一、系統(tǒng)概述超純水制備系統(tǒng)通過(guò)“預(yù)處理→反滲透脫鹽→深度純化→循環(huán)供水”的流程，去除水中顆粒、有機(jī)物、離子、微生物等雜質(zhì)，最終產(chǎn)出電阻率≥18.2MΩ·cm（25℃）、TOC≤5ppb的超純水，滿足實(shí)驗(yàn)室分析、半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥研發(fā)等場(chǎng)景需求。系統(tǒng)通常由預(yù)處理單元（多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、軟化等）、反滲透（RO）單元、超純化單元（離子交換、EDI或紫外氧化等）、儲(chǔ)水與分配單元組成。二、操作前準(zhǔn)備1.環(huán)境與能源檢查水源：確認(rèn)進(jìn)水壓力（0.15~0.4MPa）、水溫（5~35℃）、水質(zhì)（電導(dǎo)率≤500μS/cm），檢查進(jìn)水閥、排污閥狀態(tài)。電源：供電穩(wěn)定（電壓波動(dòng)≤±10%），接地電阻≤4Ω，斷路器、急停開(kāi)關(guān)功能正常。設(shè)備外觀：管路、接頭、閥門無(wú)泄漏，泵體、膜殼、純化柱無(wú)變形，儀器儀表（壓力表、電阻率儀、TOC儀）顯示清晰。2.耗材與參數(shù)確認(rèn)預(yù)處理耗材：多介質(zhì)濾芯、活性炭濾芯壓差＞0.1MPa時(shí)需更換；軟化樹(shù)脂需確認(rèn)再生周期或剩余交換容量。RO膜與超純化柱：RO膜脫鹽率＜90%或運(yùn)行滿2~3年需更換；超純化柱產(chǎn)水電阻率持續(xù)＜18MΩ·cm時(shí)，需更換或再生。三、開(kāi)機(jī)操作流程1.預(yù)處理單元啟動(dòng)緩慢打開(kāi)進(jìn)水總閥，觀察進(jìn)水壓力表（壓力穩(wěn)定在0.15~0.3MPa）。啟動(dòng)預(yù)處理泵，依次運(yùn)行多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、軟化（若有）單元，觀察各單元進(jìn)出口壓差（≤0.1MPa為正常），排污閥可短時(shí)間開(kāi)啟沖洗（1~2分鐘）。2.反滲透（RO）系統(tǒng)啟動(dòng)確認(rèn)預(yù)處理產(chǎn)水水質(zhì)（電導(dǎo)率≤50μS/cm）后，啟動(dòng)RO高壓泵，調(diào)節(jié)泵后壓力至0.8~1.2MPa（依膜型號(hào)調(diào)整）。觀察RO產(chǎn)水流量（進(jìn)水的15%~30%）、濃水流量（70%~85%），監(jiān)測(cè)產(chǎn)水電導(dǎo)率（≤10μS/cm，若＞15μS/cm需排查膜污染或進(jìn)水水質(zhì)）。3.超純化單元啟動(dòng)RO產(chǎn)水進(jìn)入超純化模塊時(shí)，啟動(dòng)超純化柱/EDI裝置，同時(shí)開(kāi)啟紫外燈（若有，降解TOC）。監(jiān)測(cè)超純水電阻率（≥18.2MΩ·cm）、TOC值（≤5ppb），參數(shù)未達(dá)標(biāo)時(shí)可延長(zhǎng)循環(huán)時(shí)間（10~20分鐘后穩(wěn)定）。4.儲(chǔ)水與分配系統(tǒng)啟動(dòng)儲(chǔ)水箱液位達(dá)“低液位”以上時(shí)，啟動(dòng)循環(huán)泵，使超純水在水箱與分配管路中循環(huán)（流速≥0.5m/s，避免微生物滋生）。