生物醫(yī)學(xué)傳感壓電式第一頁，共105頁。超聲刀、超聲剪B超探頭血壓計8/18/20252第二頁，共105頁。第一節(jié)壓電傳感器

工作原理---壓電效應(yīng)壓電材料(石英、壓電陶瓷）特性等效電路及測量電路壓電傳感器的應(yīng)用8/18/20253第三頁，共105頁。一、壓電效應(yīng)8/18/20254第四頁，共105頁。8/18/20255第五頁，共105頁。重要特性（雙向有源器件）何為壓電式傳感器?8/18/20256第六頁，共105頁。二、壓電材料：具有壓電效應(yīng)的材料8/18/20257第七頁，共105頁。納米發(fā)電機8/18/20258第八頁，共105頁。高分子壓電材料制作的壓電薄膜和電纜

8/18/20259第九頁，共105頁。8/18/202510第十頁，共105頁。⑴石英晶體的壓電效應(yīng)天然形成的石英晶體外形8/18/202511第十一頁，共105頁。石英晶體三個晶軸光軸：z

電軸：x

機械軸：y8/18/202512第十二頁，共105頁。石英晶體的產(chǎn)生壓電效應(yīng)的物理過程：8/18/202513第十三頁，共105頁。Y+++---X(a)FX=0P1P2P3

作用力與產(chǎn)生電荷之間的關(guān)系：FXXY++++－－－－FX(b)FX<0+++---P1P2P3(P1+P2+P3)X>0（P1+P2+P3）Y=0（P1+P2+P3）Z=08/18/202514第十四頁，共105頁。（P1+P2+P3）X<0（P1+P2+P3）Y=0（P1+P2+P3）Z=0(c)FX>0Y+++--X-+++－－－FXFXP2P3P1+－8/18/202515第十五頁，共105頁。8/18/202516第十六頁，共105頁。石英晶體切片石英晶體薄片雙面鍍銀并封裝8/18/202517第十七頁，共105頁。8/18/202518第十八頁，共105頁。（2）壓電陶瓷的壓電效應(yīng)8/18/202519第十九頁，共105頁。8/18/202520第二十頁，共105頁。8/18/202521第二十一頁，共105頁。8/18/202522第二十二頁，共105頁。三、壓電方程或8/18/202523第二十三頁，共105頁。8/18/202524第二十四頁，共105頁。F1XY++++－－－－F1F1<0+++---P1P2P31、縱向效應(yīng)傳感器2、橫向效應(yīng)傳感器

石英晶體X切割：壓電陶瓷：8/18/202525第二十五頁，共105頁。四、等效電路與測量電路＋＋＋＋――――Q電極壓電晶體(a)QCa(b)其電容量為：當(dāng)兩極板聚集異性電荷時，則兩極板呈現(xiàn)一定的電壓，其大小為：理想等效電路：8/18/202526第二十六頁，共105頁。QCtUaUa＝Q/CaQ＝UaCaCa（a）電壓等效電路（b）電荷等效電路8/18/202527第二十七頁，共105頁。電荷型電壓型

壓電傳感器實際的等效電路Ca傳感器的固有電容Ci前置放大器輸入電容Cc

連線電容Ra傳感器的漏電阻Ri前置放大器輸入電阻實際等效電路：8/18/202528第二十八頁，共105頁。【例1】一只x切型的石英晶體壓電元件，其d11=2.31×10-12C/N，相對介電常數(shù)εr=4.5，橫截面積A=5cm2，厚度h=0.5cm。求：(1)縱向受Fx=9.8N的壓力作用時壓電片兩電極間輸出電壓值為多大？(2)若此元件與高輸入阻抗運放連接時連接電纜的電容為Cc=4pF，該壓電元件的輸出電壓值為多大？真空時的介電常數(shù)

0

=

8.854×10-12F/m8/18/202529第二十九頁，共105頁。前置放大器也有兩種形式：

電壓放大器：其輸出電壓與輸入電壓（傳感器的輸出電壓）成正比；電荷放大器：其輸出電壓與輸入電荷成正比。測量電路

壓電式傳感器的前置放大器有兩個作用：1.把傳感器的高輸出阻抗換成低阻抗輸出；2.放大傳感器輸出的弱信號-----高輸入阻抗的前置放大器8/18/202530第三十頁，共105頁。

