ICS23160

CCSJ7.8

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法

第4部分渦輪分子泵

:

Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pump

erformance—Part4Turbomolecularvacuumums

p:pp

ISO21360-42018IDT

(:,)

2025-08-01發(fā)布2025-11-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號

4………………………3

測試方法

5…………………3

測試氣體

5.1……………3

體積流率抽速的測量

5.2()……………3

最大流量的測量

5.3……………………4

臨界前級壓力的測量

5.4………………4

壓縮比測量

5.5…………………………5

基礎(chǔ)壓力的測量

5.6……………………5

振動測量

5.7……………5

測試報(bào)告

6…………………5

體積流率

6.1……………6

壓縮比

6.2………………6

最大流量

6.3……………6

臨界前級壓力

6.4………………………6

基礎(chǔ)壓力

6.5……………7

振動

6.6…………………7

附錄資料性公式和公式的推導(dǎo)

A()(4)(5)……………8

參考文獻(xiàn)

………………………9

Ⅰ

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法的第部分已經(jīng)發(fā)

GB/T40344《》4。GB/T40344

布了以下部分

:

第部分總體要求

———1:;

第部分容積真空泵

———2:;

第部分機(jī)械增壓泵的特定參數(shù)

———3:;

第部分渦輪分子泵

———4:。

本文件等同采用真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第部分渦輪分子

ISO21360-4:2018《4:

泵

》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本文件由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC18)。

本文件起草單位北京中科科儀股份有限公司沈陽真空技術(shù)研究所有限公司沈陽匯真真空技術(shù)

:、、

有限公司浙江博亞精密機(jī)械有限公司蘭州空間技術(shù)物理研究所北京東方計(jì)量測試研究所中科九微

、、、、

科技股份有限公司深圳市賀盛真空科技有限公司寧波卓爾汽車零部件有限公司浙江偉航真空科技

、、、

有限公司中核第七研究設(shè)計(jì)院有限公司湖南維格磁流體股份有限公司北京通嘉宏瑞科技有限公司

、、、、

安徽皖儀科技股份有限公司湘潭宏大真空技術(shù)股份有限公司中科光智重慶科技有限公司馬德寶

、、()、

真空設(shè)備集團(tuán)有限公司合肥昱馳真空技術(shù)有限公司深圳市美格真空科技有限公司寶雞西工鈦合金

、、、

制品有限公司蘇州蘇磁智能科技有限公司

、。

本文件主要起草人李賞張勤德李兵宋海燕孫足來宋青竹喬忠路陸學(xué)貴李松波成永軍

:、、、、、、、、、、

趙瀾盧耀文王歡鄧高飛王浩為李學(xué)勇白剛郭傳渠林剛直閆昊王子圣言繼春言文靜雷曉宏

、、、、、、、、、、、、、、

王國東黃文平黃樂秦占陽王于祥張寶夫郁晉軍董欣李光俊趙子博尹成科尤志強(qiáng)張浩

、、、、、、、、、、、、、

顧艷慶鄒蒙武濤吳曉云孫雯君陳聯(lián)孫冬花羅守庚王玲玲

、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

引言

原有的真空泵標(biāo)準(zhǔn)體系對某些類真空泵性能參數(shù)的測量提出了各自的要求測量裝置和性能測量

,,

方法等內(nèi)容多有重復(fù)且表述不清晰特定真空泵標(biāo)準(zhǔn)的制定以總體要求為基礎(chǔ)依據(jù)各自的特性來測

,。,

定性能數(shù)據(jù)極限值和特定運(yùn)行條件當(dāng)特定真空泵的測量方法與總體要求存在差異時(shí)以特定標(biāo)準(zhǔn)為

、。,

準(zhǔn)真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法旨在從真空泵性能共性和特性的角度提出標(biāo)

。GB/T40344《》

準(zhǔn)測量方法即總體要求和特定真空泵標(biāo)準(zhǔn)擬由個(gè)部分構(gòu)成

,,6。

第部分總體要求旨在提供一份用于測量真空泵性能參數(shù)的基礎(chǔ)文件簡化了今后對特定

———1:。,

真空泵標(biāo)準(zhǔn)的制定包括了三種體積流率的測量方法以及真空基礎(chǔ)壓力壓縮比和臨界前級

。,、

壓力的測量方法

。

第部分容積真空泵旨在以總體要求為基礎(chǔ)對容積真空泵的性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法加以補(bǔ)

———2:。,

充包含了容積真空泵的體積流率基礎(chǔ)壓力水蒸氣容限功耗和最低啟動溫度的測量方法

,、、、。

第部分機(jī)械增壓泵的特定參數(shù)旨在描述機(jī)械增壓泵的最大容許壓差有效壓縮比零流

———3:。、、

量壓縮比和溢流閥壓差的測量方法和特殊要求

。

第部分渦輪分子泵旨在以總體要求為基礎(chǔ)描述了以流量法和小孔法測量渦輪分子泵體

———4:。,

積流率的方法和裝置以及最大流量臨界前級壓力壓縮比基礎(chǔ)壓力振動等參數(shù)的測量方

,、、、、

法和測量裝置

。

第部分非蒸散型吸氣劑真空泵旨在以總體要求為基礎(chǔ)對非蒸散型吸氣劑真空

———5:(NEG)。,

泵的性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法加以補(bǔ)充

。

第部分低溫真空泵旨在以總體要求為基礎(chǔ)對低溫真空泵的性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法加以

———6:。,

補(bǔ)充

。

Ⅳ

GB/T403444—2025/ISO21360-42018

.:

真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法

第4部分渦輪分子泵

:

1范圍

本文件及描述了渦輪分子泵的性能測量方法適用于所有規(guī)格和所有型式的渦輪

GB/T40344.1,

分子泵包括

。:

帶機(jī)械軸承或磁軸承的

———;

帶不帶附加牽引級或其他轉(zhuǎn)子抽氣級的

———/;

帶一個(gè)或多個(gè)進(jìn)氣口的

———。

由于渦輪分子泵有前級泵支持體積流率入口壓力的曲線不能完全確定渦輪分子泵的性能同

,-。

時(shí)渦輪分子泵的驅(qū)動裝置和前級壓力均影響其性能參數(shù)

,。

下列內(nèi)容用以補(bǔ)充確定其性能參數(shù)

:

渦輪分子泵的流量和前級壓力

———;

壓縮比曲線渦輪分子泵的壓縮比前級壓力

———(-)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第部分總體要求

GB/T40344.1—2021