目前 .-1---------------------------PAGE8前GB/T4754《2006IPCC所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。CVD腔室清洗是利用生產(chǎn)過程排放。半導(dǎo)體生產(chǎn)中刻蝕與化學(xué)氣相淀積（VD）腔室清洗過程中由于化

= FCi×

×CCi×OFi

NCVi—i種燃料的收到基低位發(fā)熱量；液體燃料，單位為吉焦/噸（GJ/t）；氣體燃料，2.1規(guī)定的各燃料品種對應(yīng)的缺省值。燃料的單位熱值含碳量，優(yōu)先采用主管部門最新公布值，其次采用本指南附表2.1所提

EGHG?=∑iEEFC,ii,j

EEFC,i——i種原料氣泄漏產(chǎn)生的排放，單位為噸二氧化碳當(dāng)量（tCO2e）；EBP,i,j——ij種副產(chǎn)品排放，單位為噸二氧化碳當(dāng)量（tCO2e）；i——EEFC,i=1?h·FCi·1?Ui·1?ai·di ai——i種原料氣的收集效率，%；di——i種原料氣的去除效率，%；GWPi——i2.3取值；i——FCi=IBi+IEi?Pi? FCi——i種原料氣的使用量，單位為噸（t）；IBi——i種原料氣的期初庫存量，單位為噸（t）；Pi——i種原料氣的期末庫存量，單位為噸（t）；IEi——i種原料氣的購入量，單位為噸（t）；Si——i

EBP,i,j=1?h·Bi,j·FCi·1?aj·dj FCi——i種原料氣的使用量，單位為噸（t）；aj——j種副產(chǎn)品的收集效率，%；料氣的利用率、原料氣產(chǎn)生副產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化因子采用附表2.210%2.3取值。ECO2?電力=AD電力×EF電 ECO2?熱力=AD熱力×EF熱 AD電力—電力排放因子根據(jù)來源采用加權(quán)平均計(jì)算，其中電網(wǎng)購入電力和自備電廠供電對應(yīng)的排0。核算邊界外但能提供獨(dú)立計(jì)量數(shù)據(jù)的余熱回收利用，排放因子為0；若數(shù)據(jù)不可得，采用4.1868kJ/kcal。GB17167等標(biāo)準(zhǔn)的要求。計(jì)量器具應(yīng)確保在有效的檢定/JJG539、JJF1834、JJG1118等規(guī)程或規(guī)范的要求。t+1t年度排放報(bào)告中報(bào)告此次變更情況，通過t年度核查后方可使用實(shí)測值，相關(guān)參數(shù)的實(shí)測數(shù)據(jù)應(yīng)來自檢測報(bào)告，CMACNAS認(rèn)可，且檢測能力包括上述參數(shù)的檢測機(jī)構(gòu)/實(shí)驗(yàn)CMACNAS認(rèn)可標(biāo)識章。對于排放數(shù)據(jù)，按規(guī)定校準(zhǔn)但準(zhǔn)確度超過規(guī)定要求：檢測結(jié)果1+(校準(zhǔn)準(zhǔn)確度-規(guī)定準(zhǔn)確度)]；3個歷史基準(zhǔn)年生產(chǎn)數(shù)據(jù)、排放數(shù)據(jù)，以及期間發(fā)生的產(chǎn)量及排放量按月份劃分情況（XYX+1月開始作為變化后 年月--PAGE10按GB/T4754生產(chǎn)經(jīng)營變化情況綜合能耗（萬噸標(biāo)煤工業(yè)總產(chǎn)值（萬元按照核算邊界填報(bào)的溫室氣體排放總量（化碳當(dāng)量主營產(chǎn)品名稱報(bào)告年度數(shù)據(jù)信息匯總排放量（噸二氧化碳當(dāng)量歷史基準(zhǔn)年度數(shù)據(jù)信息匯總排放量（噸二氧化碳當(dāng)量（XYX+1月開始作為變化后時(shí)段數(shù)據(jù)值獲取方式支撐材料12范填寫，原則上應(yīng)填寫4344.14.1.1t或4.1.24.1.34.1.44.1.1t或4.1.24.1.34.1.44.24.2.14.2.1.14.2.1.24.2.1.34.2.1.44.2.2電量以及純余熱余壓發(fā)電電量排放因子為4.3熱力供應(yīng)排放因子根據(jù)來源采用加權(quán)平如果是蒸汽鍋爐供熱，排放因子為鍋爐排放量/鍋爐供熱量；如果是自備電廠，排放因子參考《企業(yè)溫室氣體排放核算方法核算邊界內(nèi)的余熱回收利用，或來源于核算邊界外但能提供獨(dú)立計(jì)量數(shù)據(jù)的余熱回收利用，排放因子為0；若數(shù)據(jù)不可得，采用4.4t4.4.1.6itt副產(chǎn)品--14量11.928b×10-12.54517.46033.6b×10-32.527.5b×10-17.46033.60d×10-28.43529.5b×10-41.81642.65220.2b×10-43.07044.217.2b×10-50.17944.520.0b×10-40.2389.3115.3b×10-179.8133.00084.00