對(duì)稱于費(fèi)米能級(jí),
分布在導(dǎo)帶和價(jià)帶中,以滿足但是由于導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度()和價(jià)帶有效狀
態(tài)密度()中分別含有電子狀態(tài)濃度的有效質(zhì)量()和價(jià)帶空穴狀態(tài)有效密度()。
由于兩者數(shù)值上的差異,使本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)偏離禁帶中央。如果費(fèi)米能級(jí)
偏離禁帶中很小,可以認(rèn)為費(fèi)米能級(jí)基本上位于禁帶中央;
如果和相差很大,本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)就會(huì)偏離禁帶中央很遠(yuǎn)。具體情
況可用本征半導(dǎo)體費(fèi)米能級(jí)表達(dá)式分析(見課后第6題)5、根據(jù)電中性方程導(dǎo)出
各個(gè)溫度區(qū)間的費(fèi)米能級(jí)和載流子濃度表達(dá)式。
6、雜質(zhì)電離程度與溫度、摻雜濃度及雜質(zhì)電離能有關(guān),溫度高、電離能小,
有利于雜質(zhì)電離。但雜質(zhì)濃度過高,則雜質(zhì)不能充分電離。通常所說的室溫卜.雜
質(zhì)全部電離,實(shí)際上忽略了雜質(zhì)濃度的限制。
7、在不同的溫度區(qū)間分析載流子密度和費(fèi)米能級(jí)與溫度的關(guān)系溫度區(qū)訶的
劃分不是我們傳統(tǒng)意義的以溫度的數(shù)值范圍來劃分,而是通過相關(guān)參量的比較,
把要討論的整個(gè)溫度范圍劃分為極低溫區(qū)(弱電離)、低溫區(qū)(雜質(zhì)電離)……
本征激發(fā)區(qū)。
8、注意兩個(gè)電中性方程的適用條件:雜質(zhì)全部電離,本征激發(fā)可以忽略,
即時(shí),電中性方程為,(原始方程為)。雜質(zhì)全部電離,本征激發(fā)不能忽略即摻雜
濃度與的數(shù)值相近,或由于溫度升高使數(shù)值增大而導(dǎo)致與相近時(shí),電中性方程(原
始方程,式中,)。
使用上述兩個(gè)電中性方程時(shí),關(guān)鍵要判斷是否要考慮本征激發(fā)對(duì)電中性方
程的影響。
9、導(dǎo)體發(fā)生簡(jiǎn)并對(duì)應(yīng)一個(gè)溫度范圍:用圖解的方法可以求出半導(dǎo)體發(fā)生簡(jiǎn)
并時(shí),對(duì)應(yīng)一個(gè)溫度范圍。這個(gè)溫度范圍的大小與發(fā)生簡(jiǎn)并時(shí)的雜質(zhì)濃度及雜質(zhì)
電離能有關(guān):電離能一定時(shí),雜質(zhì)濃度越大,發(fā)生簡(jiǎn)并的溫度范圍越大;
發(fā)生簡(jiǎn)并的雜質(zhì)濃度一定時(shí),雜質(zhì)電離能越小,簡(jiǎn)并溫度范圍越大。
本章基本物理概念和問題:
費(fèi)米分布函數(shù)、波爾茲曼分布函數(shù)、k空間狀態(tài)密度和能量狀態(tài)密度的概念。
電子濃度和空穴濃度的乘積與費(fèi)米能級(jí)無關(guān)。對(duì)一定的半導(dǎo)體材料,乘積
只決定于溫度,與所含雜質(zhì)無關(guān)。而在一定溫度下,對(duì)不同的半導(dǎo)體材料?,囚禁
帶寬度不同,乘積也將不同。這個(gè)關(guān)系式不論是本征半導(dǎo)體還是雜質(zhì)半導(dǎo)體,只
要是熱平衡狀態(tài)下的非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體,都普遍適用,在討論許多許多實(shí)際問題時(shí)常
