12406-410154-04-01-72406-410154-04-01-7排放廢氣含有毒有害污染物、二是新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目（槽否有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存否越冬場(chǎng)和洄游通道的新增河道取否直接向海排放污染物的海洋工程否2區(qū)黨工委、管委會(huì)正式掛牌成立，委托河南省產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)范圍的基礎(chǔ)上進(jìn)行調(diào)區(qū)和擴(kuò)區(qū)，新劃定為白沙片區(qū)、龍子湖片區(qū)和鄭州東站片區(qū)三部分，規(guī)劃面積東至東四環(huán)、南至商都路、西至圃田西路、北3技中心核心承載區(qū)。區(qū)域性科創(chuàng)綜合服務(wù)中開(kāi)發(fā)區(qū)總體空間按“一區(qū)、兩片、四帶、七板塊、多園”格局進(jìn)行優(yōu)發(fā)展板塊、公共文化與商務(wù)服務(wù)板塊、數(shù)字近期由龍湖水廠、東周水廣、白沙水廠供水高速的給水干管，推進(jìn)供水一張網(wǎng)建設(shè)，實(shí)4部分回用，其余排入淮河流域潁河水系的賈子湖補(bǔ)水、市政雜用等。推進(jìn)陳三橋鄭州新測(cè)控信息應(yīng)用中心等為核心，打造光電產(chǎn)業(yè)集群無(wú)人機(jī)投送、天地互聯(lián)、激光雷達(dá)等先進(jìn)的電產(chǎn)業(yè)園為引領(lǐng)，以國(guó)家質(zhì)檢中心鄭州綜合和中原總部基地為補(bǔ)充的國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的數(shù)字經(jīng)本項(xiàng)目屬于開(kāi)發(fā)區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)-信息服務(wù)產(chǎn)業(yè)（研究和試驗(yàn)發(fā)展主區(qū)數(shù)字經(jīng)濟(jì)板塊產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃，項(xiàng)目占地屬5淘汰類(lèi)、《河南省承接化工產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移本項(xiàng)目為“研究和試驗(yàn)發(fā)展”類(lèi)項(xiàng)目，不屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)南省承接化工產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)場(chǎng)準(zhǔn)入負(fù)面清單》原則上禁止新建和擴(kuò)建獨(dú)立電鍍項(xiàng)本項(xiàng)目不屬于新建和原則上禁止新建和擴(kuò)建化學(xué)合成、發(fā)無(wú)組織排放控制水平、運(yùn)輸方式等達(dá)本項(xiàng)目為“研究和試驗(yàn)發(fā)展”類(lèi)項(xiàng)目，不屬于鼓勵(lì)中水回用、污水深度治理等基礎(chǔ)生產(chǎn)工藝與裝備水平技術(shù)、清潔生產(chǎn)水平均需達(dá)到同行業(yè)清潔生產(chǎn)評(píng)價(jià)指標(biāo)體空間布局禁止新建選址不符合“三線一單”和規(guī)本項(xiàng)目選址符合“三線一單”和規(guī)劃環(huán)評(píng)空間級(jí)保護(hù)區(qū)范圍內(nèi)，不得建設(shè)與供水設(shè)污染物排業(yè)廢氣治理措施采用兩種或兩種以上本項(xiàng)目不屬于工業(yè)生廢氣治理措施采用兩級(jí)活性炭吸附處理達(dá)6使用應(yīng)符合國(guó)家及地方的法律法規(guī)和入駐企業(yè)應(yīng)根據(jù)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)環(huán)境管理要求，適時(shí)對(duì)企業(yè)生產(chǎn)及治污設(shè)施進(jìn)行升級(jí)改造，滿足達(dá)標(biāo)排水處理站預(yù)處理后可禁止新增非集中供熱性質(zhì)的燃煤鍋爐及燃重油、渣油鍋爐和直接燃用生物入?yún)^(qū)企業(yè)的廢水需通過(guò)污水管網(wǎng)排入園區(qū)污水處理廠處理，在不具備接入污水管網(wǎng)的區(qū)域，禁止入駐涉及廢水項(xiàng)目廢水經(jīng)市政污水管網(wǎng)排入鄭東新區(qū)污放新增污染物排放總量的項(xiàng)目，需滿足本項(xiàng)目不屬于工業(yè)生市等區(qū)域或行業(yè)替代環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)禁止新建大氣防護(hù)距離范圍超越園區(qū)本項(xiàng)目無(wú)需設(shè)置大氣項(xiàng)目應(yīng)嚴(yán)格按照環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件要嚴(yán)格按照環