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文檔簡介
青島電子潔凈室施工方案一、工程概況本工程為青島某電子科技企業(yè)潔凈室建設項目,總建筑面積約1200㎡,潔凈度等級劃分為萬級核心區(qū)(800㎡)與十萬級輔助區(qū)(400㎡),主要用于半導體元器件及精密電子組件的生產組裝。項目位于青島市北區(qū)工業(yè)園區(qū),建筑主體為鋼筋混凝土框架結構,層高5.2米,梁下凈高4.5米。根據電子行業(yè)生產特性,潔凈室需滿足恒溫恒濕、防靜電、微振動控制等特殊要求,其中核心區(qū)溫度控制精度為22±1℃,相對濕度55±5%,十萬級輔助區(qū)溫度控制在24±2℃,濕度控制在50-60%范圍內。二、施工總體部署(一)施工分區(qū)規(guī)劃采用"三區(qū)三階段"施工法,將工程劃分為:潔凈生產區(qū)(萬級區(qū)):設置獨立HVAC系統(tǒng),采用垂直單向流氣流組織,配置FFU(風機過濾單元)150臺,氣流速度控制在0.3-0.5m/s輔助功能區(qū)(十萬級區(qū)):包含更衣緩沖區(qū)、物料傳遞間、質檢室等,采用非單向流混合式氣流組織公用設備區(qū):設置組合式凈化空調機組(制冷量800kW)、純水制備系統(tǒng)(產水量2m3/h)、廢氣處理裝置等輔助設施(二)施工流程規(guī)劃前期準備階段(30天):圖紙深化設計、材料采購驗證、施工團隊培訓主體施工階段(90天):圍護結構安裝→凈化空調系統(tǒng)施工→地面處理→電氣系統(tǒng)安裝調試驗收階段(30天):系統(tǒng)空吹清潔→性能參數(shù)測試→潔凈度檢測→第三方認證三、主要施工技術標準(一)環(huán)境控制指標控制參數(shù)萬級核心區(qū)十萬級輔助區(qū)測試方法溫度22±1℃24±2℃鉑電阻溫度計多點測量相對濕度55±5%50-60%電容式濕度傳感器懸浮粒子≥0.5μm≤350000個/m3≥0.5μm≤3500000個/m3激光粒子計數(shù)器靜壓差≥5Pa(不同區(qū)間)≥10Pa(與室外)微壓差計照度≥300Lx≥200Lx數(shù)字照度計噪聲≤65dB(A)≤70dB(A)積分聲級計(二)材料選用標準圍護結構:采用100mm厚彩鋼板(雙面鍍鋅鋼板,鋅層厚度≥80g/m2),芯材為防火巖棉(密度120kg/m3),表面靜電噴涂處理(表面電阻10?-10?Ω)地面系統(tǒng):采用2mm厚環(huán)氧自流平防靜電地坪,表面電阻值控制在10?-10?Ω,抗壓強度≥80MPa,附著力等級1級空氣過濾系統(tǒng):采用初效(G4)+中效(F8)+高效(H14)三級過濾組合,高效過濾器效率≥99.995%(針對0.3μm粒子)四、關鍵施工工藝(一)圍護結構施工彩鋼板安裝工藝采用"企口式"連接方式,墻板垂直度偏差≤2mm/2m,接縫間隙≤0.5mm安裝前進行精確放線,使用激光投線儀定位,確??v橫軸線偏差≤3mm密封處理采用食品級中性硅酮密封膠(硬度ShoreA45±5),施膠寬度5-8mm,厚度3-5mm,膠縫表面平滑連續(xù)潔凈門窗安裝采用304不銹鋼門框(厚度1.2mm),雙層鋼化玻璃(5+9A+5mm),配置嵌入式閉門器(關門時間6-8秒可調)傳遞窗采用互鎖式設計,內部尺寸800×600×600mm,配置高效過濾器及紫外線殺菌燈(功率30W,波長254nm)(二)凈化空調系統(tǒng)施工風管制作安裝采用鍍鋅鋼板(厚度≥0.8mm),咬口連接,法蘭密封采用EPDM橡膠墊片(邵氏硬度70±5)風管焊接采用氬弧焊工藝,內表面焊縫打磨拋光(Ra≤1.6μm),風管安裝坡度≥0.005,最低點設置排水閥高效送風口與風管采用"軟連接"方式,安裝平整度偏差≤1mmFFU安裝工藝采用鋁合金龍骨吊裝系統(tǒng),間距1.2×1.2m矩陣排列,吊裝誤差≤2mm與吊頂板之間采用硅膠密封圈密封,漏風率≤0.1%(在1000Pa靜壓下)運行噪聲控制≤55dB(A),振動速度≤0.5mm/s(三)防靜電地面施工基層處理:采用金剛石磨片進行地面打磨(粗糙度Ra2.5-5μm),真空吸塵(吸力≥20kPa)導電底漆施工:涂刷無溶劑環(huán)氧底漆(干膜厚度30μm),鋪設銅箔網格(間距1.5m×1.5m)自流平面層施工:采用鏝刀刮涂工藝,厚度控制2mm±0.2mm,消泡處理采用專用消泡滾筒(轉速300r/min)接地系統(tǒng):設置獨立接地極(接地電阻≤1Ω),通過6mm2銅箔與地面導電層連接