常引用。對(duì)一定的半導(dǎo)體材料,在一定的溫度下,乘積時(shí)一定的。換言之,當(dāng)半
導(dǎo)體處于熱平衡狀態(tài)時(shí),載流子濃度的乘積保持恒定,如果電子濃度增加,空穴
濃度就要減?。?/p>
反之亦然。式和式是熱平衡載流子濃度的普遍表示式。只要確定了費(fèi)米能
級(jí),在一定溫度時(shí),半導(dǎo)體導(dǎo)帶中電子濃度、價(jià)帶中空穴濃度就可以計(jì)算出來。
半導(dǎo)體材料制成的器件都有一定的極限工作溫度,這個(gè)工作溫度受本征載
流子濃度制約:一般半導(dǎo)體器件中,載流子主要來源于雜質(zhì)電離,而將本征激發(fā)
忽略不計(jì)。在本征載流子濃度沒有超過雜質(zhì)電離所提供的載流子濃度的溫度范
圍,如果雜質(zhì)全部電離,載流子濃度是一定的,器件就能穩(wěn)定工作。但是隨著溫
度的升高,本征載流子濃度迅速地增加。例如在室溫附近,純硅的溫度每升高
8K左右,本征載流子的濃度就增加約一倍。而純錯(cuò)的溫度每升高12K左右,本
征載流子的濃度就增加約一倍。當(dāng)溫度足夠高時(shí),本征激發(fā)占主要地位,器件將
不能正常工作。因此,每一種半導(dǎo)體材料制成的器件都有一定的極限工作溫度,
超過這一溫度后,器件就失效了。例如,一般硅平面管采用室溫電阻率為1?cni
左右的原材料,它是由摻入的施主雜質(zhì)錨而制成的。在保持載流子主要來源于雜
質(zhì)電離時(shí).,要求本征載流子濃度至少比雜質(zhì)濃度低一個(gè)數(shù)量級(jí),即不超過。如果
也以本征載流子濃度不超過的話,對(duì)應(yīng)溫度為526K,所以硅器件的極限工作溫
度是520K左右.倍的禁帶寬度比硅小,銘的器件丁作溫度比硅低,約為370K
左右。碎化錢禁帶寬度比硅大,極限工作溫度可高達(dá)720K左右,適宜于制造大
功率器件。
總之,由于本征我流子濃度隨溫度的迅速變化,用本征材料制作的器件性
能很不穩(wěn)定,所以制造半導(dǎo)體器件一般都用含有適當(dāng)雜質(zhì)的半導(dǎo)體材料。
多數(shù)載流子和少數(shù)載流子(多子和少子):當(dāng)導(dǎo)體中載流子為電子和空穴,
n型半導(dǎo)體以電子導(dǎo)電為主,電子濃度遠(yuǎn)大于空穴濃度,故稱電子為n型半導(dǎo)體
的多數(shù)載流子,簡(jiǎn)稱多子,空穴為n型半導(dǎo)體的少數(shù)載流子,簡(jiǎn)稱少子;
對(duì)于p型半導(dǎo)體,空穴為多子,電子為少子。平衡少子濃度正比于本征載
流子濃度的平方,對(duì)于n型半導(dǎo)體,由可得少子濃度,它強(qiáng)烈的依賴于溫度的變
化。
簡(jiǎn)并半導(dǎo)體中雜質(zhì)不能充分電離:通過分析計(jì)算,室溫下n型硅摻磷,發(fā)
生簡(jiǎn)并的雜質(zhì)濃度,經(jīng)計(jì)算,電離施主濃度,硅中只有&4%的雜質(zhì)是電離的,
故導(dǎo)帶電子濃度。盡管只有8.4%的雜質(zhì)電離,但摻雜濃度較大,所以電子濃度
還是較大。簡(jiǎn)并半導(dǎo)體中雜質(zhì)不能充分電離的原因:簡(jiǎn)并半導(dǎo)體電子濃度較高,
費(fèi)米能級(jí)較低摻雜時(shí),遠(yuǎn)在施主能級(jí)之上,使雜質(zhì)電離程度降低。
簡(jiǎn)并化條件:簡(jiǎn)并化條件是人們的一個(gè)約定,把與的相對(duì)位置作為區(qū)分簡(jiǎn)
并化與非簡(jiǎn)并化的標(biāo)準(zhǔn),一般約定:
,非簡(jiǎn)并,弱簡(jiǎn)并,簡(jiǎn)并注意:在做習(xí)題時(shí),首先要判斷題目中給出的半導(dǎo)
體材料是否發(fā)生弱簡(jiǎn)并或簡(jiǎn)并。然后才能確定采用相應(yīng)的有關(guān)公式進(jìn)行解題。