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件要求落實(shí)環(huán)境涉及危險(xiǎn)化學(xué)品、危險(xiǎn)廢物及可能發(fā)生突發(fā)環(huán)境事件的污染物排放企業(yè)，應(yīng)按照突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案?jìng)浒腹芾磙k法的要求，制定完善的環(huán)境應(yīng)急項(xiàng)目建成后按照突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案?jìng)涠ㄍ晟频沫h(huán)境應(yīng)急預(yù)案資源開(kāi)發(fā)入駐項(xiàng)目應(yīng)采用集中供水，工業(yè)用水雙創(chuàng)中心板塊：嚴(yán)控居住用地和工業(yè)本項(xiàng)目為半導(dǎo)體芯片相關(guān)的“研究和試驗(yàn)發(fā)展”類(lèi)項(xiàng)目，屬于開(kāi)發(fā)區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)-信息服務(wù)設(shè)不涉及負(fù)面清單的科教融合發(fā)展板塊：控制房地產(chǎn)過(guò)度公共文化與商務(wù)服務(wù)板塊：控制房地7加快推進(jìn)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型先進(jìn)制造業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)應(yīng)遵循循環(huán)經(jīng)濟(jì)理念，積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步；入?yún)^(qū)項(xiàng)目清潔生產(chǎn)應(yīng)達(dá)到同行業(yè)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平，確保產(chǎn)業(yè)發(fā)展與區(qū)域生態(tài)環(huán)境保項(xiàng)目，不屬于工業(yè)項(xiàng)目，無(wú)相關(guān)清潔生產(chǎn)項(xiàng)目染物排放滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求，嚴(yán)格執(zhí)行污染物排放政策鼓勵(lì)類(lèi)項(xiàng)區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)-信息服務(wù)產(chǎn)業(yè)，不屬于重點(diǎn)行業(yè)，污染物排放總量滿足國(guó)域或行業(yè)替代擬入?yún)^(qū)的建設(shè)項(xiàng)目應(yīng)結(jié)合規(guī)劃環(huán)評(píng)提出的指導(dǎo)意見(jiàn)做好環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作，落實(shí)相關(guān)要求，加強(qiáng)與規(guī)劃環(huán)評(píng)的聯(lián)動(dòng)，重點(diǎn)開(kāi)展工程分析、污染物允許排放量測(cè)算和環(huán)關(guān)措施的落實(shí)；規(guī)劃環(huán)評(píng)中協(xié)調(diào)性分析、環(huán)境現(xiàn)狀、污染源調(diào)查等符合要求的資料可供建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)共享，項(xiàng)本項(xiàng)目按要求開(kāi)展環(huán)境影響評(píng)價(jià)，與規(guī)劃環(huán)評(píng)相符，嚴(yán)格按環(huán)評(píng)要求81、與產(chǎn)業(yè)政策符合性分析本項(xiàng)目屬于“研究和試驗(yàn)發(fā)展”類(lèi)項(xiàng)目，根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目2、編制依據(jù)書(shū)，“其他（不產(chǎn)生實(shí)驗(yàn)廢氣、廢水、危險(xiǎn)廢物的除外）”項(xiàng)目需編制環(huán)境影響報(bào)告表。本項(xiàng)目屬于其他產(chǎn)生實(shí)驗(yàn)廢3、“三線一單”環(huán)境保護(hù)管理要求理路西，根據(jù)河南省三線一單綜合信息應(yīng)用平地不屬于河南省劃定的水源涵養(yǎng)生態(tài)保護(hù)紅線滑動(dòng)平均值第90百分位數(shù)濃度、二氧化硫年均濃度、二氧化氮9反應(yīng)氣體和載氣等輔助氣體、有機(jī)廢氣、芯片加氣體，廢氣經(jīng)過(guò)可行技術(shù)處理后均能夠達(dá)標(biāo)排甫寨、中牟縣賈魯河中牟陳橋水質(zhì)均為Ⅲ類(lèi)。新密市雙洎河馬鞍洞、滎東新區(qū)污水處理廠進(jìn)一步處理。運(yùn)營(yíng)期產(chǎn)生的沖洗集后，由自建污水處理設(shè)施預(yù)處理后經(jīng)市政管網(wǎng)由域環(huán)?