1GB/TXXXXX—XXXX光學(xué)功能薄膜表觀質(zhì)量的掃描顯微鏡測(cè)試方法本文件規(guī)定了通過掃描電子顯微鏡、激光掃描共聚焦顯微鏡，對(duì)光學(xué)功能薄膜產(chǎn)品表觀質(zhì)量的檢測(cè)方法。本文件適用于光學(xué)功能薄膜。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T33376光學(xué)功能薄膜術(shù)語及其定義3術(shù)語和定義GB/T33376界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1光學(xué)功能薄膜opticalfunctionalfilms具有優(yōu)良光學(xué)性能主要用于平板顯示器的各種原膜和功能膜。[來源：GB/T33376-2016，2.1.19]3.2夾雜物inclusion基體中的異物顆粒。這些顆粒通常是化合物（如氧化物、氮化物、碳氮化物、硫化物或硅酸鹽也可以是任何物質(zhì)（本質(zhì)上不溶于基體）。3.3凹坑pit基體表面出現(xiàn)的小而尖銳、近似圓形的凹陷。3.4松散附著顆粒particlesthatlooselyadhere顆粒超過3/4的體積在表面上。這些顆粒通常很亮，通過調(diào)整對(duì)比度、亮度參數(shù)，顆粒表面的細(xì)節(jié)仍難以觀察到。3.5劃傷scratch基體表面上的一維缺陷，如表面出現(xiàn)的線狀痕跡。其深度不超過缺陷的寬度。3.6溝槽groove基體表面上具有深度和寬度的表面二維缺陷。其深度大于寬度，或者相反。2GB/TXXXXX—XXXX4意義和用途本方法用于測(cè)試待測(cè)樣品表觀質(zhì)量。本試驗(yàn)得到的數(shù)據(jù)穩(wěn)妥可靠。5儀器5.1掃描電子顯微鏡（SEM）5.1.1SEM的分辨率等于或者優(yōu)于5nm。缺陷計(jì)數(shù)的拍攝面積要有100cm2。5.1.2對(duì)光學(xué)功能薄膜樣品分析時(shí)測(cè)試參數(shù)如下：加速電壓（0.1～20）Kv；工作距離（3～60）mm；樣品傾斜（-2～30）°。5.1.3隨機(jī)選擇5個(gè)區(qū)域進(jìn)行拍攝。5.2激光掃描共聚焦顯微鏡5.2.1擁有放大觀察和測(cè)量系統(tǒng)，通過鏡頭放大觀察樣品，測(cè)量、分析樣品表面的凹凸情況，甚至還具有表面粗糙度測(cè)量?jī)x的特點(diǎn)。5.2.2對(duì)光學(xué)功能薄膜樣品分析時(shí)測(cè)試參數(shù)如下：半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)為661nm，激光共聚焦高度及寬度顯示分辨率0.1nm，測(cè)試原理是激光共聚焦，300mm晶片載物臺(tái)。6危害遵守所有關(guān)于使用高壓和產(chǎn)生X射線設(shè)備的正常和可接受預(yù)防措施。7取樣7.1根據(jù)本文件中第9章，對(duì)樣品進(jìn)行制備，以暴露其表面。7.2避免待分析樣品表面污染，可將樣品安裝到樣品臺(tái)上。8校準(zhǔn)使用標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室實(shí)踐和制造商建議定期校準(zhǔn)儀器。9實(shí)驗(yàn)過程9.1對(duì)光學(xué)功能薄膜樣品分析時(shí)，SEM的實(shí)驗(yàn)過程如下：a)對(duì)表觀質(zhì)量出現(xiàn)問題的樣品，取合適大小面積樣品安裝在樣品臺(tái)上。按需進(jìn)行離子濺射儀噴鍍；b)將其放入SEM樣品倉(cāng)，抽真空；c)當(dāng)真空條件滿足測(cè)試需求時(shí)，激活電子束；d)移動(dòng)樣品，聚焦在樣品表面感興趣的區(qū)域。確保感興趣的區(qū)域具有代表性，避免變形；e)對(duì)圖像進(jìn)行聚焦、去像散，最終獲得清晰的圖像；f)設(shè)置放大倍數(shù)，并記錄圖像；g)移動(dòng)到第二個(gè)隨機(jī)區(qū)域，對(duì)另外樣本點(diǎn)重復(fù)9.1中e)至9.1中f)的步驟；3GB/TXXXXX—XXXXh)關(guān)閉SEM電子束，并從真空室中取出樣品。9.2對(duì)光學(xué)功能薄膜樣品分析時(shí)，激光共聚焦掃描顯微鏡的實(shí)驗(yàn)過程如下：a)打開控制器、測(cè)量頭和控制用PC的電源。至少測(cè)量開始前60min打開控制器和測(cè)量頭的電源；b)啟動(dòng)觀察軟件，初始化（返回到初始位置）鏡頭位置；c)樣品大小為（70×70）mm,制作時(shí)應(yīng)保證樣品清潔、完整，否則重新制樣，將制作好的樣片放置圓形載物上壓緊固定；d)信息采集。移動(dòng)樣品，聚焦在樣品表面感興趣的區(qū)域。將放大倍數(shù)設(shè)置為1200倍，通過粗調(diào)調(diào)整樣品的清晰度。對(duì)焦結(jié)束后選擇開始測(cè)量，最終獲得清晰的圖像；e)打開分析軟件，首先進(jìn)行基準(zhǔn)面設(shè)置、去除干擾等圖像處理。用多文件分析軟件打開測(cè)量數(shù)據(jù)后，會(huì)在主窗口中顯示網(wǎng)格表。把測(cè)量和分析的結(jié)果作為新的表單添加進(jìn)來，可通過選項(xiàng)卡進(jìn)行切換。在網(wǎng)格表中，可通過類似電子表格軟件的操作，對(duì)測(cè)量和分析結(jié)果進(jìn)行管理。進(jìn)行各種測(cè)量，粗糙度、表面形貌、粒子狀態(tài)、弊病分析及三維圖；f)重復(fù)測(cè)試，移動(dòng)到第二個(gè)隨機(jī)區(qū)域，對(duì)另外四個(gè)樣本點(diǎn)重復(fù)9.2中d)至9.2中e)的步驟。g)數(shù)據(jù)處理結(jié)束，保存并導(dǎo)出Excel。10報(bào)告報(bào)告含有以下信息：a)相關(guān)照片須包括以下內(nèi)容：樣品名稱、日期和電壓。b)報(bào)告的所有數(shù)據(jù)須確定設(shè)備制造商和型號(hào)。c)任何獲取數(shù)據(jù)所需的設(shè)備或程序的特殊修改也須被記錄并詳細(xì)描述。4GB/TXXXXX—X