本章要求掌握的內(nèi)容及考點(diǎn):一一本章是本課程的核心知識(shí)章節(jié)之一,不
僅要求掌握基本物理概念和原理,還要求能進(jìn)行相關(guān)參數(shù)的計(jì)算一一考題涉及所
有題型(必有一道相關(guān)的計(jì)算題)1、以上基本物理概念和問題的理解掌握。
2、掌握費(fèi)米分布函數(shù)和玻耳茲曼分布函數(shù)及費(fèi)米能級(jí)的意義。費(fèi)米能級(jí)是
一個(gè)參考能級(jí),不是電子的真實(shí)能級(jí),費(fèi)米能級(jí)的位置標(biāo)志了電子填充能級(jí)的水
平。熱平衡條件下費(fèi)米能級(jí)為定值,費(fèi)米能級(jí)的數(shù)值與溫度、半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電
類型、雜質(zhì)濃度及零點(diǎn)的選取有關(guān),它是一個(gè)很重要的物理參數(shù)。
3、掌握導(dǎo)帶電子濃度和價(jià)帶空穴濃度公式:
2、,3、,4、與分別是導(dǎo)帶與價(jià)帶底有效狀態(tài)密度,相當(dāng)于把導(dǎo)帶中所有量
子態(tài)都集中在導(dǎo)帶底,而它的狀態(tài)密度為:
同理,相當(dāng)于把價(jià)帶中所有量子態(tài)都集中在價(jià)帶頂,而它的狀態(tài)密度為。
上兩式中的指數(shù)部分是具有玻耳茲曼分布函數(shù)形式的幾率函數(shù),前者是電子占據(jù)
能量為的量子態(tài)幾率,后者是空穴占據(jù)能量為的量子態(tài)的幾率。則導(dǎo)帶中的電子
濃度是中電子占據(jù)的量子態(tài)數(shù),價(jià)帶空穴濃度是中有空穴占據(jù)的量子態(tài)數(shù)。
5、能夠?qū)懗霰菊靼雽?dǎo)體的電中性方程;
熟悉半導(dǎo)體半導(dǎo)體載流子濃度與溫度和禁帶寬度的關(guān)系;
正確使用熱平衡判斷式。經(jīng)常用到的數(shù)據(jù)最好要記住。例如,300K時(shí)硅、
錯(cuò)、碑化錢的禁帶寬度分別為L(zhǎng)12ev,0.67ev,1.428evo本征載流子濃度分別
為、、均為實(shí)驗(yàn)值。
6、能夠?qū)懗鲋粨诫s一種雜質(zhì)的半導(dǎo)體的一般性電中性方程,若只有施主雜
質(zhì)時(shí),為,若只有受主雜質(zhì)時(shí)為。本征激發(fā)可以忽略的情況下,例如室溫區(qū),電
中性條件為;
溫度較高,雜質(zhì)全部電離,本征激發(fā)不能忽略時(shí),電中性條件為,在這種
情況下,應(yīng)和聯(lián)立可解出和。
7、在摻雜濃度一定地情況下,能夠解釋多子濃度隨溫度地變化關(guān)系(如教
材圖3T1的解釋)。在一定的溫度和摻雜濃度條件下,判斷半導(dǎo)體所處的溫度區(qū)
域,并計(jì)算出載流子濃度和費(fèi)米能級(jí)位置。
8、掌握半導(dǎo)體同時(shí)含有施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)情況下電中性方程的一般表達(dá)
式,能較熟練地分析和計(jì)算補(bǔ)償型半導(dǎo)體的載流了濃度和費(fèi)米能級(jí)。
9、對(duì)簡(jiǎn)并化半導(dǎo)體有最基本的認(rèn)識(shí),其主要特點(diǎn)是摻雜濃度高,使費(fèi)米能
級(jí)接近或進(jìn)入導(dǎo)帶或價(jià)帶。能夠熟練使用簡(jiǎn)并化條件。
第四章半導(dǎo)體的導(dǎo)電性本章內(nèi)容提要:
本章主要討論載流子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律(載流子的輸運(yùn)現(xiàn)象)、載流子在電場(chǎng)中的
