痕量水分儀校準規(guī)范CalibrationSpecificationofTra北京市市場監(jiān)督管理局發(fā)布JJF(京)156-2024痕量水分儀校準規(guī)范痕量水分儀校準規(guī)范JJF(京)156-2024IJJF(京)156-2024 （I） （II） （1） （1） （1） （2） （2） （3） （3） （3） （4） （4） （4） （4） （7） （8） （9） （10） （11）JJF(京)156-20241JJF(京)156-2024痕量水分儀校準規(guī)范本規(guī)范適用于光腔衰蕩光譜法(CRDS)和可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法3.1光腔衰蕩光譜法CavityRing光強度隨時間呈N次單指數(shù)衰減。光腔衰蕩光譜法（Cavityring-down3.2可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法TunableDiodeLaserAbsorption可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜法（TunableDiodeLaserAbsorption2Spectroscopy，TDLAS）主要是利用可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的窄線寬和波長隨注入3.3低霜點濕度發(fā)生器Low-fros探測器待測氣體激光器測量信號探測器待測氣體激光器測量信號溫度壓力傳感器激光調(diào)諧鎖相放大模塊參考信號激光調(diào)諧鎖相放大模塊參考信號數(shù)據(jù)建模處理3JJF(京)156-2024表1痕量水分儀計量特性露點溫度rd-100℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃體積比ppmv0.01≤ppmv＜2.62.6≤ppmv＜39.139.1≤ppmv＜1024.61024.6≤ppmv<23701.8露點最大允許誤差±1.2℃±0.9℃±0.6℃±0.5℃體積比最大允許誤差±0.5±4.6±60.7±761.91.不同的低霜點濕度發(fā)生器，樣氣流量范圍可能不同；2.以上指標(biāo)不用于合格性判別；3.體積比單位ul/L。環(huán)境溫度：10℃~30℃;當(dāng)校準露點溫度范圍在-70℃~20℃之間時，氣體管路系統(tǒng)的連接管可選擇4如果測量露點范圍-100℃≤rd＜-90℃,采用標(biāo)準濕度發(fā)生器作為標(biāo)準器；如果測量露點范圍-90℃≤rd＜20℃采用精密露點儀作為標(biāo)準器。表2標(biāo)準濕度發(fā)生器技術(shù)要求露點溫度rd-100℃≤rd＜-90℃最大允許誤差±0.4℃表3精密露點儀技術(shù)要求露點溫度rd-90℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃最大允許誤差±0.4℃±0.3℃±0.2℃±0.15℃5JJF(京)156-2024標(biāo)準濕度發(fā)生器痕量水分儀標(biāo)準濕度發(fā)生器痕量水分儀氣源系統(tǒng)圖2痕量水分儀校準的連接示意圖應(yīng)越長。建議吹掃時間見表4；表4露點溫度與吹掃時間對應(yīng)表露點溫度吹掃時間-100℃≤rd＜-70℃-70℃≤rd＜-50℃-50℃≤rd＜-20℃-20℃≤rd≤20℃記錄痕量水分儀的露點溫度值，每隔2min按同樣順序記錄一組數(shù)據(jù)，累計記錄6（1）采用精密露點儀作為標(biāo)準器精密露點儀氣源系統(tǒng)低霜點濕度發(fā)生器痕量水分儀圖3痕量水分儀校準的連接示意圖越長。建議吹掃時間見表4；7JJF(京)156-2024（2））；），g）進行校準的日期，如果與校準結(jié)果的有效性和應(yīng)用h）如果與校準結(jié)果的有效性應(yīng)用有關(guān)時，應(yīng)對被校樣品的抽樣程序進行說j）本次校準所用測量標(biāo)準的溯源性及有效性說明；k）校準環(huán)境的描述；89JJF(京)156-2024委托單位被校設(shè)備校準地點環(huán)境條件校準時間校準人員核驗人員校準依據(jù)校準儀器校準項目□外觀和工作正常性檢查□濕度示值誤差工作正常性檢查：□正?！醍惓託庠O(shè)定流量：L/min露點溫度校準點/℃序號標(biāo)準器露點溫度值/℃痕量水分儀露點溫度示值/℃12346平均值示值誤差工作正常性檢查：□正常□異常流量設(shè)定值：L/min露點溫度校準點/℃標(biāo)準器露點溫度/℃痕量水分儀露點溫度/℃痕量水分儀露點溫度示值誤差/℃擴展不確定度JJF(京)156-2024溫度10℃~30℃,相對濕度≤85%T為均勻分布,-5,則：u1=0.005℃/=0.003℃。C.4.1.2被校準痕量水分儀短期重復(fù)性引入的表C.120℃重復(fù)性測量數(shù)據(jù)序號123456數(shù)據(jù)20.01℃20.03℃20.03℃20.04℃20.03℃20.02℃表C.2短期重復(fù)性引入的不確定度露點溫度/℃-90-70-50-2020u2/℃0.0070.0060.0050.0040.004C.4.2.1低霜點濕度發(fā)生器波動引入的于±0.10℃,每記錄一組數(shù)據(jù)的間隔很短，按均勻分布，則其標(biāo)準不確定度估計周圍環(huán)境中的水汽主要通過管路、零件、閥等滲透進入發(fā)生器的輸出管響較大，當(dāng)露點溫度低于-60℃時，影響更明顯。不同露點溫度時管路密封和滲JJF(京)156-2024表C.3管路密封和滲透引入的不確定度露點溫度/℃200.100.050.020.0030C.4.3.2精密露點儀代入修正值引入的不確定度u6C.4上一級濕度標(biāo)準給出的精密露點儀修正值的擴展不確定度露點溫度/℃20U(k=2)/℃0.300.300.300.150.15C.5精密露點儀代入修正值引入的不確定度露點溫度/℃50.080.08表C.6不確定度分量匯總表不確定度分量不確定度來源標(biāo)準不確定度靈敏系數(shù)被校準低霜點濕度發(fā)生器u1分辨力0.003℃1u2重復(fù)性見表C.21波動度0.06℃1u4管路密封和滲透見表C.31標(biāo)準器精密露點儀分辨力0.003℃1u6修正值見表C.51備注u1和u2取大一級精密露點儀校準痕量水分儀在不同露點溫度的合成標(biāo)準不確定度按式表C.7合成標(biāo)準不確定度露點溫度-90℃≤Td＜-70℃-70℃≤Td＜-50℃-50℃≤Td＜-20