；A(chǔ)設(shè)施較為完善，用水來(lái)源為市政自滿足本項(xiàng)目的新鮮水使用要求；用電來(lái)自市政地，該地塊已取得鄭州市城鄉(xiāng)規(guī)劃局鄭東新區(qū)業(yè)務(wù)信息系統(tǒng)“河南省三線一單綜合信息應(yīng)用平臺(tái)”中查詢結(jié)果可知，本項(xiàng)目所在地屬于重點(diǎn)管控單元，為鄭州鄭東新區(qū)2.新、改、擴(kuò)建“兩高”項(xiàng)目嚴(yán)環(huán)境源頭防控的指導(dǎo)意見(jiàn)(環(huán)人民政府辦公廳關(guān)于印發(fā)河南省堅(jiān)決遏制“兩高”項(xiàng)目盲目發(fā)展行動(dòng)方案的通知(豫政態(tài)環(huán)境廳關(guān)于加強(qiáng)“兩高”項(xiàng)目生態(tài)環(huán)境源頭防控的實(shí)施項(xiàng)目不屬于“兩發(fā)區(qū)主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)鼓勵(lì)發(fā)展的信息服務(wù)產(chǎn)業(yè)的建設(shè)項(xiàng)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)評(píng)控1、新改擴(kuò)建設(shè)項(xiàng)目主要污染項(xiàng)目主要污染物排放滿足總量減經(jīng)自建廢水處理站預(yù)處理后與生區(qū)污水集中處理設(shè)施要實(shí)現(xiàn)3、排入開(kāi)發(fā)區(qū)集中污水處理廠的企業(yè)廢水執(zhí)行相關(guān)行業(yè)應(yīng)符合集中處理設(shè)施的接納集，安裝高效治理設(shè)施，涉印刷等重點(diǎn)行業(yè)企業(yè)實(shí)行區(qū)域內(nèi)VOCs排放等量或倍量削活污水排入市政管網(wǎng)進(jìn)入鄭東新區(qū)污水處理廠進(jìn)水滿足鄭東新區(qū)污水處理廠收水驗(yàn)室各設(shè)備密閉集的完善封閉集氣收集后采用兩級(jí)活性炭吸附設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)排1、開(kāi)發(fā)區(qū)管理部門(mén)應(yīng)制定完業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)3、實(shí)施建設(shè)用地風(fēng)險(xiǎn)管控和4、地下水重點(diǎn)污染源應(yīng)按照項(xiàng)目建成后積極配合開(kāi)發(fā)區(qū)管理部門(mén)開(kāi)展應(yīng)急演《企業(yè)事業(yè)單位突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案?jìng)浒腹芾憝h(huán)境管理部門(mén)備1、企業(yè)應(yīng)不斷提高資源能源項(xiàng)目的清潔生產(chǎn)水平應(yīng)達(dá)到3、加快開(kāi)發(fā)區(qū)市政基礎(chǔ)設(shè)施本項(xiàng)目為光電子芯片行業(yè)尖端科技產(chǎn)品的“研究和項(xiàng)目用水全部來(lái)4、項(xiàng)目與《河南省2025年藍(lán)天保衛(wèi)戰(zhàn)實(shí)施方案》（豫環(huán)委辦〔2025〕6號(hào)）相符性分析依規(guī)淘汰落后低效產(chǎn)能?chē)?yán)格落實(shí)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》《河南省淘汰落后產(chǎn)能綜合標(biāo)準(zhǔn)體系本項(xiàng)目為“研究和燃煤鍋爐關(guān)停爐開(kāi)展低效失效治理設(shè)施排查揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理級(jí)改造，強(qiáng)化工業(yè)源煙氣脫硫脫硝氨逃逸防本項(xiàng)目不涉及工業(yè)爐窯或鍋爐及其廢氣除塵、脫5、本項(xiàng)目與《鄭州市2024年藍(lán)天、碧水、凈土保衛(wèi)戰(zhàn)實(shí)天保衛(wèi)戰(zhàn)項(xiàng)目，不屬于主要涉氣產(chǎn)業(yè)，本項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)室各類(lèi)廢氣分類(lèi)收集處理達(dá)以及產(chǎn)能過(guò)剩行業(yè)的工藝和裝備進(jìn)行排查摸萬(wàn)標(biāo)磚/年以下燒結(jié)磚及燒結(jié)空心砌塊生產(chǎn)線有序退出對(duì)燒結(jié)磚瓦企業(yè)關(guān)停退出實(shí)施逐年遞項(xiàng)目，屬于產(chǎn)業(yè)政策鼓勵(lì)類(lèi)項(xiàng)目，不屬于落后水保衛(wèi)戰(zhàn)水、環(huán)保和資源綜合利用產(chǎn)業(yè)，提高能源資源項(xiàng)目，不屬業(yè)，全面推進(jìn)清潔生產(chǎn)改造或清潔化改造；全面推行清潔生產(chǎn)依法對(duì)重點(diǎn)行業(yè)企業(yè)實(shí)施強(qiáng)制水效“領(lǐng)跑者”遴選工作，廣泛開(kāi)展水效對(duì)標(biāo)達(dá)標(biāo)活動(dòng)，進(jìn)一步提升工業(yè)水資源集約節(jié)約利用目，無(wú)相關(guān)清潔生產(chǎn)評(píng)系，項(xiàng)目用水全部來(lái)市土保衛(wèi)戰(zhàn)續(xù)創(chuàng)新危險(xiǎn)廢物環(huán)境監(jiān)管方式，建立綜合處置企業(yè)行業(yè)自律機(jī)制、特殊類(lèi)別危險(xiǎn)廢物的信息通報(bào)機(jī)制。