漂移運(yùn)動(dòng)、遷移率、電導(dǎo)率、散射機(jī)構(gòu)及強(qiáng)電場(chǎng)效應(yīng)。
本章重難點(diǎn):
重點(diǎn):
1、微分歐姆定律:在半導(dǎo)體中,常遇到電流分布不均勻的情況,即流過不
同截面的電流強(qiáng)度不相等。所以,通常用電流密度來描述半導(dǎo)體中的電流。電流
密度是指通過垂直于電流方向的單位面積的電流,根據(jù)熟知的歐姆定律可以得到
電流密度。它把通過半導(dǎo)體中某一點(diǎn)的電流密度和該處的電導(dǎo)率及電場(chǎng)強(qiáng)度直接
聯(lián)系起來,稱為歐姆定律的微分形式。
2、漂移速度和遷移率:有外加電壓時(shí),導(dǎo)體內(nèi)部的自由電子受到電場(chǎng)力的
作用,沿著電場(chǎng)的反方向作定向運(yùn)動(dòng)構(gòu)成電流。電子在電場(chǎng)力的作用下的這種運(yùn)
動(dòng)稱為漂移運(yùn)動(dòng),定向運(yùn)動(dòng)的速度稱為漂移速度。遷移率為單位場(chǎng)強(qiáng)下電子的平
均漂移速度。因?yàn)殡娮訋ж?fù)電,所以電子的平均漂移速度的方向一般應(yīng)和電場(chǎng)強(qiáng)
度方向相反,但習(xí)慣上遷移率只取正值。
3、電離雜質(zhì)散射:施主雜質(zhì)電離后是一個(gè)帶正電的離子,受主雜質(zhì)電離后
是一個(gè)帶負(fù)電的離子。在電離施主或受主周圍形成一個(gè)庫侖勢(shì)場(chǎng)。這一庫侖勢(shì)場(chǎng)
局部地破壞了雜質(zhì)附近地周期性勢(shì)場(chǎng),它就是使載流子散射地附加勢(shì)場(chǎng)。當(dāng)我流
子運(yùn)動(dòng)到電離雜質(zhì)附近時(shí),由于庫侖勢(shì)場(chǎng)地作用,就使載流子運(yùn)動(dòng)地方向發(fā)生改
變。電離施主和電離受主對(duì)電子和空穴散射,它們?cè)谏⑸溥^程中的軌跡是以施主
或受主為一個(gè)焦點(diǎn)的雙曲線。常以散射幾率P來描述散射地強(qiáng)弱,它代表單位時(shí)
間內(nèi)一個(gè)載流子受到散射的次數(shù)。具體的分析發(fā)現(xiàn),濃度為的電離雜質(zhì)對(duì)載流子
的散射幾率與溫度的關(guān)系為:。
4、晶格散射:晶格散射主要是長(zhǎng)縱聲學(xué)波和長(zhǎng)縱光學(xué)波。長(zhǎng)縱聲學(xué)波傳播
時(shí)荷氣體中的聲波類似,會(huì)造成原子分布的疏密變化,產(chǎn)生體變,即疏處體積膨
脹,密處壓縮,如圖4-10(a)所示。在一個(gè)波長(zhǎng)中,一半處于壓縮狀態(tài),
半處于膨脹狀態(tài),這種體變表示原子間距的減小或增大。由第一章知道,禁帶寬
度隨原子間距變化,疏處禁帶寬度減小,密度增大,使能帶結(jié)構(gòu)發(fā)生波形起伏。
禁帶寬帶的改變反映出導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂?shù)纳吆徒档?,引起能帶極值的改變。這
時(shí),同是處于導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂?shù)碾娮踊蚩昭?,在半?dǎo)體的不同地點(diǎn),其能量就有
差別。所以,縱波引起的能帶起伏,就其對(duì)載流子的作用講,如同產(chǎn)生了一個(gè)附
加勢(shì)場(chǎng),這一附加勢(shì)場(chǎng)破壞了原來勢(shì)場(chǎng)的嚴(yán)格周期性,就使電子從K狀態(tài)散射到