1、電壓放大器

壓電元件所受作用力

傳感器電壓靈敏度Ku：傳感器的輸入電壓：8/18/202531第三十一頁，共105頁。電荷放大器是一個具有深度負反饋的高增益放大器。

2、電荷放大器在放大器開環(huán)增益A足夠大時：靈敏度與電纜電容無關(guān)8/18/202532第三十二頁，共105頁。五、壓電傳感器的應(yīng)用1、壓電式加速度傳感器8/18/202533第三十三頁，共105頁。2、

壓電式壓力傳感器8/18/202534第三十四頁，共105頁。3、

壓電式傳感器的其他應(yīng)用8/18/202535第三十五頁，共105頁。8/18/202536第三十六頁，共105頁。8/18/202537第三十七頁，共105頁。汽車安全氣囊系統(tǒng)事故性碰撞：點火信號、電點火管、氣體發(fā)生劑、氣體、充氣、彈性體8/18/202538第三十八頁，共105頁。壓電式血壓傳感器指套式電子血壓計生物醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用第三十九頁，共105頁。心內(nèi)導(dǎo)管壓電微音器第四十頁，共105頁。超聲波及其物理性質(zhì)1超聲波傳感器的原理2超聲波傳感器應(yīng)用3

第二節(jié)超聲波傳感器8/18/202541第四十一頁，共105頁。超聲波技術(shù)是一門以物理、電子、機械及材料學(xué)為基礎(chǔ)的，各行各業(yè)都使用的通用技術(shù)之一。它是通過超聲波產(chǎn)生、傳播以及接收這個物理過程來完成的。超聲波在液體、固體中衰減很小，穿透能力強，特別是對不透光的固體，超聲波能穿透幾十米的厚度。當(dāng)超聲波從一種介質(zhì)入射到另一種介質(zhì)時，由于在兩種介質(zhì)中的傳播速度不同，在介質(zhì)面上會產(chǎn)生反射、折射和波型轉(zhuǎn)換等現(xiàn)象。超聲波的這些特性使它在檢測技術(shù)中獲得了廣泛的應(yīng)用，如超聲波無損探傷、厚度測量、流速測量、超聲顯微鏡及超聲成像等。

概述8/18/202542第四十二頁，共105頁。一、超聲波及其物理性質(zhì)1、超聲波的概念和波形機械振動在彈性介質(zhì)內(nèi)的傳播稱為波動，簡稱為波。人能聽見聲音的頻率為20Hz～20kHz，即為聲波，超出此頻率范圍的聲音，即20Hz以下的聲音稱為次聲波，20kHz以上的聲音稱為超聲波，一般說話的頻率范圍為100Hz～8kHz。聲波的頻率界限圖8/18/202543第四十三頁，共105頁。當(dāng)超聲波由一種介質(zhì)入射到另一種介質(zhì)時，由于在兩種介質(zhì)中傳播速度不同，在介質(zhì)界面上會產(chǎn)生反射、折射和波型轉(zhuǎn)換等現(xiàn)象。

超聲波為直線傳播方式，頻率越高，繞射能力越弱，但反射能力越強8/18/202544第四十四頁，共105頁。超聲波的波型及其傳播速度

聲源在介質(zhì)中施力方向與波在介質(zhì)中傳播方向的不同，聲波的波型也不同。通常有：①縱波：質(zhì)點振動方向與波的傳播方向一致的波，它能在固體、液體和氣體介質(zhì)中傳播；②橫波：質(zhì)點振動方向垂直于傳播方向的波，它只能在固體介質(zhì)中傳播；③表面波：質(zhì)點的振動介于橫波與縱波之間，沿著介質(zhì)表面?zhèn)鞑ィ湔穹S深度增加而迅速衰減的波，表面波只在固體的表面?zhèn)鞑ァ?/18/202545第四十五頁，共105頁。超聲波的傳播速度與介質(zhì)密度和彈性特性有關(guān)。超聲波在氣體和液體中傳播時，由于不存在剪切應(yīng)力，所以僅有縱波的傳播，其傳播速度c為式中：ρ——介質(zhì)的密度；