提升危險(xiǎn)廢物規(guī)范化管理水平，實(shí)6、與飲用水源保護(hù)區(qū)符合性分析根據(jù)《河南省城市集中式飲用水水源保護(hù)區(qū)劃》(豫政辦[2007]125[2019]125號(hào)）以及《鄭州市人民政府辦公廳關(guān)于印發(fā)<鄭州市“十四五”流域水生態(tài)環(huán)境保護(hù)規(guī)劃><鄭州市城市集中式飲用水水源地環(huán)境保護(hù)保護(hù)區(qū)，包括四個(gè)地表水水源和三個(gè)地下水水飲用水源保護(hù)區(qū)、黃河花園口地表水飲用水源飲用水源保護(hù)區(qū)、常莊水庫(kù)地表水飲用水源保水源保護(hù)區(qū)、鄭州市區(qū)井水廠地下水飲用水源目廢水排放進(jìn)入污水處理廠，項(xiàng)目建設(shè)不會(huì)對(duì)一級(jí)保護(hù)區(qū)范圍：水廠廠區(qū)及外圍東35米、北20鄭州市生態(tài)環(huán)境局的統(tǒng)一部署，成立專(zhuān)門(mén)的工作機(jī)構(gòu)，員，按照國(guó)家劃分技術(shù)指南要求，依法劃定了鄭東新區(qū)“千噸萬(wàn)人”集中群、劉集水廠“千噸萬(wàn)人”地下水井群、白沙園區(qū)李湖橋水源地，劃分結(jié)號(hào)、20號(hào)取水井外圍30米的矩形區(qū)域，西至前程大道東側(cè)紅線，21號(hào)護(hù)廳、河南省水利廳、河南省國(guó)土資源廳關(guān)①地下水水位低于總干渠渠底的渠段。一級(jí)本項(xiàng)目位于鄭州鄭東新區(qū)先進(jìn)制造業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)鄭州東站片區(qū)蓮湖路南、明理路西，與南水北調(diào)總干渠二級(jí)保護(hù)區(qū)邊線最近點(diǎn)垂直距離為建設(shè)內(nèi)容星擔(dān)任實(shí)驗(yàn)室主任。實(shí)驗(yàn)室對(duì)標(biāo)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，致力于搭建光電子領(lǐng)域墨子實(shí)驗(yàn)室按照河南省委、省政府部署及河南省電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃，在中原量技術(shù)孵化、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化于一體的綜合性科技創(chuàng)新平臺(tái)，旨在推動(dòng)光芯片全產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)進(jìn)組織有關(guān)技術(shù)人員，在現(xiàn)場(chǎng)勘察和收集有關(guān)資料的基礎(chǔ)上，編制完成了本項(xiàng)目環(huán)境影響123456789水電反應(yīng)剩余廢氣經(jīng)實(shí)驗(yàn)設(shè)備配套機(jī)臺(tái)端尾氣處理器處理后分②在河南省聚集和引育世界一流團(tuán)隊(duì)開(kāi)展協(xié)作攻關(guān)，并迅速培養(yǎng)和形成半導(dǎo)體全產(chǎn)⑤引領(lǐng)量子谷建設(shè)和發(fā)展，孵化公司和上市公司若干，形成和帶動(dòng)半導(dǎo)體上下游產(chǎn)制約像素規(guī)模的關(guān)鍵點(diǎn)，即材料缺陷引起的短路像元，開(kāi)發(fā)熔斷保護(hù)技術(shù)，有望解決大集成系統(tǒng)，在極小的器件結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的項(xiàng)目研發(fā)實(shí)驗(yàn)各類(lèi)芯片樣品成品全部作為合作機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品升級(jí)或新品開(kāi)發(fā)的器件測(cè)12345678932221211111111111111111111111111111112221111111211111113211112211211111111421111111111211112111112111112111121411126111111111111111111111111111111111111111123456781234516278955288513/23/35/4/5/65/75/82/95/7/5/1/2/5/2/5/2/2/1/2/1/1/2/2/2/2/12/1罐3//4/56789薄膜氣體1瓶123456789123456789//1234電本項(xiàng)目生產(chǎn)用水主要包括純水制備系統(tǒng)、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)補(bǔ)水及冷凍水系統(tǒng)補(bǔ)水、供回水管路系統(tǒng)供各實(shí)驗(yàn)室設(shè)備冷卻用水。