ICS31030

CCSL.90

中華人民共和國國家標準

GB/T46178—2025

電子級四二甲氨基鈦

()

Electronicradetetrakisdimethlamidetitanium

g(y)

2025-10-05發(fā)布2026-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T46178—2025

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位南大光電半導體材料有限公司中國電子技術(shù)標準化研究院蘇州實驗室江蘇南

:、、、

大光電材料股份有限公司長江存儲科技有限責任公司中芯國際集成電路制造北京有限公司蘇州

、、()、

源展材料科技有限公司安徽亞格盛電子新材料股份有限公司全椒南大光電材料有限公司寧波南大

、、、

光電材料有限公司安徽博泰電子材料有限公司合肥安德科銘半導體科技有限公司南大光電烏蘭察

、、、(

布有限公司南大光電淄博有限公司

)、()。

本文件主要起草人陳德義曹可慰茅炳榮徐文濤陸平史澤遠孫明璐孫鵬陳鵬宇宣宗亮

:、、、、、、、、、、

張婷張健高周高朋魯錚郭威趙俊莎吳怡然魏良杰毛國玉婁夏冰王小亮汪海燕何曉晨

、、、、、、、、、、、、、、

劉立偉張汝志孫麗麗曹益寧張寶帥馬得森王博文彭元兵劉能巧孟慶典孫建李雪姚夢

、、、、、、、、、、、、、

華淑雅

。

Ⅰ

GB/T46178—2025

電子級四二甲氨基鈦

()

1范圍

本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級四二甲氨基鈦的技術(shù)要求檢驗規(guī)則包裝標志及隨貨資料

()、、、、

運輸貯存及安全信息的要求描述了相應的檢測方法

、,。

本文件適用于沉積氮化鈦氧化鈦碳化鈦和鈦摻雜物等鈦基薄膜的電子級四二甲氨基鈦

、、()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

危險化學品倉庫儲存通則

GB15603

化學品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序

GB/T16483—2008

化學品安全技術(shù)說明書編寫指南

GB/T17519—2013

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

不銹鋼焊接氣瓶

GB/T32566

電子化學品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則

SJ/T11637

3術(shù)語和定義

本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義

。

4技術(shù)要求

電子級四二甲氨基鈦應符合表的規(guī)定

()1。

表1集成電路用電子級四二甲氨基鈦技術(shù)指標要求

()

項目技術(shù)指標

四二甲氨基鈦有機純度

()(Assay)(Ti(NC2H6)4)/%≥99.5

鋁含量

元素雜質(zhì)含量(Al)/(