目前，人們?cè)跈z測(cè)油液固體顆粒污染度時(shí)，主要使用由美國(guó)DIAGNETICSμm×5μm、10μm×10μm和15μm×15μm。目前尚未找到對(duì)該傳感器的研是用LIGA技術(shù)(制版術(shù)Lithographic電鑄成形Galvanoformung和注塑Abformung)雜，使用中也需要昂貴的成本費(fèi)用8。在20世紀(jì)70年代前后，我國(guó)才開始進(jìn)行微孔濾膜的開發(fā)研究91,相比一些纖維素脂為基材的微孔濾膜的研制是由于制藥工業(yè)和醫(yī)療衛(wèi)生工作的需要。到1979年前后，我國(guó)已經(jīng)形成了對(duì)微孔濾膜小規(guī)模的生產(chǎn)，以供藥液過(guò)濾等方面的使用。1981年，根據(jù)海洋環(huán)境監(jiān)測(cè)和海洋地質(zhì)地貌調(diào)查的特殊要求，國(guó)家海微孔濾膜),其含痕量金屬元素低，孔徑均勻，先進(jìn)水平甚至可以替代進(jìn)口同類其完成了國(guó)家重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目，相繼研制出增強(qiáng)型聚偏氟乙烯(PVDF)微孔濾迅速，也得到了較為廣泛的應(yīng)用和推廣。而在國(guó)內(nèi)，中國(guó)礦業(yè)大學(xué)(北京)的宋琦教授也曾于20世紀(jì)90年代進(jìn)行研制，由于始終存在一些技術(shù)性問(wèn)題并沒(méi)有取得結(jié)果。2002年，通過(guò)LIGA和微細(xì)電火花技術(shù)，中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所和北京工業(yè)大學(xué)國(guó)家產(chǎn)學(xué)研激光技術(shù)中心聯(lián)合研制出具有多種結(jié)構(gòu)多種材料的過(guò)第2頁(yè)共7頁(yè)在25微米厚的不銹鋼薄膜上制備出了大面積陣列微孔，孔徑在2.5~10微米之間[11]。2008年，WANG等[12對(duì)金屬航空過(guò)濾介質(zhì)的非傳統(tǒng)加工方法(光化學(xué)加工、光電鑄及激光加工)進(jìn)行了介紹；2009年，YADROITSEV等[13用選擇性激光融化(Selectivelasermelting,SLM)技術(shù)制備了一種尺寸為150μm×150μ薄壁結(jié)構(gòu)3D過(guò)濾介質(zhì)，但這些制作過(guò)濾介質(zhì)的工藝過(guò)于復(fù)雜。目前來(lái)說(shuō)，關(guān)于微孔過(guò)濾介質(zhì)研制的文獻(xiàn)很少，但關(guān)于微細(xì)孔加工的文獻(xiàn)較多。在加工時(shí)通常采用的方法是激光、電火花、電解等微細(xì)加工中的分離加工方式，最小孔徑能到達(dá)幾十到幾百微米不等，其復(fù)雜程度對(duì)設(shè)備和工藝要求十分嚴(yán)格。目前，對(duì)于在原有群孔分布的基材(如不銹鋼絲網(wǎng))表面利用結(jié)合加工方式中的鍍覆法來(lái)獲取所需尺寸的微孔這一方法也尚無(wú)文獻(xiàn)報(bào)導(dǎo)。化學(xué)鍍技術(shù)近年來(lái)已成功應(yīng)用于生產(chǎn)中，而且化學(xué)鍍鎳層具有優(yōu)異的均鍍性、高的硬度、高的強(qiáng)度，耐磨性和耐蝕性等綜合物理化學(xué)性能，在生產(chǎn)中使用極為廣泛。中國(guó)礦業(yè)大學(xué)(北京)的盧繼霞副教授在完成博士論文的工作中對(duì)市場(chǎng)上現(xiàn)有的600目平紋不銹鋼絲網(wǎng)進(jìn)行了電鍍銅和化學(xué)鍍鎳制備金屬微孔濾膜的初步嘗試，對(duì)鍍覆制膜方法進(jìn)行了摸索，確定了化學(xué)鍍鎳為制備金屬微孔濾膜的優(yōu)選鍍覆工藝[14]。之后又通過(guò)進(jìn)一步研究，確定出不銹鋼絲網(wǎng)的最佳預(yù)處理和施鍍的工藝流程：工件受鍍面積計(jì)算→陽(yáng)極電解除油→熱蒸餾水清洗2次→涼蒸餾水沖洗2min→陽(yáng)極電解浸蝕→涼蒸餾水快速清洗→預(yù)鍍鎳→涼蒸餾水快速清洗→化學(xué)鍍鎳。通過(guò)使用該工藝，通過(guò)控制不同的鍍覆時(shí)間，便可以獲得不同尺寸20世紀(jì)80年代是工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)高速發(fā)展的時(shí)期，伴隨著自動(dòng)化技術(shù)和集成化技術(shù)的飛速發(fā)展，機(jī)器人技術(shù)也隨之提升，工業(yè)機(jī)械手迎來(lái)了高速發(fā)展的黃金時(shí)期。