Ba——絕對壓縮系數(shù)。上述的ρ、Ba都是溫度的函數(shù)，使超聲波在介質(zhì)中的傳播速度隨溫度的變化而變化。8/18/202546第四十六頁，共105頁。從表可見，蒸餾水溫度在0～100℃范圍內(nèi)，聲速隨溫度的變化而變化，在74℃時達到最大值，大于74℃后，聲速隨溫度的增加而減小。此外，水質(zhì)、壓強也會引起聲速的變化。在固體中，縱波、橫波及其表面波三者的聲速有一定的關(guān)系，通?？烧J為橫波聲速為縱波的一半，表面波聲速為橫波聲速的90%。氣體中縱波聲速為344m/s，液體中縱波聲速在900～1900m/s。8/18/202547第四十七頁，共105頁。超聲波的反射和折射

聲波從一種介質(zhì)傳播到另一種介質(zhì)，在兩個介質(zhì)的分界面上一部分聲波被反射,另一部分透射過界面，在另一種介質(zhì)內(nèi)部繼續(xù)傳播。這樣的兩種情況稱之為聲波的反射和折射。8/18/202548第四十八頁，共105頁。由物理學(xué)知，當(dāng)波在界面上產(chǎn)生反射時，入射角α的正弦與反射角α′的正弦之比等于波速之比。當(dāng)波在界面處產(chǎn)生折射時，入射角α的正弦與折射角β的正弦之比，等于入射波在第一介質(zhì)中的波速c1與折射波在第二介質(zhì)中的波速c2之比，即8/18/202549第四十九頁，共105頁。聲波的反射系數(shù)和透射系數(shù)可分別由如下兩式求得:

式中：I0,Ir,It——分別為入射波、反射波、透射波的聲強；

α、β——分別為聲波的入射角和折射角；

z1、z2——分別為兩介質(zhì)的聲阻抗。

8/18/202550第五十頁，共105頁。當(dāng)超聲波垂直入射界面，即α=β=0時，則

可知，若z2≈z1，則反射系數(shù)R≈0，透射系數(shù)T≈1，此時聲波幾乎沒有反射，全部從第一介質(zhì)透射入第二介質(zhì)；若z2>>z1,反射系數(shù)R≈1，則聲波在界面上幾乎全反射，透射極少。同理，當(dāng)z1>>z2時，反射系數(shù)R≈1，聲波在界面上幾乎全反射。如：在20℃水溫時，水的特性阻抗為z1=1.48×106kg/(m2·s),空氣的特性阻抗為z2=0.000429×106kg/(m2·s),z1>>z2,故超聲波從水介質(zhì)中傳播至水氣界面時，將發(fā)生全反射。

8/18/202551第五十一頁，共105頁。超聲波的聲速和波長

（1）聲速縱波、橫波及表面波的傳播速度取決于介質(zhì)的彈性系數(shù)、介質(zhì)的密度以及聲阻抗。介質(zhì)的聲阻抗Z等于介質(zhì)的密度ρ和聲速c的乘積，即Z=ρc

（2）波長超聲波的波長λ與頻率f乘積恒等于聲速c，即λ

f=c

8/18/202552第五十二頁，共105頁。常用材料的密度、聲阻抗與聲速（0℃）材料密度ρ(103kg·m-1)聲阻抗Z（103MPa·s-1）縱波聲速cL（km/s）橫波聲速cs（km/s）鋼7.8465.93.23鋁2.7176.323.08銅8.9424.72.05有機玻璃1.183.22.731.43甘油1.262.41.92—水（20℃）1.01.481.48—油0.91.281.4—空氣0.00130.00040.34—8/18/202553第五十三頁，共105頁。超聲波的指向性超聲波聲源發(fā)出的超聲波束以一定的角度逐漸向外擴散。在聲束橫截面的中心軸線上，超聲波最強，且隨著擴散角度的增大而減小。1—超聲源2—軸線3—指向角4—等強度線8/18/202554第五十四頁，共105頁。指向角θ與超聲源的直徑D、以及波長λ之間的關(guān)系為

sinθ=1.22λ/D

設(shè)超聲源的直徑D=20mm，射入鋼板的超聲波（縱波）頻率為5MHz，則根據(jù)上式可得θ=4o，可見該超聲波的指向性是十分尖銳的。8/18/202555第五十五頁，共105頁。超聲波的衰減