系統(tǒng)設(shè)計(jì)最大循環(huán)水量100m3/h。供水溫度18±1℃,回水溫度23℃；供水壓力0.8±0.05Mpa。循環(huán)冷卻水系統(tǒng)補(bǔ)水采用一級(jí)RO純水，補(bǔ)充水量按循環(huán)水量的0.5%考慮。采用項(xiàng)目科研人員生活用水主要包括辦公生活用水、緊急洗眼器用水?？蒲腥藛T生活用藝廢水經(jīng)管網(wǎng)分類(lèi)收集后排至地下一層廢水收集和處理站房，各類(lèi)工藝廢水分別處理后一般清凈廢水包括空調(diào)機(jī)房及空調(diào)冷凝水系統(tǒng)排水、冷凍站排水、純水機(jī)房排水、生活用水損耗損耗1.8化糞池新鮮水損耗3.0廢氣處理用水4.03.89酸堿清洗有機(jī)清洗6.486.4871.77純水站43.9143.914.74.7超純水 39.21 研磨拋光清洗薄膜沉積清洗研磨拋光清洗薄膜沉積清洗濕法刻蝕清洗9.723.2435.02 廢水處理站47.02損耗3.2廢液廢液4.0循環(huán)水系統(tǒng)2.44.32冷凍水系統(tǒng)4.32損耗1.6432073.78市政污水本項(xiàng)目制冷制熱系統(tǒng)采用風(fēng)冷熱泵系統(tǒng)，提低溫冷凍水采用閉式循環(huán)系統(tǒng)，設(shè)置2臺(tái)風(fēng)冷螺桿式冷水機(jī)組，單臺(tái)制冷能力為通過(guò)揮發(fā)和與硅片及鍍膜層反應(yīng)所散發(fā)呈酸/堿性的廢氣，為處理此類(lèi)廢氣，設(shè)置酸堿排過(guò)濾器→中效過(guò)濾器→熱盤(pán)管→冷盤(pán)管→淋洗加濕→再熱盤(pán)管→風(fēng)機(jī)→高效過(guò)濾器→新風(fēng)和保證室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量外并保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。站氮?dú)庾鳛閴嚎s空氣的備用氣。壓縮空氣服務(wù)本項(xiàng)目?jī)x表儀器、氣動(dòng)閥門(mén)、氣動(dòng)工具夾外設(shè)汽化器和減壓閥組，通過(guò)管架送至室內(nèi)，一路接至純化間內(nèi)經(jīng)設(shè)備純化后送至實(shí)驗(yàn)4）惰性氣體系統(tǒng)由氣瓶架，單層氣體管道和閥門(mén)盤(pán)組成。腐蝕性/毒性/自燃況，氣體供應(yīng)和傳輸?shù)膲毫弯撈繝顟B(tài)；氣柜控制器以及輸入/輸出面板將連接氣體監(jiān)測(cè)項(xiàng)目總平面方案基于場(chǎng)地用地周邊設(shè)施條件及廠潔凈分區(qū)、工藝流線、主導(dǎo)風(fēng)向、安全性、經(jīng)濟(jì)性出聯(lián)合開(kāi)發(fā)1#樓布置在廠區(qū)東北部，大宗氣站、甲類(lèi)庫(kù)位流原則及生產(chǎn)研發(fā)特性，廠區(qū)設(shè)置兩個(gè)出入口。其中主出入項(xiàng)目研發(fā)實(shí)驗(yàn)區(qū)布置于聯(lián)合開(kāi)發(fā)1#樓一層，超凈實(shí)驗(yàn)局。工藝設(shè)備輔助設(shè)備集中放置在相鄰就近灰區(qū)內(nèi)，以同時(shí)方便供氣及更換輔助設(shè)備檢修，有效利用凈化區(qū)面積，節(jié)約各個(gè)試驗(yàn)工序分區(qū)相對(duì)獨(dú)立，按照使用需求進(jìn)行緊鄰，并設(shè)置各道。平面布置合理劃分，可多類(lèi)別、多項(xiàng)目同時(shí)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析，內(nèi)部改造裝修工程設(shè)備安裝驗(yàn)收投運(yùn)本項(xiàng)目為實(shí)驗(yàn)室性質(zhì)，主要進(jìn)行半導(dǎo)體光子芯片與光電子芯片設(shè)計(jì)、工藝開(kāi)發(fā)、制造、封裝、測(cè)試相關(guān)的研究課題，實(shí)驗(yàn)設(shè)備規(guī)格偏小，非連續(xù)性/批量生產(chǎn)設(shè)備。實(shí)驗(yàn)室體槽內(nèi)或使用液體噴霧清洗。清潔后的襯底將作為晶體生長(zhǎng)的模板，確保外延層與襯底提下，有效的使用化學(xué)溶液清除外延片表面的各種殘留污染物，根據(jù)需要選擇有機(jī)溶劑1-12-1外延生長(zhǎng)：基材外延生長(zhǎng)工藝是單晶襯底上沿特定晶向生長(zhǎng)一層具有相同晶體結(jié)構(gòu)高真空條件下，將組成薄膜的各元素在各自的分子束爐中加熱成定向分子束入射到加熱）（MOCVD是一種利用有機(jī)金屬熱分解反應(yīng)進(jìn)行氣相外延生長(zhǎng)薄膜的化學(xué)氣相沉積技體作為載體而將原反應(yīng)物帶入反應(yīng)室中。