Index半導(dǎo)體工廠基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞生產(chǎn)流通名次產(chǎn)能相關(guān)的名詞Capacity計算原理產(chǎn)能的影響因素生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng)——生產(chǎn)指標的定義及管控生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)及生產(chǎn)指標CVP/OTD&CT的定義CVP/CT的管控CT、output與WIP、Capacity的關(guān)系OEE優(yōu)先級yield0第一章半導(dǎo)體廠基礎(chǔ)生產(chǎn)類名詞

1一.一生產(chǎn)流通名詞WIP：在制品,waferinprocess的縮寫EffectiveWIP:

在線[不含customerhold]圓片中產(chǎn)出標記不為P和FILLER的圓片BUFFER:

某設(shè)備大類前等待加工產(chǎn)品的數(shù)量,不含RUN的產(chǎn)品[不含HOLD]

MOVE：圓片的制程步驟移動數(shù)量,一個圓片在PROMIS流程中每移動一步為一個MOVE有效MOVE：在線[不含customerhold]圓片中產(chǎn)出標記不為P和FILLER的圓片產(chǎn)生的MOVEStage：同一制程目的的step合起來稱為一個stage;Turnratio

：周轉(zhuǎn)率,Move與WIP的比值,衡量流通速度的指標.

=Move/WIPREPSTAGE：基本按光刻層次劃分,一層光刻表示一個REPSTAGE,部分特殊.WAITTIME:指當(dāng)前步驟前等待時間,不含HOLDHOLDTIME:最近一次發(fā)生HOLD后的時間FABOUT：入B-ship的外部訂單數(shù)量.流程單：也稱RUNCARD.記錄圓片的加工步驟和要求,在流片過程中要嚴格遵循流程單上的工藝步驟和要求2一.二產(chǎn)能相關(guān)名詞SOP：StandardOperationProcedure---標準操作程序SPT：standardprocesstime,在適宜的操作條件下,采用標準操作方法,以普通熟練工人的正常速度完成標準作業(yè)所需的時間.一般指作業(yè)一個Batch需要的時間.BATCH:一次生產(chǎn)量,一次操作所生產(chǎn)的數(shù)量,設(shè)備每個RUN的圓片數(shù)量.WPH：waferperhour,機臺每小時之圓片產(chǎn)出量.用來衡量設(shè)備的產(chǎn)出速率

WPH=BATCH/SPTCapacity:產(chǎn)能,設(shè)備目標OEE條件下按照SPT計算單位時間內(nèi)的理論產(chǎn)出數(shù)量Capacity/day=WPH*二四*OEEtarget3設(shè)備組Loading=Q1+Q2+……Qn設(shè)備組Capacity設(shè)備組Capacity=加權(quán)平均WPH*24*OEE*設(shè)備臺數(shù)*天數(shù)一.三Capacity_計算原理加權(quán)平均SPT=Q1*SPT1+Q2*SPT2+……Qn*SPTnQ1+Q2+……QnQn：某一時期內(nèi)菜單n的數(shù)量SPTn:菜單n的SPT

加權(quán)平均WPH=Batch加權(quán)平均SPTLoading最高的設(shè)備組為工廠的瓶頸設(shè)備組.FABCapacity一般用光刻層數(shù)[layer數(shù)]表示.FABCapacity=總光刻層數(shù)瓶頸設(shè)備組Loading4一.四Capacity_影響產(chǎn)能的因素F[x]Equipment.Uptime.Available.Set.EfficiencyProcessType.Recipe;[SPT,WPH].FrequencyProductmix.TotalFrequencyCapacityYield.FABYield九七%.PhotoReworkrate九五%5第二章生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng)

——生產(chǎn)指標定義及管控6index生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標CVP/OTD&CT定義CVP/CT管控CT、output與WIP、Capacity的關(guān)系及管控OEE優(yōu)先級系統(tǒng)Yield7一.一生產(chǎn)的概念生產(chǎn)定義：狹義：投入一定的資源,經(jīng)過一系列、多種形式的變換,使其價值增值,最后產(chǎn)出消費產(chǎn)品的過程廣義：系統(tǒng)論的發(fā)展使人們能夠從更抽象、更高的角度來認識和把握各種現(xiàn)象的共性,把有形產(chǎn)品的生產(chǎn)過程和無形產(chǎn)品服務(wù)的提供過程都看作一種“投入→變換→產(chǎn)出”的過程,作為一種具有共性的問題來研究投入人力物料設(shè)備技術(shù)信息知識能源土地廠房增值變換（工藝過程或執(zhí)行步驟）產(chǎn)出產(chǎn)品服務(wù)信息收集與反饋顧客或用戶參與8二.一生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理：對生產(chǎn)運作過程進行計劃、組織、指揮、協(xié)調(diào)、控制和考核的一系列管理活動.生產(chǎn)管理

現(xiàn)場管理工程技術(shù)管理

任務(wù)對生產(chǎn)管理活動按職能分類：現(xiàn)場管理：

最大限度地激活人、物、設(shè)備的作用,在每道工序保證完美質(zhì)量的前提下追求高效率化狹義生產(chǎn)管理：

為了達到按用戶要求,采用合適、不浪費、經(jīng)濟的方式,生產(chǎn)已開發(fā)、設(shè)計的產(chǎn)品并提供給用戶這一目的所做的各項計劃、管理工作.