聲波在介質(zhì)中傳播時，隨著傳播距離的增加，能量逐漸衰減，其衰減的程度與聲波的擴散、散射及吸收等因素有關(guān)。其聲壓和聲強的衰減規(guī)律為式中：Px、Ix——距聲源x處的聲壓和聲強；

x——聲波與聲源間的距離；

α——衰減系數(shù)，單位為Np/cm（奈培/厘米）。8/18/202556第五十六頁，共105頁。聲波在介質(zhì)中傳播時，能量的衰減決定于聲波的擴散、散射和吸收。在理想介質(zhì)中，聲波的衰減僅來自于聲波的擴散衰減，即隨聲波傳播距離增加而引起聲能的減弱。散射衰減是指超聲波在介質(zhì)中傳播時，固體介質(zhì)中的顆粒界面或流體介質(zhì)中的懸浮粒子使聲波產(chǎn)生散射，其中一部分聲能不再沿原來傳播方向運動，而形成散射。散射衰減與散射粒子的形狀、尺寸、數(shù)量、介質(zhì)的性質(zhì)和散射粒子的性質(zhì)有關(guān)。吸收衰減是由于介質(zhì)粘滯性，使超聲波在介質(zhì)中傳播時造成質(zhì)點間的內(nèi)摩擦，從而使一部分聲能轉(zhuǎn)換為熱能，通過熱傳導(dǎo)進行熱交換，導(dǎo)致聲能的損耗。8/18/202557第五十七頁，共105頁。2、超聲波傳感器

利用超聲波在超聲場中的物理特性和各種效應(yīng)而研制的裝置可稱為超聲波換能器、探測器或傳感器。壓電式超聲波探頭常用的材料是壓電晶體和壓電陶瓷，這種傳感器統(tǒng)稱為壓電式超聲波探頭。它是利用壓電材料的壓電效應(yīng)來工作的：逆壓電效應(yīng)將高頻電振動轉(zhuǎn)換成高頻機械振動，從而產(chǎn)生超聲波，可作為發(fā)射探頭；而正壓電效應(yīng)是將超聲振動波轉(zhuǎn)換成電信號，可作為接收探頭。

8/18/202558第五十八頁，共105頁。

超聲波探頭主要由壓電晶片、吸收塊（阻尼塊）、保護膜、引線等組成。8/18/202559第五十九頁，共105頁。8/18/202560第六十頁，共105頁。8/18/202561第六十一頁，共105頁。3、超聲波傳感器應(yīng)用

超聲波物位傳感器是利用超聲波在兩種介質(zhì)的分界面上的反射特性而制成的。傳感器又可分為單換能器和雙換能器。單換能器的傳感器發(fā)射和接收超聲波使用同一個換能器，而雙換能器的傳感器發(fā)射和接收各由一個換能器擔(dān)任。

超聲波物位傳感器

8/18/202562第六十二頁，共105頁。幾種超聲物位傳感器的結(jié)構(gòu)原理示意圖(a)超聲波在液體中傳播；(b)超聲波在空氣中傳播超聲波物位傳感器

8/18/202563第六十三頁，共105頁。超聲波流量傳感器

超聲波流量傳感器的測定方法是多樣的，如傳播速度變化法、波速移動法、多卜勒效應(yīng)法、流動聽聲法等。但目前應(yīng)用較廣的主要是超聲波傳播時間差法。超聲波在流體中傳播時，在靜止流體和流動流體中的傳播速度是不同的，利用這一特點可以求出流體的速度，再根據(jù)管道流體的截面積，便可知道流體的流量。

8/18/202564第六十四頁，共105頁。8/18/202565第六十五頁，共105頁。1:42PM66流量顯示1789輸出信號換能器換能器接收接收發(fā)射發(fā)射壓電式流量計壓電（超生波）流量計此流量計可測量各種液體的流速，中壓和低壓氣體的流速，不受該流體的導(dǎo)電率、粘度、密度、腐蝕性以及成分的影響。其準確度可達0.5%，有的可達到0.01%。根據(jù)發(fā)射和接收的相位差隨海洋深度的變化，測量聲速隨深度的分布情況.第六十六頁，共105頁。超聲波測厚傳感器

