ICS31.030CCSQ50/59團 體 標 準T/CASAS048—2025碳化硅單晶生長用等靜壓石墨Iso-staticgraphiteforsiliconcarbidesinglecrystals2025-04-23發(fā)布 2025-04-23實施第三代導體技術創(chuàng)戰(zhàn)略盟 發(fā)布T/CASAS048—2025T/CASAS048—2025II目 次前言 II引言 III范圍 1規(guī)性用件 1術和義 1技要求 222度求雜元含量 2試方法 2積度 2阻率 2折度 3壓度 3拉度 3膨系數(shù) 3導率 3氏度 3向性度 3純及素質量 3動彈模量 3石化度 3檢規(guī)則 33333廠驗 4果定 4式驗 4標、裝運和存 4裝標、存運輸 4存件 4附錄 A 資性）雜質素含覆范圍 5參考獻 6T/CASAS048—2025前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任。CASACASA許可CASAIIT/CASAS048—2025T/CASAS048—2025IIIIII引 言本文件的制定結合了國內(nèi)眾多碳化硅單晶廠商對碳化硅單晶生長用等靜壓石墨的具體指標要求，以及石墨生產(chǎn)廠家多年來在碳化硅單晶生長用石墨材料檢測方面的詳細數(shù)據(jù)積累。本文件的制定填補T/CASAS048—2025T/CASAS048—202511碳化硅晶體生長用等靜壓石墨范圍本文件適用于純度要求達到5N5（質量分數(shù)99.9995）（GB/T1427炭素材料取樣方法GB/T1431炭素材料耐壓強度測定方法GB/T3074.1炭素材料抗折強度測定方法GB/T3704.2石墨電極彈性模量測試方法GB/T4048高溫氣冷堆堆內(nèi)構件用核級等靜壓石墨GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值表示和判定GB/T8718炭素材料術語GB/T8719炭素材料及其制品的包裝、標志、儲存、運輸和質量證明書的一般規(guī)定GB/T8721炭素材料抗拉強度測定方法GB/T22588閃光法測試熱擴散系數(shù)或導熱系數(shù)GB/T24525炭素材料電阻率測定方法GB/T24528炭素材料體積密度測定方法GB/T24533鋰離子電池石墨類負極材料GB/T8718界定的術語和定義適用于本文件。等靜石墨 iso-staticgraphite雜質量 impuritycontent石墨中所含非碳元素的質量百分數(shù)。純度 purity石墨中所含碳元素的質量百分數(shù)。T/CASAS048—2025T/CASAS048—202522各向性度 isotropy成型重力方向熱膨脹系數(shù)（CTE⊥）與垂直成型重力方向熱膨脹系數(shù)（CTE∥）的比值。[來源：GB/T40408—2021,3.2]外觀產(chǎn)品表面不允許有肉眼可見的裂紋、磕碰、油污、砂眼等表面缺陷。性能碳化硅單晶生長用等靜壓石墨的理化性能和力學性能指標要求見表1。表1 理化能力性指要求項目單位指標值要求體積密度g/cm3≥1.7電阻率μΩ?m8～18抗折強度MPa≥25耐壓強度MPa≥55抗拉強度MPa≥15熱膨脹系數(shù)(RT-600℃)10-6/K3-7熱導率（RT）W/(m?K)≥80肖氏硬度HSD≥30各向同性度/≤1.05石墨化度%≥70動態(tài)彈性模量GPa8～12純度要求及雜質元素含量N（99.995%表2 雜質素其量求受控元素指標要求（單位為ppm）B≤0.05A1≤0.05P≤0.10Ti≤0.05V≤0.05按照GB/T24528的規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。電阻率T/CASAS048—2025T/CASAS048—202533按照GB/T24525規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照GB/T3074.1規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照GB/T1431規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行?？估瓘姸劝凑誈B/T8721規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照ASTME228-22規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。熱導率按照GB/T22588規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照GB/T22588規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照GB/T4048規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照ISO/TS15338-2020規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照GB/T3704.2規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。按照GB/T24533規(guī)定執(zhí)行，數(shù)值修約按GB/T8170規(guī)定執(zhí)行。組批抽樣取樣按GB/T1427第5章（石墨塊）的規(guī)定在抽取的樣品上取樣，試樣應均勻且具有代表性。制樣T/CASAS048—2025T/CASAS048—202544產(chǎn)品檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗，檢驗項目按表3規(guī)定。表3檢驗項目檢驗項目技術要求檢驗方法出廠檢驗型式檢驗體積密度4.25.1√√電阻率4.25.2-√抗折強度4.25.3√√耐壓強度4.25.4-√抗拉強度4.25.5-√熱膨脹系數(shù)4.25.6-√熱導率4.25.7-√肖氏硬度4.25.8-√純度及雜質元素含量4.25.9-√各向同性度4.25.10√√石墨化度4.25.11-√動態(tài)彈性模量4.25.12-√注：“√”代表必檢項目，“—”代表未檢項目。按照表3規(guī)定的出廠檢驗項目進行檢測，結果全部合格時，判定為合格；結果不合格時，允許從該有下列情況之一時應進行型式檢驗，型式檢驗取2份樣品，1份檢測，1份備樣：包裝、標志、儲存和運輸按GB/T8719的規(guī)定執(zhí)行。貯存條件潔凈倉庫條件：a) 20℃～26b) 40～70T/CASAS048—2025T/CASAS048—202555附錄A（資料性）雜質元素總含量覆蓋范圍雜質元素總含量覆蓋范圍參考表A.1。表A.1雜質元素總含量覆蓋范圍序號元素序號元素1Li38Ag2Be39Cd3B40In4F41Sn5Na42Sb6Mg43Te7Al44I8Si45Cs9P46Ba10S47La11Cl48Ce12K49Pr13Ca50Nd14Sc51Sm15Ti52Eu16V53Gd17Cr54Tb18Mn55Dy19Fe56Ho20Co57Er21Ni58Tm22Cu59Yb23Zn60Lu24Ga61Hf25Ge62Ta26As63W27Se64Re28Br65Os29Rb66Ir30Sr67Pt31Y68Au32Zr69Hg33Nb70Tl34Mo71Pb35Ru72Bi36Rh73Th37Pd74U注：因不同輝光放電質譜儀導致該表中個別元素無法覆蓋的情況，同樣適應本文件。T/