反應(yīng)室控制化學(xué)反應(yīng)的溫度與壓力，在此反應(yīng)項(xiàng)目所采用的特種氣體均采用鋼瓶密封存儲(chǔ)，通過(guò)特氣控制系統(tǒng)保證用氣點(diǎn)氣體純度與安全，配備泄漏氣體檢測(cè)與安全聯(lián)動(dòng)控制設(shè)備；各類(lèi)酸、有機(jī)溶劑等儲(chǔ)存于化學(xué)品性炭吸附裝置處理施(LocalScrubber)高化+鐵鹽混凝沉淀++絮凝沉淀預(yù)處理，放/置112233445678922341122334511223題區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀7PM104（GB3095-2012）二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，PM2.5、PM10和O3不（GB3095-2012）二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求。因氨00//////氯//////00///000000000000////監(jiān)測(cè)結(jié)果顯示恒興嘉苑監(jiān)測(cè)點(diǎn)TSP、苯并[a]芘均能本項(xiàng)目廢水由市政污水管道排入鄭東新區(qū)污水處理廠處理后排入賈魯河，賈///////根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果可知，項(xiàng)目廠址區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測(cè)結(jié)果滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)環(huán)境保護(hù)目標(biāo)西東東污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)/氨//相應(yīng)的預(yù)處理后與生活污水及純水站排水、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)排水、統(tǒng)排水、冷凍站排水等清凈廢水一同經(jīng)市政管網(wǎng)排入鄭東新區(qū)污水處理廠進(jìn)行處pH--7/總量控制指標(biāo)施工期環(huán)境保護(hù)措施施工揚(yáng)塵的產(chǎn)生量及對(duì)周?chē)h(huán)境的影響程度主要取決于施工方式和施工過(guò)程①本項(xiàng)目施工場(chǎng)地周?chē)芯用駞^(qū)和學(xué)校，施工期間運(yùn)載建筑材料的車(chē)輛要密項(xiàng)目在施工期嚴(yán)格采取相應(yīng)減緩措施后，施工期揚(yáng)塵及汽車(chē)尾氣對(duì)周?chē)h(huán)境③對(duì)位置相對(duì)固定的施工機(jī)械設(shè)備，能設(shè)在隔聲棚內(nèi)操作的盡量進(jìn)入封閉式施工期廢水主要是施工人員生活污水，擬依托廠內(nèi)現(xiàn)有化糞池沉淀后由市政施工期間產(chǎn)生的固體廢物包括設(shè)備的廢棄包裝材料和施工人員生活垃圾。廢②施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)當(dāng)設(shè)置垃圾站用于存放施工垃圾，對(duì)施工垃圾分類(lèi)進(jìn)行綜合利運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施項(xiàng)目酸堿廢氣主要來(lái)自實(shí)驗(yàn)各工藝步驟的預(yù)處理或完成后的酸洗或測(cè)試工清洗液經(jīng)設(shè)備下方收集管道送至配套的儲(chǔ)罐內(nèi)存儲(chǔ)，清洗廢水經(jīng)管道送至廢水處理單元處理，噴淋過(guò)程產(chǎn)生的廢氣經(jīng)設(shè)備排氣口與集氣管道連通匯入酸性廢氣總有機(jī)廢氣、G2-3光刻顯影有機(jī)廢氣、G2-4薄膜沉積清洗有機(jī)廢氣、G2排氣口與集氣管道連通匯入有機(jī)廢氣總管送至二級(jí)活性炭吸附裝置處理；清洗過(guò)程均在封閉設(shè)備內(nèi)采取噴淋方式均在封閉設(shè)備內(nèi)采取噴淋方式，產(chǎn)生的清洗液經(jīng)設(shè)備下方收集管道送至配套的儲(chǔ)罐內(nèi)存儲(chǔ)，噴淋過(guò)程產(chǎn)生的廢氣經(jīng)設(shè)備排氣口與及砷烷、磷烷的外延生長(zhǎng)廢氣經(jīng)設(shè)備配套的本地處理設(shè)施(Loca學(xué)吸附處理后通過(guò)密閉管道引入堿性廢氣總管送至廢氣噴淋塔處理；涉及氨的外延生長(zhǎng)廢氣經(jīng)設(shè)備配套的本地處理設(shè)施(LocalScrubberH2等廢氣通過(guò)管道收集進(jìn)入酸性廢氣總管送至廢氣噴淋塔處理；電化學(xué)沉積廢氣離子注入/擴(kuò)散廢氣主要污染物是未反應(yīng)完的砷烷、磷烷、氯化硼、氨氣等，離子注入設(shè)備為封閉設(shè)備，涉及砷烷、磷烷的廢氣經(jīng)設(shè)備配套的本地處理設(shè)施(LocalScrubber)活性化學(xué)吸附處理后淋塔處理；涉及氨的外延生長(zhǎng)廢氣經(jīng)設(shè)備配套的本地處理設(shè)施(Local等惡臭氣體，設(shè)計(jì)廢水處理站水池加蓋封閉厭氧池、污泥濃縮池產(chǎn)生少量甲烷、行光電子芯片研發(fā)實(shí)驗(yàn)，工藝過(guò)程雖與電子工業(yè)-半導(dǎo)體制造工藝基本一致，于研發(fā)實(shí)驗(yàn)的不確定因素較多、