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文檔簡介
如皋無塵室施工方案(2025版)一、工程概況與設(shè)計標準本無塵室項目位于如皋經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),總建筑面積1200㎡,潔凈等級劃分為ISO7級核心區(qū)(800㎡)、ISO8級輔助區(qū)(300㎡)及非潔凈區(qū)(100㎡),主要服務(wù)于精密電子元器件生產(chǎn)。設(shè)計遵循ISO14644-1:2025國際標準及GB50073-2025《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》,采用"三區(qū)五梯度"壓差控制體系,潔凈區(qū)維持22±2℃恒溫、45%±5%恒濕環(huán)境,空氣靜壓差保持15Pa(潔凈區(qū)→準潔凈區(qū))、10Pa(準潔凈區(qū)→輔助區(qū))的梯度分布,氣流組織采用"上送下回"垂直單向流設(shè)計,換氣次數(shù)達30次/h。二、分區(qū)規(guī)劃與平面布局(一)功能分區(qū)設(shè)計核心潔凈區(qū)劃分為光刻間(200㎡,局部ISO6級)、封裝間(400㎡)、檢測間(200㎡)三個子區(qū)域,采用獨立HVAC系統(tǒng)控制。各區(qū)間設(shè)置緩沖走廊(寬度1.5m),配備互鎖式風(fēng)淋室(吹淋時間15秒,風(fēng)速≥25m/s)及不銹鋼傳遞窗(帶紫外線消毒功能)。地面采用2mm厚防靜電PVC同質(zhì)透心地板(電阻值10?-10?Ω),墻面選用0.8mm厚抗菌電解鋼板(抗菌率≥99.9%),所有陰陽角做R50mm圓弧處理,吊頂采用鋁合金龍骨+600×600mm鋁扣板,集成FFU風(fēng)機過濾單元(覆蓋率35%)。輔助功能區(qū)包含更衣區(qū)(二更/三更,60㎡)、物料暫存區(qū)(80㎡)、設(shè)備機房(120㎡)及純水制備間(40㎡)。更衣區(qū)采用"四步更衣法"流程設(shè)計(換鞋→脫外衣→穿潔凈服→風(fēng)淋),配備不銹鋼感應(yīng)水龍頭及無塵儲物柜(每人1.2m3儲物空間)。物料暫存區(qū)設(shè)置恒溫恒濕控制系統(tǒng)(溫度波動≤±1℃,濕度波動≤±3%),安裝防爆型貨架(承重500kg/層)及防靜電周轉(zhuǎn)車充電位。(二)人流物流組織人流路線:廠區(qū)入口→換鞋區(qū)→一次更衣→二次更衣→風(fēng)淋室→潔凈區(qū),各環(huán)節(jié)設(shè)置電子門禁與身份識別系統(tǒng),記錄人員進出時間及潔凈服穿戴合規(guī)性。物流路線:原材料入口→貨淋室→物料緩沖間→潔凈區(qū),物料傳遞采用U型動線設(shè)計,避免交叉污染。危險品(如光刻膠)單獨設(shè)置防爆存儲間,與潔凈區(qū)保持30m安全距離。三、建筑材料與系統(tǒng)配置(一)圍護結(jié)構(gòu)材料系統(tǒng)部位材料規(guī)格技術(shù)參數(shù)施工要求墻面系統(tǒng)抗菌電解鋼板(0.8mm)耐鹽霧≥500小時,防火等級A級豎縫采用企口連接,橫縫打硅酮密封膠(寬度3mm)吊頂系統(tǒng)鋁合金龍骨+鋁扣板平整度誤差≤1mm/2m,承載力≥150kg/㎡燈具、風(fēng)口與扣板間隙≤0.5mm,密封處理地面系統(tǒng)防靜電PVC地板(2mm)耐磨性≥10000次,摩擦系數(shù)≥0.6焊接接縫寬度≤0.5mm,圓弧角半徑≥50mm門窗系統(tǒng)不銹鋼潔凈門(1.2m×2.1m)空氣泄漏率≤0.1m3/h(壓差100Pa時)閉門器關(guān)門時間6-8秒,門框與墻