K狀態(tài)。長(zhǎng)縱光學(xué)波散射主要發(fā)生在離子晶體中。在離子晶體中,每個(gè)原胞內(nèi)由
正負(fù)兩個(gè)離子,它們和縱聲學(xué)波一樣,形成疏密相間的區(qū)域。由于正負(fù)離子位移
相反,所以,正離子的密區(qū)和負(fù)離子的疏區(qū)相合,正離子的疏區(qū)和負(fù)離子的密區(qū)
相合,從而造成在一半個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)帶正電,另一半個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)帶負(fù)電,帶正
負(fù)電的區(qū)域?qū)a(chǎn)生電場(chǎng),對(duì)載流子增加了一個(gè)勢(shì)場(chǎng)的作用,這個(gè)勢(shì)場(chǎng)就是引起載
流子散射的附加勢(shì)場(chǎng)。
5、平均自由時(shí)間和散射幾率的關(guān)系:載流子在電場(chǎng)中作漂移運(yùn)動(dòng)時(shí),只有
在連續(xù)兩次散射之間的時(shí)間內(nèi)才作加速運(yùn)動(dòng),這段時(shí)間稱為自由時(shí)間。自由時(shí)間
長(zhǎng)短不一,若取極多次而求得其平均值則稱為載流子的平均自由時(shí)間,它與散射
幾率互為倒數(shù)的關(guān)系。
6、遷移率與平均自由時(shí)間和有效質(zhì)量的關(guān)系:通過計(jì)算外電場(chǎng)作用下我流
子的平均漂移速度,空于有效質(zhì)量各向同性的電子和空穴,其遷移率分別為和。
對(duì)等能面為旋轉(zhuǎn)桶球的多極值半導(dǎo)體,因?yàn)檠鼐w的不同方向有效質(zhì)量不
同,所以遷移率與有效質(zhì)量的關(guān)系稍復(fù)雜些。例如對(duì)于硅:
稱為電導(dǎo)遷移率,其值由三個(gè)主軸方向的三個(gè)遷移率的線性組合,即,稱
為電導(dǎo)有效質(zhì)量,由下式?jīng)Q定:
遼移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系:
對(duì)摻雜的硅、錯(cuò)當(dāng)導(dǎo)體,主要散射機(jī)構(gòu)是電離雜質(zhì)散射和聲學(xué)波散射。
電離雜質(zhì)散射特點(diǎn)是隨溫度升高,遷移率增大,隨電離雜質(zhì)增加遷移率減
小;
聲學(xué)波散射特點(diǎn)是隨溫度升高遷移率下降。同時(shí)存在這兩種散射機(jī)構(gòu)時(shí),
就要考慮它們的共同作用對(duì)遷移率的影響。當(dāng)摻雜濃度較低時(shí),可以忽略電離雜
質(zhì)的影響。遷移率主要受晶格散射影響,即隨溫度升高遷移率下降;
當(dāng)摻雜濃度較高時(shí),低溫時(shí)晶格振動(dòng)較弱,晶格振動(dòng)散射比電離雜質(zhì)散射
作用弱,主要是電離雜質(zhì)散射,所以隨溫度升高遷移率緩慢增大;
當(dāng)溫度較高時(shí),隨溫度升高,晶格振動(dòng)加劇,晶格散射作用,所以高溫時(shí)
遷移率隨溫度升高而降低。
8、電阻率決定于載流子的濃度和遷移率,基本表示式如下:
當(dāng)半導(dǎo)體中電子濃度遠(yuǎn)大于空穴濃度時(shí),n型半導(dǎo)體,電子濃度遠(yuǎn)大于空穴
濃度時(shí),P型半導(dǎo)體,電子濃度遠(yuǎn)小于空穴濃度時(shí),本征半導(dǎo)體,電子濃度等于
空穴濃度時(shí),電阻率與雜質(zhì)濃度的關(guān)系:
輕摻雜時(shí)(例如雜質(zhì)濃度小于),室溫下雜質(zhì)全部電離,載流子濃度近似等
于雜質(zhì)濃度,而遷移率隨雜質(zhì)濃度地變化不大,與載流子濃度(即雜質(zhì)濃度)的