超聲波測厚常用脈沖回波法。超聲波探頭與被測物體表面接觸。主控制器產(chǎn)生一定頻率的脈沖信號，送往發(fā)射電路，經(jīng)電流放大后激勵壓電式探頭，以產(chǎn)生重復(fù)的超聲波脈沖。脈沖波傳到被測工件另一面被反射回來，被同一探頭接收。如果超聲波在工件中的聲速υ是已知的，設(shè)工件厚度為δ，脈沖波從發(fā)射到接收的時間間隔t可以測量，因此可求出工件厚度為δ=υt/28/18/202567第六十七頁，共105頁。超聲波測距儀的設(shè)計---主要應(yīng)用的是反射式檢測方式8/18/202568第六十八頁，共105頁。超聲波測距儀的設(shè)計方案超聲波發(fā)射頭超聲波接收頭振蕩電路驅(qū)動電路波形變換放大電路控制處理單元顯示電源部分發(fā)射電路接收電路控制部分電源部分8/18/202569第六十九頁，共105頁。第三節(jié)聲表面波傳感器一、聲表面波的基本原理二、SAW傳感器的工作原理三、SAW傳感器的主要應(yīng)用8/18/202570第七十頁，共105頁。一、聲表面波的基本原理聲表面波簡介8/18/202571第七十一頁，共105頁。瑞利波示意圖

瑞利波質(zhì)點運動隨深度的變化

瑞利波（Rayleigh波）

8/18/202572第七十二頁，共105頁。勒夫波（Lovewaves）

8/18/202573第七十三頁，共105頁。2.聲表面波的技術(shù)特點4、聲表面波器件可以十分方便地產(chǎn)生高頻信號；1、具有較低的傳播速度，由于聲表面波的傳播速度僅為電磁波的1/10-5，在其傳播路徑上容易取樣和進行處理；2、低成本，利用半導(dǎo)體工藝的光刻技術(shù)（平面工藝）；3、高強度，易于設(shè)計；8/18/202574第七十四頁，共105頁。8/18/202575第七十五頁，共105頁。SAW器件的工作原理：通過對在壓電基片上傳播的聲信號進行各種處理，并利用聲電換能器的特性來完成的。二、SAW傳感器的基本原理8/18/202576第七十六頁，共105頁。1、SAW叉指換能器的工作原理（a）單指叉指換能器，（b）雙電極叉指換能器。

8/18/202577第七十七頁，共105頁。IDTs的參數(shù)：（1）叉指對數(shù)N；（2）孔徑W(指條長度）；（3）指條寬度a；（4）指條間隔寬度b；（5）叉指的周期M。

均勻叉指換能器的指條寬度等于指條間隔寬度，即a=b=M/48/18/202578第七十八頁，共105頁?；想姌O制作流程示意圖。（a）基片前處理；（b）鍍金屬膜；（c）-（d）在金屬層上光刻；（e）金屬層腐蝕；（f）除膠。2、SAW叉指換能器的制備8/18/202579第七十九頁，共105頁。8/18/202580第八十頁，共105頁。3、SAW傳感器的基本原理SAW傳感器特性SAW傳感器優(yōu)勢8/18/202581第八十一頁，共105頁。三、SAW傳感器的主要應(yīng)用溫度傳感器壓力傳感器濕度傳感器陀螺儀（角速率）氣體(化學(xué))傳感器液體(生物)傳感器壓力檢測溫度檢測電子標簽識別物理傳感器無線傳感器化學(xué)、生物傳感器8/18/202582第八十二頁，共105頁。*83基本原理：基于SAW傳播速度的溫度（T）關(guān)聯(lián)關(guān)系，其中TCD為延遲溫度系數(shù)，通常取決于壓電基片材料的晶體結(jié)構(gòu)以及切向，Δυ速度變化，υ0為SAW速度，Tref為參考溫度），SAW技術(shù)可用于溫度的檢測。1、SAW溫度傳感器壓電基片選?。阂恍┚哂休^高溫度系數(shù)的壓電基片如鈮酸鋰，鉭酸鋰以及La3Ga5SiO4等材料廣泛應(yīng)用于溫度傳感器之中。物理傳感器第八十三頁，共105頁。*84基本思想：以SAW器件壓電基片為壓力振動膜，由于外加壓力引起振動膜彎曲變形及其表面的應(yīng)力/應(yīng)變的分布變化導(dǎo)致SAW傳播速度發(fā)生改變，通過采用以SAW器件為反饋元的振蕩器模式，其頻率輸出信號即與所應(yīng)用壓力呈現(xiàn)良好的線性關(guān)系，以此檢測應(yīng)用壓力。2、SAW壓力傳感器應(yīng)用：在某些心臟肺部驅(qū)動以及一些生物技術(shù)、工藝流程中得到較好的應(yīng)用。第八十四頁，共105頁。*853、SAW濕度傳感器特點：具有較高的靈敏度、穩(wěn)定性、可靠性、低成本以及電信號輸出易于與IC電路集成等特點。