面圓弧過渡(二)空氣凈化系統(tǒng)三級過濾配置初效過濾器(G4級):安裝于新風(fēng)口,過濾效率≥90%(針對5μm粒子),每季度更換中效過濾器(F8級):設(shè)置于空調(diào)機組,過濾效率≥95%(針對1μm粒子),半年更換高效過濾器(H14級):FFU單元集成,過濾效率≥99.995%(針對0.3μm粒子),每年檢漏測試氣流控制參數(shù)潔凈區(qū)截面風(fēng)速:0.45±0.05m/s換氣次數(shù):ISO7級區(qū)≥30次/h,ISO8級區(qū)≥15次/h氣流流型:90%區(qū)域為單向流,渦流區(qū)面積≤5%(三)公用工程系統(tǒng)純水系統(tǒng)采用"預(yù)處理+RO反滲透+EDI"工藝,產(chǎn)水水質(zhì)達到GB/T11446.1-2025Grade2標準(電阻率18.2MΩ·cm@25℃,TOC≤10ppb)循環(huán)管道采用316L不銹鋼材質(zhì)(內(nèi)壁Ra≤0.8μm),流速維持1.5-2.0m/s,設(shè)置在線TOC監(jiān)測儀(檢測精度±5ppb)壓縮空氣系統(tǒng)配置無油螺桿空壓機(排氣量6m3/min),經(jīng)三級過濾(除塵→除水→除油)及干燥處理(露點≤-40℃),終端壓力0.6±0.05MPa,油分含量≤0.01mg/m3電氣系統(tǒng)采用TN-S接地系統(tǒng),接地電阻≤1Ω,設(shè)置獨立防靜電接地干線(截面積≥25mm2銅纜)照明采用36WLED潔凈燈(照度≥500lux,色溫4000K),應(yīng)急照明連續(xù)供電時間≥90分鐘四、施工工藝與質(zhì)量控制(一)施工流程規(guī)劃前期準備階段(30天)完成BIM三維建模(AutodeskRevit2025),進行管線碰撞檢測(碰撞點處理率100%)材料進場檢驗:對電解鋼板進行鹽霧測試(500小時無銹蝕),PVC地板進行耐磨性抽檢(≥15000次循環(huán)測試)施工區(qū)封閉:采用2000目防塵布+鋁合金龍骨搭建臨時隔離墻,設(shè)置負壓除塵系統(tǒng)(換氣次數(shù)12次/h)主體施工階段(90天)第1-15天:鋼結(jié)構(gòu)加固(樓板承重≥800kg/㎡)、墻面龍骨安裝(垂直度誤差≤3mm/3m)第16-45天:圍護結(jié)構(gòu)安裝(墻面/吊頂)、圓弧角制作、門窗安裝第46-75天:凈化空調(diào)系統(tǒng)安裝(風(fēng)管漏風(fēng)率測試≤1.5%)、FFU單元吊裝(水平度誤差≤2mm)第76-90天:地面處理(自流平施工厚度3mm,平整度≤2mm/2m)、防靜電接地系統(tǒng)施工系統(tǒng)調(diào)試階段(30天)空調(diào)系統(tǒng):進行風(fēng)量平衡調(diào)試(偏差≤10%)、溫濕度控制測試(連續(xù)運行72小時波動達標)潔凈度測試:靜態(tài)測試(空態(tài)→靜態(tài)→動態(tài)),采用激光粒子計數(shù)器(0.5μm/5μm雙通道),每個測試點采樣時間≥1分鐘(二)關(guān)鍵施工技術(shù)潔凈管道焊接工藝不銹鋼管道(純水/氣體)采用全自動軌道焊接(氬氣保護,純度99.999%),焊口內(nèi)表面Ra≤0.4μm,焊接完成后進行100%內(nèi)窺鏡檢測及壓力測試(試驗壓力1.5倍工作壓力,保壓30分鐘無壓降)。FFU安裝精度控制采用三維定位支架(調(diào)節(jié)精度±0.5mm),安裝前進行風(fēng)機葉輪動平衡測試(殘余不平衡量≤0.5g·mm),安裝后進行群控系統(tǒng)調(diào)試(同步啟停響應(yīng)時間≤1秒,風(fēng)速均勻性≤±5%)。