變化相比較,可以認(rèn)為遷移率幾乎為常數(shù),所以隨雜質(zhì)濃度升高電阻率下降,若
對(duì)電阻率表達(dá)式取對(duì)數(shù),則電阻率和雜質(zhì)濃度的關(guān)系是線性的。
摻雜濃度較高時(shí)(雜質(zhì)濃度大于),由于室溫下雜質(zhì)不能全部電離,簡(jiǎn)并半
導(dǎo)體中電離程度下降更多,使我流子濃度小于雜質(zhì)濃度;
又由于雜質(zhì)濃度較高時(shí)遷移率下降較大。這兩個(gè)原因使電阻率隨雜質(zhì)濃度
的升高而下降。
本征半導(dǎo)體和雜質(zhì)半導(dǎo)體的電阻率隨溫度的變化關(guān)系有很大不同:對(duì)純平
導(dǎo)體材料,電阻率主要是由本征載流子濃度決定。隨溫度上升而急劇增加,室溫
附近,溫度每增加,硅的本征載流子濃度就增加一倍,因?yàn)檫w移率只稍有下降,
所以電阻率將相應(yīng)的降低一半左右;
對(duì)褚來說,溫度每增加,本征載流子濃度增加一倍,電阻率降低一半,本
征半導(dǎo)體電阻率隨溫度增加而單調(diào)地下降,這是本征半導(dǎo)體區(qū)別于金屬的一個(gè)重
要特征。對(duì)雜質(zhì)半導(dǎo)體由雜質(zhì)電離和本征激發(fā)兩個(gè)因素存在,又有電離雜質(zhì)散射
和晶格散射兩種散射機(jī)構(gòu)的存在,因而電阻率隨溫度的變化關(guān)系要復(fù)雜些。一定
雜質(zhì)濃度的硅樣品的電阻率和溫度的關(guān)系曲線大致分為三個(gè)溫度區(qū)段:
低溫區(qū)段溫度很低,本征激發(fā)可忽略,載流子主要由雜質(zhì)電離提供,它隨
溫度升高而增加;
散射主要由雜質(zhì)電離決定,遷移率也隨溫度升高而增大,所以,電阻率隨
溫度升高而下降。
電離飽和區(qū)段,溫度繼續(xù)升高(包括室溫),雜質(zhì)已全部電離,本征激發(fā)還
不十分顯著,載流子基本上不隨溫度變化,晶格振動(dòng)散射上升為主要矛盾、遷移
率隨溫度升高而降低,所以,電阻率隨溫度升高而增大。
本征激發(fā)區(qū)段,溫度繼續(xù)升高,本征激發(fā)很快增加,大量本征載流子的產(chǎn)
生遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過遷移率的減小對(duì)電阻率的影響,這時(shí),本征激發(fā)成為矛盾的主要方面,
雜質(zhì)半導(dǎo)體的電阻率將隨溫度的升高而急劇地下降,表現(xiàn)出同本征半導(dǎo)體相似的
特性。
9、定性解釋強(qiáng)電場(chǎng)下歐姆定律發(fā)生偏離的原因:主要可以從載流子與晶格
振動(dòng)散射時(shí)的能量交換過程來說明。在沒有外加電場(chǎng)情況下,載流子和晶格散射
時(shí),強(qiáng)吸收聲子或發(fā)射聲子與晶格交換動(dòng)量和能量,交換的凈能量為零載流子的
平均能量與晶格的相同,兩者處于熱平衡狀態(tài).有電場(chǎng)存在時(shí),載流子從電場(chǎng)中
獲得能量,隨后乂以發(fā)射聲子的形式將能量傳給晶格,這時(shí),平均的說,載流子
發(fā)射的聲子數(shù)多于吸收的聲子數(shù)。到達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)時(shí),單位時(shí)間載流子從電場(chǎng)中獲
得的能量同給予晶格的能量相同。但是,在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子從電場(chǎng)中獲得
的能量很多,載流子的平均能量比熱平衡狀態(tài)時(shí)的大,因而載流子和晶格系統(tǒng)不
再處于熱平衡狀態(tài)。溫度是平均動(dòng)能的量度,既然載流子的能量大于晶格系統(tǒng)的