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備規(guī)模較小、非連續(xù)性/批量化生產(chǎn)運(yùn)行等原因致使其污染源強(qiáng)與工業(yè)生產(chǎn)差別較大，根據(jù)《污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南準(zhǔn)評(píng)價(jià)收集了國(guó)內(nèi)同類(lèi)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)項(xiàng)目“江蘇第三代半導(dǎo)體研究院有限公司半導(dǎo)體建項(xiàng)目”、“武漢光谷量子技術(shù)有限公司微納加工平臺(tái)項(xiàng)目”及多個(gè)光電芯片生產(chǎn)項(xiàng)約為90%左右，其余10%未參與反應(yīng)；氨氣AsH3化學(xué)吸附處理，與吸附劑（CuO等金屬氧化物薄膜生長(zhǎng)工序分別采用化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積和電化學(xué)沉積工藝加工的芯片所占比例約50%（5800片化學(xué)氣相沉積廢氣經(jīng)本地處理設(shè)施(Local干法刻蝕工藝主要通過(guò)不同的氣體對(duì)基片進(jìn)行干法刻蝕，干法刻蝕廢氣多為SF6根據(jù)類(lèi)比調(diào)查同類(lèi)項(xiàng)目污水處理站惡臭氣體厭氧好氧處理工藝廢氣源強(qiáng)，量氣/////氨/物//////氣氨//氣////烴/無(wú)機(jī)酸堿廢氣主要來(lái)源于項(xiàng)目使用過(guò)程反應(yīng)剩余廢氣或清洗過(guò)程酸性物質(zhì)揮口進(jìn)行收集，各操作臺(tái)或設(shè)備廢氣收集點(diǎn)廢氣一同進(jìn)入酸/堿廢氣噴淋塔噴淋洗滌廢氣易溶于水起到凈化效果），循環(huán)液成分主要為堿液/酸液。噴淋循環(huán)液經(jīng)噴淋系統(tǒng)噴灑而下，與廢氣中的酸性/堿性氣體發(fā)生中和反應(yīng)從而起到凈化效果。最終Scrubber)工藝尾氣處理方式為目前半導(dǎo)體工廠普遍釆用的方法。針對(duì)不同的工藝尾氣結(jié)合目前常用的不同凈化裝置特點(diǎn)和適用條件進(jìn)行了合理的選擇。其中釆用濕式法（高溫水洗式/水洗式）處理的工藝尾氣，大多為易溶于水的廢氣，可通過(guò)處理不僅效果良好且可減少外排入水和大氣環(huán)境的有害物質(zhì)。從而降低對(duì)環(huán)境的干式尾氣處理設(shè)備本體是采用活性化學(xué)吸附系統(tǒng)，它將生產(chǎn)設(shè)備所排放出的AsH32AsH3+3CuO→Cu3As2+3H2O2PH3+3CuO→Cu3P2+3H2O高溫?zé)峤馑词轿矚馓幚碓O(shè)備主機(jī)本體是采用加熱器所產(chǎn)生之(850統(tǒng)，它將生產(chǎn)設(shè)備所排放出的有毒廢氣經(jīng)過(guò)高溫的分解與氧化將有毒性的氣體處理成無(wú)毒害的反應(yīng)物。這些反應(yīng)后的生成物利用螺旋狀噴淋系統(tǒng)將反應(yīng)所產(chǎn)生的的濕式?jīng)_刷系統(tǒng)，再經(jīng)過(guò)后段噴淋系統(tǒng)，沖刷到水循環(huán)處理槽，以保持氣體的通2NO+O2→2NO2；2PH3+4O2→P2O5+3H2O；水洗式尾氣處理設(shè)備本體是采用濕法水洗系統(tǒng)，它將生產(chǎn)設(shè)備所排放出的有到有毒腐蝕的氣體完整吸收，處理效率達(dá)到99%以上，處理后的無(wú)害廠區(qū)廢氣處理系統(tǒng)。水洗裝置適用于處理易溶于水的酸性、堿性廢氣，HF、硫酸項(xiàng)目有機(jī)廢水在生化處理過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生少量惡臭氣體，設(shè)計(jì)廢水處理站水池洗滌吸收治理、本項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)室廢氣特性為有機(jī)物含量低、廢氣量大、有機(jī)物濃度11氨11水站惡臭廢氣排放口氨11停止研發(fā)實(shí)持續(xù)時(shí)間較短，不會(huì)對(duì)周?chē)h(huán)境產(chǎn)生較大影響。為確保項(xiàng)目廢氣處理裝置正常運(yùn)③按照環(huán)評(píng)要求定期對(duì)廢氣處理裝置進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，保證廢氣處理裝置的正/本項(xiàng)目研發(fā)工藝產(chǎn)生廢水主要為各處理工序前后進(jìn)行的清洗過(guò)程產(chǎn)生的廢水，包括酸洗/堿洗廢水、有機(jī)清洗廢水、含氟/磷廢水洗工序根據(jù)各機(jī)臺(tái)廢水的性質(zhì)和成分，直接通過(guò)管道輸送進(jìn)入對(duì)應(yīng)類(lèi)型的廢水處本項(xiàng)目為半導(dǎo)體芯片研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，芯片研發(fā)類(lèi)型需根據(jù)市場(chǎng)需求或不具備研外購(gòu)襯底基片使用前需進(jìn)行徹底清洗，根據(jù)材質(zhì)不同選擇酸堿清洗或有機(jī)溶類(lèi)比調(diào)查同類(lèi)項(xiàng)目廢水情況并結(jié)合初步設(shè)計(jì)資料，酸堿清洗廢水中總砷含量為片晶圓清洗水量平均約5L/片，電化學(xué)沉積工藝處理晶圓約5800液中攜帶少量的含鎳鍍液，晶圓清洗廢水單獨(dú)收集與廢鍍液一同作為危險(xiǎn)廢物處酸堿清洗廢水根據(jù)不同工藝步驟涉及的主要污染物種類(lèi)不同而分類(lèi)收集后經(jīng)過(guò)相應(yīng)的預(yù)處理單元處理，再與其他廢水經(jīng)綜合廢水酸堿中和處理系統(tǒng)處理后納管排放。