防靜電接地施工地面銅箔網(wǎng)格(600×600mm)與接地干線采用放熱焊接(焊點搭接長度≥100mm),測試接地電阻(使用四極法,測試電流10A),確保所有設(shè)備接地電阻≤2Ω。五、質(zhì)量驗收與合規(guī)認證(一)分階段驗收標準隱蔽工程驗收包括管線預(yù)埋(管徑偏差≤±5%)、接地系統(tǒng)(焊點防腐處理)、風(fēng)管保溫(厚度偏差≤-5%)等項目,留存影像資料(每50㎡不少于1個檢查點)及第三方檢測報告。系統(tǒng)功能驗收空氣凈化系統(tǒng):高效過濾器檢漏(掃描速率50mm/s,泄漏率≤0.01%)、壓差梯度測試(相鄰區(qū)間壓差10-15Pa)自控系統(tǒng):溫濕度控制精度(±0.5℃/±2%RH)、PLC控制響應(yīng)時間(≤2秒)、報警系統(tǒng)聯(lián)動功能(聲光報警+短信通知)潔凈度驗收靜態(tài)測試:ISO7級區(qū)≥0.5μm粒子≤3520個/m3,≥5μm粒子≤29個/m3動態(tài)測試(模擬生產(chǎn)狀態(tài)):連續(xù)監(jiān)測8小時,粒子濃度波動≤20%,浮游菌濃度≤10cfu/m3(二)第三方檢測認證委托江蘇省計量科學(xué)研究院進行全面檢測,檢測項目包括:空氣潔凈度(ISO14644-1:2025)表面潔凈度(接觸碟法,≤5cfu/皿)照度(≥300lux,均勻度≥0.7)噪聲(≤65dB(A))振動(≤50μm/s,1-100Hz)取得《潔凈室性能檢測報告》后,向如皋市市場監(jiān)督管理局申請GMP符合性認證(針對醫(yī)藥相關(guān)區(qū)域)及ISO14644-1:2025體系認證。六、安全與環(huán)保措施(一)施工安全管理動火作業(yè)控制焊接作業(yè)辦理"動火許可證",配備移動式滅火器(ABC干粉+二氧化碳),作業(yè)點下方設(shè)置防火毯(耐火極限≥1小時),每日施工結(jié)束后進行可燃氣體檢測(濃度≤LEL的25%)。高空作業(yè)防護吊頂安裝采用滿堂腳手架(搭設(shè)高度≤1.2m/步),設(shè)置雙護欄(高度1.2m)及防墜器(承重≥15kN),作業(yè)人員佩戴五點式安全帶,每個作業(yè)面配備專職安全員。(二)環(huán)保施工要求廢棄物處理施工廢料分類存放(金屬/塑料/危廢),廢膠黏劑、清洗劑等危廢交由有資質(zhì)單位處置(簽訂危廢處置協(xié)議),每日清運垃圾產(chǎn)生量記錄偏差≤5%。揚塵控制切割作業(yè)采用濕法施工(噴水降塵),設(shè)置PM2.5在線監(jiān)測儀(報警閾值0.5mg/m3),施工區(qū)外10m處噪聲監(jiān)測≤70dB(晝間)/55dB(夜間)。七、運維管理方案(一)日常維護計劃過濾器更換周期初效過濾器:3個月/次(壓差≥150Pa時提前更換)中效過濾器:6個月/次(壓差≥250Pa時提前更換)高效過濾器:2年/次(泄漏率>0.01%時立即更換)設(shè)備巡檢制度每日:溫濕度/壓差記錄(每2小時一次)、FFU運行狀態(tài)檢查每周:潔凈服清洗(121℃高壓滅菌30分鐘)、風(fēng)淋室風(fēng)速測試每月:防靜電接地電阻測試、純水TOC/電阻率檢測(二)應(yīng)急處理預(yù)案潔凈度超標應(yīng)急立即啟動備用HVAC系統(tǒng),隔離超標區(qū)域,使用便攜式粒子計數(shù)器定位污染源(重點檢查高效過濾器密封面及氣流死角),必要時進行全面消毒(過氧化氫熏蒸,濃度600ppm)。停電應(yīng)急響應(yīng)配置UPS不間斷電源(續(xù)航≥30分鐘),確保凈化系統(tǒng)、安防監(jiān)控及應(yīng)急
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