國防軍工計量技術(shù)規(guī)范氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范2018-11-08發(fā)布氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF(軍工)186-2018CalibrationSpecificationofHeliumMassSpectrometerLeakDetector起草單位：國防科技工業(yè)真空一級計量站本規(guī)范起草人：趙瀾(國防科技工業(yè)真空一級計量站)成永軍(國防科技工業(yè)真空一級計量站)孫雯君(國防科技工業(yè)真空一級計量站)陳聯(lián)(國防科技工業(yè)真空一級計量站)馮天佑(國防科技工業(yè)真空一級計量站)管保國(國防科技工業(yè)真空一級計量站)張瑞芳(國防科技工業(yè)真空一級計量站)孫冬花(國防科技工業(yè)真空一級計量站)郭美如(國防科技工業(yè)真空一級計量站)袁征難(國防科技工業(yè)真空一級計量站)馬亞芳(國防科技工業(yè)真空一級計量站)高潔(國防科技工業(yè)真空一級計量站) 1 1 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 6 6 7 氨質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范b)相對濕度：不大于80%;流量范圍：(5×102~5×101)Pam2's,流量范圍：(S×101~5×10?)Pam3%s,擴展不確定度不大于18%(k-2);擴展不確定度不大于6%(=2)。漏率范圍：(5×10~?~5×10)Pam3s,擴展不確定度不大于20%(k-2):漏率范圍：(5×105×105)Pam2s,擴展不確定度72校準(zhǔn)方法33)重復(fù)上面1)~2),測量n組數(shù)據(jù)，n≥6.2)打開截止閥8,調(diào)節(jié)氣體微流量計10,向氮質(zhì)譜檢漏儀9輸入穩(wěn)定的氮流3)重復(fù)1)~2)步驟，調(diào)節(jié)不同量級對應(yīng)的穩(wěn)定標(biāo)準(zhǔn)流量Q,(一般為4L—第/次氫質(zhì)譜檢漏儀噪聲，Pam%2)被校氧質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率的算術(shù)平校準(zhǔn)次數(shù)，≥6.Q—第/點標(biāo)準(zhǔn)流量，Pam's—第/點氧質(zhì)譜檢漏儀漏率示值，Pama.出7測量不確定度評定示例0—氫質(zhì)譜檢漏儀的最小可檢漏率，Pam%s;—質(zhì)譜檢漏儀漏率的示值，Pam2s;n(0)-√P?@)+Gr()+Ge(4)(m,(Q,)—標(biāo)準(zhǔn)流量值引入的相對標(biāo)準(zhǔn)不確定度5.0%~10%. 可—校氨質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率的算術(shù)平均值； 9—結(jié)果的相對合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度。U,=k(C=Vcr(@+Gr(4)(A.13)C—被校氫質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)系數(shù)的算術(shù)平均值：2U,=k(A.20)原始記錄