ICS8104030

CCSQ.35.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T45826—2025

光刻用摻鈦石英玻璃

Titaniadopedsilicaglassforlithography

2025-05-30發(fā)布2025-12-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T45826—2025

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國建筑材料聯(lián)合會提出

。

本文件由全國工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC447)。

本文件起草單位湖北菲利華石英玻璃股份有限公司中國建筑材料科學(xué)研究總院有限公司中國

:、、

國檢測試控股集團(tuán)股份有限公司玻璃新材料創(chuàng)新中心安徽有限公司中國科學(xué)院微電子研究所

、()、、

中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中建材玻璃新材料研究院集團(tuán)有限公司成都光明光電股

、、

份有限公司成都光明光電有限責(zé)任公司威海長和光導(dǎo)科技有限公司南通晶體有限公司中國計量科

、、、、

學(xué)研究院中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所久智光電子材料科技有限公司中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械

、、、

研究所濟(jì)南光微半導(dǎo)體科技有限公司上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司神光光學(xué)集團(tuán)有限公司上海傳

、、、、

芯半導(dǎo)體有限公司成都路維光電有限公司長沙韶光芯材科技有限公司國檢測試控股集團(tuán)重慶檢測

、、、

有限公司

。

本文件主要起草人張寒聶蘭艦劉俊龍夏郭俊謝常青張海濤沈一春錢宜剛邵竹鋒王慧

:、、、、、、、、、、

劉煥敏劉亞茹王京俠李佩悅于浩陳衛(wèi)東劉振禹毛露路云仕東莫大洪王世凱裴廣慶曹欣

、、、、、、、、、、、、、

崔劍秋黃婷秦衛(wèi)光韓甫金曉榮黃蕓盧衛(wèi)民蔡曉峰司繼偉鄭宇辰李弋舟王亮亮胡會容

、、、、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T45826—2025

光刻用摻鈦石英玻璃

1范圍

本文件規(guī)定了光刻用摻鈦石英玻璃以下簡稱摻鈦石英玻璃的要求檢驗規(guī)則以及標(biāo)志包裝運(yùn)

()、、、

輸和貯存描述了相應(yīng)的試驗方法

,。

本文件適用于半導(dǎo)體集成電路光刻反射光學(xué)系統(tǒng)用摻鈦石英玻璃的生產(chǎn)檢驗交付和驗收

、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

透明石英玻璃氣泡氣線試驗方法

GB/T5949、

無色光學(xué)玻璃測試方法條紋度檢測方法

GB/T7962.7

低膨脹玻璃線熱膨脹系數(shù)試驗方法激光干涉法

GB/T43881

石英玻璃術(shù)語

JC/T2205

光學(xué)石英玻璃應(yīng)力雙折射試驗方法點掃描法

JC/T2851

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

JC/T2205。

31

.

摻鈦石英玻璃titaniadopedsilicaglass

在某一溫度范圍內(nèi)平均線熱膨脹系數(shù)不大于-8-1的含二氧化鈦的石英玻璃

5×10℃。

注平均線熱膨脹系數(shù)的最低測試溫度不低于最高測試溫度不超過

:-50℃,300℃。

4要求

41規(guī)格尺寸

.

摻鈦石英玻璃的直徑或長寬及其偏差厚度及其偏差