部分砷、磷外延爐清洗廢水、砷化鎵/磷化銦基底晶圓減薄清洗廢水及刻外延片有機(jī)溶劑清洗后需要用純水清洗去除殘留的有機(jī)物產(chǎn)生有機(jī)清洗廢水,m3/d(3240m3/a)。類(lèi)比調(diào)查同類(lèi)項(xiàng)目廢水情況并結(jié)合初步設(shè)計(jì)資料，進(jìn)入有機(jī)清洗化學(xué)機(jī)械研磨拋光工序添加拋光液、研磨粉對(duì)外延片表面進(jìn)行拋光減薄再進(jìn)純水站制水過(guò)程一級(jí)RO反滲透濃水排水首先用于過(guò)濾器項(xiàng)目廢水產(chǎn)生情況見(jiàn)表4-5。pH5////5/5525///68///56////4///////////////////////////////4////含砷及其他金屬?gòu)U水含氟含磷廢水廢水收集池次鈉氧化1pH調(diào)節(jié)池1次鈉氧化1次鈉氧化2pH調(diào)節(jié)池2鐵鹽反應(yīng)pH調(diào)節(jié)池2鐵鹽反應(yīng)沉淀池沉淀池樹(shù)脂交換泥餅外運(yùn)壓濾絮凝池斜板沉淀池污泥濃縮壓濾絮凝池斜板沉淀池廢水收集池pHpH調(diào)節(jié)池反應(yīng)池混凝池混凝池有機(jī)清洗廢水有機(jī)清洗廢水廢水收集池pH調(diào)節(jié)池反應(yīng)池厭氧池好氧池沉淀池研磨廢水純水站排水污泥壓濾廢水酸堿廢水廢水收集池pH調(diào)節(jié)池反應(yīng)池絮凝池斜板沉淀池污泥濃縮壓濾泥餅外運(yùn)pH調(diào)節(jié)池1檢測(cè)放流槽pHpH調(diào)節(jié)池1檢測(cè)放流槽pH調(diào)節(jié)池2市政管網(wǎng)廢水收集池pH，使其形成氫氧化物膠體吸附并與廢水中的砷反應(yīng)，生成難溶鹽沉淀而將其除含氟/含磷廢水化學(xué)沉淀法除磷主要指應(yīng)用鈣鹽，鐵鹽和鋁鹽等產(chǎn)生的金屬離生化處理法除磷主要包括厭氧/缺氧/好氧(A2/O)生物脫氮除磷工藝，是能夠同5/552//////5/---------////////////////////////56/22//////5/11/-////////////////////////////4////-/---/7///-用改良AAO工藝+二沉池污水生化處理工吸附工藝；一期污泥采用消化+干化處理，二期污泥處理處置采用機(jī)械濃縮+板框鄭東新區(qū)污水處理廠進(jìn)水水質(zhì)要求為COD≤520mg/L、BOD5≤260mg/L、本項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)室廢水、清凈廢水及生活污水經(jīng)市政管網(wǎng)排入鄭東新區(qū)污水處理項(xiàng)目廢水各污染物排放濃度能夠滿足鄭東新區(qū)污水處理廠設(shè)計(jì)進(jìn)水水質(zhì)要具備收納本項(xiàng)目廢水的能力，本項(xiàng)目廢水的排放對(duì)鄭東新區(qū)污水處理廠處理負(fù)荷廢水分質(zhì)//進(jìn)入城市污水處理廠定廠7根據(jù)“十四五”規(guī)劃和國(guó)家環(huán)境保護(hù)部關(guān)于印發(fā)《建設(shè)項(xiàng)目主要污染物排放總本項(xiàng)目噪聲源有室內(nèi)噪聲設(shè)備（空壓機(jī)、真空），稱界聲級(jí)建筑插X(qián)YZ聲壓級(jí)建筑物/m123456789聲源源強(qiáng)聲功率聲源控制XYZ123456789主要產(chǎn)噪設(shè)備均設(shè)置在房?jī)?nèi)，再根據(jù)預(yù)測(cè)模式Lr=L0-20lg(r/r0)背景值（dB貢獻(xiàn)值（dB標(biāo)準(zhǔn)限值（dB（A40.4251.27南廠界39.43北廠界52.23為防止本項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)期噪聲對(duì)外環(huán)境的影響，①本項(xiàng)目高噪聲設(shè)備選型上使用國(guó)內(nèi)先進(jìn)的設(shè)備，主④對(duì)廢氣處理風(fēng)機(jī)等產(chǎn)噪設(shè)備進(jìn)行減振、消聲及隔聲處物理氣相沉積過(guò)程廢金屬靶材產(chǎn)生量約0.015t/a，各類(lèi)金屬?gòu)U靶材分類(lèi)收集潔凈車(chē)間空調(diào)凈化系統(tǒng)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元定期維護(hù)更換濾芯，廢濾芯產(chǎn)生量約12環(huán)衛(wèi)部門(mén)統(tǒng)一清運(yùn)345