能量,人們便引進(jìn)載流子的有效溫度來描述語晶格系統(tǒng)不處于熱平衡狀態(tài)的我流
子,并稱這種狀態(tài)的載流子為熱載流子。所以,在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子溫度比
晶格溫度高,載流子的平均能量比晶格的大。熱載流子與晶格散射時(shí),由于熱載
流子能量高,速度大于熱平衡狀態(tài)下的速度,由看出,在平均自由程保持不變得
情況下,平均自由時(shí)間減小,因而遷移率降低。當(dāng)電場(chǎng)不是很強(qiáng)時(shí),載流子主要
和聲學(xué)波散射,遷移率有所降低。當(dāng)電場(chǎng)進(jìn)一步增強(qiáng),載流子能量高到可以和光
學(xué)波聲子能量相比時(shí),散射時(shí)可以發(fā)射光學(xué)波聲子,丁是載流子獲得的能量大部
分又消失,因而平均漂移速度可以達(dá)到飽和。
10、耿氏效應(yīng):n型神化線兩端電極上加以電壓。當(dāng)電壓高到某一值時(shí),半
導(dǎo)體電流便以很高頻率振蕩,這個(gè)效應(yīng)稱為耿氏效應(yīng)。耿氏效應(yīng)與半導(dǎo)體的能帶
結(jié)構(gòu)有關(guān):伸化線導(dǎo)帶最低能谷1位于布里淵區(qū)中心,在布里淵區(qū)邊界L處還有
一個(gè)能谷2,它比能谷1高出0.29ev。當(dāng)溫度不太高時(shí),電場(chǎng)不太強(qiáng)時(shí),導(dǎo)帶電
子大部分位于能谷1。能谷1曲率大,電子有效質(zhì)量小。能谷2曲率小,電子有
效質(zhì)量大()。由于能谷2有效質(zhì)量大,所以能谷2的電子遷移率比能谷1的電
子遷移率小,即.當(dāng)電場(chǎng)很弱時(shí)二電子位于能谷1,平均漂移速度為。當(dāng)電場(chǎng)很
強(qiáng)時(shí),電子從電場(chǎng)獲得較大能量由能谷1躍遷到能谷2,平均漂移速度為,由于,
所以在速場(chǎng)特性上表現(xiàn)為不同的變化速率(實(shí)際上和是速場(chǎng)特性的兩個(gè)斜率。即
低電場(chǎng)時(shí),高電場(chǎng)時(shí))。在遷移率由變化到的過程中經(jīng)過一個(gè)負(fù)阻區(qū)。在負(fù)阻區(qū),
遷移率為負(fù)值。這一特性也稱為負(fù)阻效應(yīng)。其意義是隨著電場(chǎng)強(qiáng)度增大而電流密
度減小。
難點(diǎn):
1、晶格散射主要是討論格波與載流子的作用。格波的能量是離子化的,其
能量單元稱為聲子,當(dāng)格波能量減少一個(gè)能量子(能量單元),就稱作放出一個(gè)
聲子:
增加一個(gè)能量子就稱吸收一個(gè)聲子。聲子的說法不僅生動(dòng)地表示出格波能
量的量子化特征,而且在分析晶格與物質(zhì)作用時(shí)很方便。例如,電子在晶體中被
格波散射便可以看作是電子與聲子的碰撞。
2、平均自由時(shí)間是統(tǒng)計(jì)平均值。
3、遷移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系比較復(fù)雜,對(duì)硅、褚等原子半導(dǎo)體主要
是電離雜質(zhì)散射和晶格散射,抓住主要矛盾可對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果作出較好的解釋(可參
考課程重點(diǎn)中的第三條及講義圖4-13的解釋)。
4、電阻率與載流子濃度和遷移率有關(guān)。在分析電阻率與溫度的關(guān)系時(shí),要
注意我流子濃度和遷移率都與溫度有關(guān)。在考慮我流子濃度對(duì)電阻率的影響時(shí),
溫度對(duì)載流子濃度的影響可參考第三章圖3—11。
