國家計量技術規(guī)范規(guī)程制修訂《光柵線位移測量裝置（系統(tǒng)）校準規(guī)范》實驗報告實驗過程中環(huán)境溫度均在（20±2）℃，相對濕度≤70%RH。北京華卓精密科技有限公司，產(chǎn)品名稱:激光干涉比長儀工作基準裝置；不確定度/準確度:U=(0.02+0.04L)μm(k=2),L-m；名稱：激光干涉儀（型號XL-80，出廠編號：2AGY93）；準確度：示值誤差絕對值小于0.3×10-6L；柵線位置偏差表1-實驗1實驗項目：柵線位置偏差實驗日期：2024.1.26實驗環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：北京華卓精密科技有限公司出廠編號：001型號規(guī)格：硅片材料反射型，柵線范圍：30mm，柵距：0.02mm測量結果（偏差曲線）：表2-實驗2實驗項目：柵線位置偏差實驗日期：2023.10.20實驗環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：大連榕樹光學有限公司出廠編號：DLRS-001型號規(guī)格：鋼帶反射型，柵線范圍：1000mm，柵距：0.02mm測量結果（偏差曲線）：信號周期偏差表3-實驗3實驗項目：信號周期偏差實驗日期：2023.10.20實驗環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：大連榕樹光學有限公司出廠編號：DLRS-001型號規(guī)格：鋼帶反射型，柵線范圍：1000mm，柵距：0.02mm測量結果（偏差曲線）：細分誤差表4-實驗4實驗項目：細分誤差實驗日期：2023.6.20實驗環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：長春禹衡光學有限公司出廠編號：111700006型號規(guī)格：玻璃透射光柵，位移范圍：1000mm，柵距：40μm在光柵尺全行程的首（位置1）、中（位置2）、末（位置3）3個位置測量結果（誤差曲線）：位置1細分誤差：0.12μm，位置2細分誤差：0.16μm，位置3細分誤差：0.09μm光柵尺細分誤差：0.16μm回程誤差表5-實驗5實驗項目：回程誤差實驗日期：2023.10.9實驗環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：大連榕樹光學有限公司出廠編號：DLRS-001型號規(guī)格：鋼帶反射型，柵線范圍：1000mm，柵距：0.02mm，位移行程范圍：850mm數(shù)據(jù)曲線：正反行程偏差正反行程差回程誤差：1.45μm重復性表6-實驗6實驗項目：重復性實驗日期：2023.6.20實驗環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：長春禹衡光學有限公司出廠編號：111700005型號規(guī)格：玻璃透射光柵，位移范圍：470mm，柵距：40μm測量結果曲線：重復性：0.17μm穩(wěn)定度表7-實驗7實驗項目：穩(wěn)定度實驗日期：2024.3.26實驗環(huán)境：溫度（20±0.5）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：德國海德漢HEIDENHAIN公司出廠編號：SN25308523型號規(guī)格：納米衍射光柵LIP302，柵線范圍280mm，位移范圍：270mm，柵距：0.512μm，信號周期：0.128μm測量結果曲線：穩(wěn)定度：0.20μm/4h準確度表8-實驗8實驗項目：準確度實驗日期：2023.6.20實驗環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度≤70%RH；生產(chǎn)廠家：長春禹衡