檢查分配管路取水點(diǎn)閥門，出水水質(zhì)穩(wěn)定后開(kāi)放使用。四、運(yùn)行監(jiān)控要點(diǎn)1.關(guān)鍵參數(shù)監(jiān)測(cè)壓力：進(jìn)水壓力（0.15~0.4MPa）、RO泵壓（0.8~1.2MPa）、濃水壓力（≤0.2MPa，過(guò)高提示膜堵塞）。水質(zhì)：超純水電阻率（≥18.2MΩ·cm）、TOC（≤5ppb）、RO產(chǎn)水電導(dǎo)率（≤10μS/cm）。流量與液位：RO產(chǎn)水/濃水流量（偏差＞20%需排查）、儲(chǔ)水箱液位（避免空箱或溢流）。2.耗材壽命管理預(yù)處理濾芯：壓差＞0.1MPa或使用滿12個(gè)月（以先到者為準(zhǔn)）更換。RO膜：脫鹽率＜90%、產(chǎn)水量下降30%或運(yùn)行滿3年，需化學(xué)清洗或更換。超純化柱：產(chǎn)水電阻率持續(xù)＜18MΩ·cm，或TOC＞10ppb時(shí)，更換樹(shù)脂柱或EDI膜堆。五、關(guān)機(jī)與維護(hù)操作1.正常關(guān)機(jī)流程關(guān)閉超純化單元（含紫外燈），停止循環(huán)泵。關(guān)閉RO高壓泵，打開(kāi)RO產(chǎn)水/濃水排放閥，沖洗RO膜3~5分鐘（避免濃水殘留結(jié)晶）。關(guān)閉預(yù)處理泵，關(guān)閉進(jìn)水總閥，開(kāi)放排污閥排空管路余水。2.長(zhǎng)期停機(jī)維護(hù)（＞7天）按“正常關(guān)機(jī)”操作后，向RO膜系統(tǒng)注入專用保護(hù)液（如檸檬酸+亞硫酸氫鈉溶液），關(guān)閉所有閥門。超純化柱若為離子交換型，需用純水沖洗后密封；EDI模塊需保持濕潤(rùn)，避免干燒。每周啟動(dòng)系統(tǒng)循環(huán)10分鐘（含預(yù)處理、RO、超純化），防止微生物滋生或膜干化。3.日常維護(hù)要點(diǎn)預(yù)處理濾芯更換：斷電排水后，旋開(kāi)濾殼，取出舊濾芯，安裝新濾芯（注意O型圈密封），沖洗5分鐘后恢復(fù)運(yùn)行。RO膜化學(xué)清洗：產(chǎn)水量下降20%或脫鹽率＜90%時(shí)，配制酸性（檸檬酸，pH=2~3）或堿性（NaOH，pH=11~12）清洗劑，循環(huán)清洗1~2小時(shí)（溫度≤35℃），后用純水沖洗至中性。系統(tǒng)消毒：每季度用0.1%過(guò)氧乙酸或200ppm次氯酸鈉溶液循環(huán)管路30分鐘，后用純水沖洗至無(wú)殘留（TOC＜10ppb）。六、常見(jiàn)故障處理1.產(chǎn)水水質(zhì)不達(dá)標(biāo)現(xiàn)象：電阻率＜18MΩ·cm或TOC＞10ppb。排查：①預(yù)處理濾芯失效（更換）；②RO膜污染（化學(xué)清洗）；③超純化柱樹(shù)脂耗盡（更換）；④紫外燈失效（更換燈管）。2.產(chǎn)水量顯著下降現(xiàn)象：RO產(chǎn)水/超純水流量低于設(shè)計(jì)值30%以上。排查：①進(jìn)水壓力低（檢查水源或增壓泵）；②膜堵塞（清洗RO膜或預(yù)處理濾芯）；③泵葉輪磨損（檢修或更換泵）。3.系統(tǒng)泄漏或報(bào)警停機(jī)泄漏：管路接頭松動(dòng)（緊固）、密封圈老化（更換）、膜殼破裂（維修或更換）。報(bào)警：壓力過(guò)高（檢查閥門是否堵塞）、