5、平均漂移速度與電場(chǎng)強(qiáng)度的關(guān)系:電場(chǎng)較弱時(shí)、平均漂移速度與電場(chǎng)強(qiáng)
度成線性關(guān)系,即歐姆定律成立;
當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度較大時(shí),平均漂移速度按電場(chǎng)強(qiáng)度的二分之一次方增大,卻開
始便離歐姆定律;
當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度再增大,使電子能量已高到和光學(xué)聲子能量相比擬時(shí),電子和
晶格散射時(shí)便可以發(fā)射聲學(xué)光子。穩(wěn)態(tài)時(shí),平均漂移速度與電場(chǎng)無關(guān),達(dá)到飽和。
本章基本物理概念和問題:
1、半導(dǎo)體中的電流是電子電流和空穴電流的總和:一塊均勻半導(dǎo)體,兩端
加以電壓,在半導(dǎo)體內(nèi)部就形成電場(chǎng)。因?yàn)殡娮訋ж?fù)電,空穴帶正電,所以兩者
漂移運(yùn)動(dòng)的方向不同,電子反電場(chǎng)方向漂移,空穴沿電場(chǎng)方向漂移。但是,形成
的電流都是沿著電場(chǎng)方向。因而,半導(dǎo)體中的導(dǎo)電作用應(yīng)該是電子導(dǎo)電和空穴導(dǎo)
電的總和。
2、電子遷移率比空穴遷移率大:遷移率數(shù)值大小可表示載流子在電場(chǎng)作用
下運(yùn)動(dòng)的難易程度,導(dǎo)電的電子是在導(dǎo)帶中,它們是脫離了共價(jià)鍵可以在半導(dǎo)體
中自由運(yùn)動(dòng)的電子;
而導(dǎo)電的空穴是在禁帶中,空穴電流實(shí)際上是代表了共價(jià)鍵上的電子在價(jià)
鍵間運(yùn)動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的電流。顯然,在相同的電場(chǎng)作用下,兩者的平均漂移速度不
會(huì)相同,而且,導(dǎo)帶電子平均漂移速度要大些,就是說,電子遷移率與空穴遷移
率不相等,前者要大些C
3、散射幾率:表示單位時(shí)間內(nèi)一個(gè)載流子受到輻射的次數(shù),其數(shù)值與散射
機(jī)構(gòu)有關(guān)。
4、單位電場(chǎng)作用下載流子獲得的平均漂移速度叫做漂移遷移率。在分析硅
的六個(gè)能谷中的電子市電流的貢獻(xiàn)時(shí),又引入了電導(dǎo)遷移率,實(shí)質(zhì)上它是漂移遷
移率的線性組合,因此,電導(dǎo)遷移率仍具有漂移遷移率的意義。漂移遷移率可通
過熨驗(yàn)來測(cè)量。
5、對(duì)于補(bǔ)償材料,在雜質(zhì)完全電離情況下,載流子濃度決定于兩種雜質(zhì)濃
度之差,但遷移率決定于兩種雜質(zhì)濃度的總和。如果材料中摻有多種施主雜質(zhì)和
受主雜質(zhì),則遷移率決定于所有電離雜質(zhì)濃度之和。
6、總遷移率的倒數(shù)等于各散射機(jī)構(gòu)遷移率的倒數(shù)之和。
7、可以用實(shí)驗(yàn)的方法測(cè)量半導(dǎo)體樣品的電阻率,對(duì)于非補(bǔ)償和輕補(bǔ)償?shù)牟?/p>
料,其電阻率可以反映出它的雜質(zhì)濃度(基本上就是載流子濃度)。對(duì)丁高度補(bǔ)
償?shù)牟牧?,因?yàn)檩d流子濃度很小,電阻率很高,并無真正說明材料很純,.而是這
種材料雜質(zhì)很多,遷移率很小,不能用于制造器件。
8、熱載流子:在強(qiáng)電場(chǎng)情況下,載流子從電場(chǎng)中獲得的能量很多,載流子
的平均能量比熱
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