工程技術(shù)管理：

為了完成效率良好的Q、D、C而進行的產(chǎn)品設(shè)計、工程設(shè)計和生產(chǎn)設(shè)備管理生產(chǎn)管理的任務(wù)與目標：實現(xiàn)企業(yè)的總體經(jīng)營目標Q－Quality[質(zhì)量],D－Delivery[進度],C－Cost[成本]保證與提高質(zhì)量；適時適量將產(chǎn)品投放市場；降低產(chǎn)品成本.D－Delivery[進度]：包含產(chǎn)量、速度兩層含義.生產(chǎn)運作管理的作用與意義：生產(chǎn)運作過程是企業(yè)創(chuàng)造價值與利潤的主要環(huán)節(jié)；生產(chǎn)運作管理是企業(yè)經(jīng)營的基本職能；生產(chǎn)運作管理是企業(yè)增強竟爭力的源泉.9二.二生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理現(xiàn)場管理工程技術(shù)管理指標：OTD/CVPCTOUTPUTYield……生產(chǎn)計劃生產(chǎn)控制成本物料管理產(chǎn)能管理……工作標準化PDCA循環(huán)管理模式

OEE實踐活動優(yōu)先級系統(tǒng)10三.一

OTD/CVP&CT定義OTD：準時交貨率[OnTimeDeliver]CVP：定單數(shù)量的準時交付[入庫]率[ConfirmVolumePerformance]CVP=實際準時入庫數(shù)量/定單要求入庫數(shù)量*一00%

CT：流通周期[CycleTime],即自投料到入庫的時間

CT=入庫時間-CustomerHold時間-投料時間CT/layer：自投料到入庫的實際流通時間/layer數(shù)11三.二

OTD/CVP/CT管控OTD運作控制工具：DailyreviewOTD/CT控制工具WAFERINWAFERSTARTPOLICYWAFEROUT交期控制WAFEROUT生產(chǎn)目標達成LONGSTAYCONTROL派貨一]CapacityImprove二]優(yōu)先級系統(tǒng)一、WIP數(shù)量及WIP分布的管控二、產(chǎn)能大小及穩(wěn)定性管控12三.三CT、output與WIP、Capacity的關(guān)系及管控Output[layer/day]=WIP/[CT/layer]當(dāng)WIP大于某個值時：Output[layer/day]=Capacity[layer/day]此時CT/layer=WIP/Capacity[layer/day]CT、output改善：一.控制WIP在合理水平二.努力提升靜態(tài)瓶頸設(shè)備產(chǎn)能三.保證設(shè)備穩(wěn)定性,減少工藝限制,以減少動態(tài)瓶頸13

OEE[OverallEquipmentEffectiveness],即總體設(shè)備效率.OEE是一個全面衡量半導(dǎo)體設(shè)備性能和產(chǎn)能的指標.四.一OEE_定義14

●Unworrieddays[holidays]

●Installation,rebuildorupgrade

●Processexperiments

●Repair●PM●

Changeofconsumable

●Regularproduction●Noproduct

●Rework●Nooperator[0二state]

●

EngineeringLots

TotalTime

Non-Scheduled

TimeWorking

Time

UptimeDowntime

Engineering

Time

Available

Time

Productive

Time

Idle

Time

UnscheduledDowntime

[DOWN]

ScheduledDowntime[PM]

QC

Time

四.二基本概念-OEE_時間組成15四.三基本概念-OEE_計算公式責(zé)任部門計算公式Equipmentuptime%=[totaltime-0五-0三down-0四PM]/[totaltime-0五]

=[0一prod+0二idle+0六QC+0七eng]/[totaltime-0五]*一00%ProcessAvailable%=[totaltime-0五-0三down-0四PM-0六QC-0七eng]/[totaltime-0五]

=[uptime-0六QC-0七eng]/[totaltime-0五]

=[0一prod+0二idle]/[totaltime-0五]*一00%MFGEfficiency%=實際出片數(shù)目/按SPT計算出的理論出片數(shù)目MFG&Market…Usedofavailable%＝0一prod/availabletime＝0一prod/[0一prod+0二idle]OEE=Available%*Efficiency%*Usedofavailable%注：一]按照TOC[約束理論],提高瓶頸設(shè)備的Usedofavailable%,就是提高生產(chǎn)率；

二]由于每個時期過片需求不同,導(dǎo)致Usedofavailable%數(shù)值不同,因此,我們也會把Usedofavailable%當(dāng)一00%的OEE數(shù)值,定為設(shè)備的目標OEE；

三]Usedofavailable%相當(dāng)于機臺Loading[即機臺負載],因此計算設(shè)備產(chǎn)能時,會將設(shè)備OEE中的Usedofavailable%=一00%,來反推機臺的Loading；16確定當(dāng)前的瓶頸設(shè)備要搜集足夠的數(shù)據(jù),尤其需要實時的、精確的數(shù)據(jù)成立一個跨部門的OEE專案小組分析數(shù)據(jù),找出根本原因,提出改進措施,達成效果分析,推動Action執(zhí)行.鼓勵設(shè)備供應(yīng)商的參加四.四OEE實施17五.一優(yōu)先級系統(tǒng)優(yōu)先等級：按理論剩余流通周期[加調(diào)整天數(shù)]與剩余交貨時間差數(shù)大小,或者市場定單需求緊急程度,對園片加工先后順序給予的等級優(yōu)先等級：資源有限的前提下,為更有效的完成生產(chǎn)目標[OTD、output、linebalance、keycustomer等],對圓片的加工順序給予的等級,是一個資源合理分配的過程.18六.一成品率類定義標準描述計算公式一]Lineyield[線成品率]Lineyield=當(dāng)月在線產(chǎn)出的圓片數(shù)/[當(dāng)月在線產(chǎn)出片數(shù)+當(dāng)月在線報廢片數(shù)]*一00%二]PCMyield[PCM成品率]當(dāng)月PCM產(chǎn)出片數(shù)/[當(dāng)月PCM產(chǎn)出片數(shù)+當(dāng)月PCM報廢片數(shù)]*一00%三]QAyield[QA成品率