應(yīng)用：在各種園藝、農(nóng)業(yè)、醫(yī)藥以及過程控制等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用前景。第八十五頁，共105頁。*864、SAW陀螺儀（角速率傳感器）

基本思想：通過旋轉(zhuǎn)（Ω）對SAW的傳播（質(zhì)點m的垂直旋轉(zhuǎn)方向的速度分量V）形成一種Coriolis力（F）效應(yīng)（F＝2mV×Ω），結(jié)合參考振動模式來實現(xiàn)對角速率的檢測。

優(yōu)勢：

SAW陀螺儀具有很強的抗擊震動能力，可靠性高，成本低，可不用真空封裝而保持較高的靈敏度而成為最有潛力的陀螺儀。第八十六頁，共105頁。*87

主要應(yīng)用:SAW陀螺儀在消費性產(chǎn)品、工業(yè)以及醫(yī)療產(chǎn)品中有著廣闊的應(yīng)用前景，特別在軍用應(yīng)用方面，如一些智能彈以及新型武器系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定系統(tǒng)。第八十七頁，共105頁。*88化學(xué)、生物傳感器

化學(xué)、生物武器等恐怖威脅，突發(fā)性生產(chǎn)、環(huán)境事故要求我們快速檢測出危險，以最大限度的減少人們的生命財產(chǎn)損失。由于SAW傳感器顯著的優(yōu)勢，其在化學(xué)、生物傳感器領(lǐng)域受到越來越多的重視。一系列恐怖襲擊事件也促使聲表面波傳感器從最開始的軍工轉(zhuǎn)而越來越多的在民用市場上出現(xiàn)。第八十八頁，共105頁。*89接觸燃燒式氣體傳感器：檢測范圍小，僅限于可燃氣體;電化學(xué)氣體傳感器：

不足之處是有壽命的限制一般為兩年。半導(dǎo)體金屬氧化物氣體傳感器：

必須在高溫下工作、對氣體或氣味的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不理想、功率高等方面。1、SAW氣體傳感器現(xiàn)有氣體傳感技術(shù)：第八十九頁，共105頁。*90

SAW氣體傳感器：對象寬（多種相及界面）、范圍廣（多類物質(zhì)與多種行業(yè)）、高靈敏（mg-pg級）、快速響應(yīng)、體積小、低成本、可循環(huán)使用、可基陣組合和可智能網(wǎng)絡(luò)化等，而得到重視，是當(dāng)前國際上實際應(yīng)用的最為先進的氣體傳感器。

自1979年Wohltjen和Dessy首次報道了SAW氣體傳感器以來，經(jīng)過30多年的研究與發(fā)展，結(jié)合多種敏感膜材料已研制出針對SOx、NOx、COx、H2S、丙酮、甲醇等多種有毒污染氣體檢測的SAW氣體傳感器，目前已開始在軍用毒劑的檢測、環(huán)境監(jiān)測、藥品食品分析及工業(yè)分析中得到應(yīng)用。第九十頁，共105頁。*91

在國外，如美國以及歐洲部分國家已經(jīng)開始將這種結(jié)合聲表面波技術(shù)的毒劑傳感器裝備部隊。

在我國，關(guān)于這種傳感器的研究仍然處于研究階段。中國科學(xué)院聲學(xué)研究所是目前率先開展聲表面波技術(shù)在毒劑檢測中應(yīng)用的單位，在傳感器功能結(jié)構(gòu)、響應(yīng)機制以及試驗評價上已經(jīng)取得了較好的成果。第九十一頁，共105頁。*92與選擇性的敏感膜相結(jié)合，由它來決定被測量的是什么物質(zhì)；第九十二頁，共105頁。*93結(jié)合敏感膜材料的SAW氣體檢測的基本原理：第九十三頁，共105頁。*94第九十四頁，共105頁。*95第九十五頁，共105頁。*96化學(xué)毒劑（GB，GA，GD，以及VX等）的檢測應(yīng)用－－典型應(yīng)用第九十六頁，共105頁。*97第