五、質量控制措施(一)材料進場檢驗彩鋼板:每批次抽檢3張,進行剝離強度測試(≥3.5N/mm)、耐鹽霧試驗(500小時無銹蝕)過濾器:高效過濾器需提供DOP檢漏報告(泄漏率≤0.01%),每臺進行阻力測試(初始阻力≤220Pa)防靜電材料:表面電阻測試(使用阻抗儀,測試電壓1000V),不合格品退場處理(二)過程質量控制三檢制實施:施工班組自檢→項目部復檢→監(jiān)理驗收,關鍵工序留存影像資料(每50㎡不少于1張)潔凈度控制:設立專用材料清潔區(qū)(配備風淋設備)施工人員每日更衣除塵(潔凈服、口罩、手套三級防護)切割作業(yè)配備工業(yè)吸塵器(吸力≥30kPa)密封性能測試:圍護結構完工后進行正壓檢漏(壓力500Pa,保壓30分鐘,壓降≤5%)(三)檢測驗收標準空氣潔凈度檢測:萬級區(qū):采樣點30個(每25㎡設1點),采樣量≥100L/min十萬級區(qū):采樣點15個,采樣量≥50L/min連續(xù)檢測3次,每次間隔1小時,均需符合等級要求溫濕度驗證:連續(xù)監(jiān)測72小時,每小時記錄1次,波動范圍需符合設計要求系統(tǒng)綜合效能測試:進行空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三種工況測試,出具完整檢測報告六、安全文明施工(一)安全防護措施高空作業(yè):設置安全防護網(高度1.2m,網眼尺寸≤10cm),使用雙鉤安全帶(抗拉力≥22kN)臨時用電:采用TN-S接零保護系統(tǒng),配電箱配置漏電保護器(動作電流≤30mA,動作時間≤0.1s)消防管理:每層設置2個滅火器箱(4×4kg干粉滅火器),動火作業(yè)辦理許可證并配備看火人(二)潔凈施工管理人員管控:施工人員進行健康體檢(每年1次),建立人員出入登記制度(包含體溫監(jiān)測)廢棄物處理:設置分類垃圾桶(可回收/有害/生活垃圾),廢棄密封膠等危險品交由專業(yè)公司處置環(huán)境監(jiān)測:每日監(jiān)測施工區(qū)PM2.5濃度(≤0.5mg/m3),超標時啟動臨時凈化措施七、調試與驗收計劃(一)系統(tǒng)調試流程空吹清潔:分段進行風管清潔(壓縮空氣吹掃+吸塵器清理),空吹時間≥48小時參數(shù)整定:空調系統(tǒng):先進行單機試運轉(2小時),再進行聯(lián)動調試(連續(xù)運行72小時)溫濕度控制:通過PID調節(jié)器整定(比例帶50-100%,積分時間5-10min)性能測試:依次進行風量平衡測試→靜壓差調整→氣流流型可視化測試(發(fā)煙試驗)(二)驗收標準與流程分項驗收:圍護結構工程:表面平整度(≤3mm/2m)、接縫密封性(無明顯漏光)凈化空調系統(tǒng):風量偏差(≤10%設計值)、過濾器檢漏(無泄漏)綜合驗收:邀請山東省計量科學研究院進行第三方檢測,出具CMA認證報告竣工驗收:組織建設單位、設計單位、監(jiān)理單位進行四方驗收,提交完整竣工資料(含隱蔽工程記錄、設備合格證、檢測報告等)八、施工進度計劃施工階段起止時間關鍵節(jié)點工作工期保障措施前期準備第1-30天圖紙會審、材料采購建立材料臺賬,提前備貨圍護結構施工第31-60天彩鋼板安裝、潔凈門窗安裝采用平行作業(yè)法,每日完成300㎡機電安裝第61-120天空調系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、管道安裝劃分專業(yè)班組,實行樣板引路制度地面工程第121-150天基層處理、防靜電地坪施工分段施工,養(yǎng)護期≥7天系統(tǒng)調試第151-180天空吹清潔、參數(shù)測試、性能驗證24小時連續(xù)調試,專人記錄數(shù)據九、青島地區(qū)特殊措施(一)氣候適應性措施防潮處理:墻體安裝前涂刷防潮底漆(干膜厚度≥50μm)空調系統(tǒng)增設轉輪除濕機(除濕量15kg/h)電氣柜安裝防凝露加熱器(功率50W/臺)防臺風措施:室外設備基礎配重≥設備重量1.5倍風管支架采用膨脹螺栓固定(埋深≥100mm)屋面設備設置防風纜繩(安全系數(shù)≥5)(二)環(huán)保合規(guī)措施噪聲控制:空調機房設置隔音屏障(插入損失≥25dB)風機進出口安裝消聲器(消聲量≥30dB)設備基礎設置彈簧減震器(減震效率≥90%)廢氣處理:酸洗工藝廢氣經活性炭吸附裝置處理(吸附效率≥95%)
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