目前，工業(yè)機(jī)械手在實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用，其技術(shù)也日趨完善，但是先進(jìn)的工業(yè)機(jī)器人技術(shù)仍掌握在少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家手中，其中影響力較大的主要是歐洲和日本等國(guó)家的機(jī)器人公司，如Panasonic,YAMA-HA,EPSON,KUKA第3頁(yè)共7頁(yè)與國(guó)外相比，我國(guó)機(jī)器人起步較晚，而且受很多關(guān)鍵技術(shù)制約，發(fā)展受到很大的影響。并且，一直以來(lái)，核心技術(shù)缺乏突破，機(jī)器人的關(guān)鍵部件依賴進(jìn)口，因此我國(guó)國(guó)產(chǎn)的SCARA機(jī)器人其精度、速度和穩(wěn)定性與國(guó)外相比有很大的差距，且成本居高不下，因此我國(guó)也提出了大力發(fā)展機(jī)器人的目標(biāo)。若要完成以上目標(biāo)，不僅需要改善電機(jī)、減速器等本體設(shè)計(jì)，還需要改善我們的伺服驅(qū)動(dòng)控制、運(yùn)動(dòng)SCARA工業(yè)機(jī)器人中文全譯名為選擇性順應(yīng)裝配機(jī)器人手臂，是一種圓柱坐標(biāo)型工業(yè)機(jī)器人，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的多個(gè)領(lǐng)域。SCARA工業(yè)機(jī)器人一般具有3個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)和1個(gè)(垂直)移動(dòng)關(guān)節(jié)，其結(jié)構(gòu)如圖1.1所示，所有關(guān)節(jié)均由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，3個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)軸線平行，在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)下圍繞軸線實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)定位，垂直方向上的移動(dòng)關(guān)節(jié)實(shí)現(xiàn)機(jī)器人終端負(fù)載的上下移動(dòng)171。以中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院的汪琳設(shè)計(jì)的采茶機(jī)器人SCARA機(jī)械手為例，整個(gè)機(jī)器人采用四輪驅(qū)動(dòng)行走機(jī)構(gòu)，每個(gè)輪子都具有轉(zhuǎn)向功能，使得機(jī)器人能夠一直沿著茶壟的走向前進(jìn)或后退，利用大容量的移動(dòng)電源作為行走機(jī)構(gòu)的動(dòng)力能源，方便更換，且不會(huì)對(duì)茶葉帶來(lái)品質(zhì)隱患和對(duì)環(huán)境造成污染；在采端連接收集裝置袋，利用負(fù)壓將已摘下的茶葉葉芽吸附到收集裝置袋中[17]。采茶機(jī)器人的基本結(jié)構(gòu)與如下圖1.2和1.3所示：四輪驅(qū)動(dòng)行走機(jī)構(gòu)處理機(jī)構(gòu)茶葉梳理圖1.2采茶機(jī)器人結(jié)構(gòu)圖心L?L?▲ZX該SCARA設(shè)計(jì)采用D-H法對(duì)SCARA機(jī)械手進(jìn)行運(yùn)動(dòng)學(xué)分析，在機(jī)械手的各個(gè)關(guān)節(jié)上建立空間直角坐標(biāo)系，在第i個(gè)關(guān)節(jié)處所建立的坐標(biāo)系{Oi-XiYiZi}中Zi軸的方向與該關(guān)節(jié)的運(yùn)動(dòng)軸線相重合。從而得到SCARA機(jī)械手中各個(gè)關(guān)節(jié)相對(duì)于固定基座坐標(biāo)系{00-XOYOZ0}的轉(zhuǎn)換矩陣，然后求出齊次坐標(biāo)矩陣，進(jìn)而推導(dǎo)出機(jī)械手的逆向運(yùn)動(dòng)模型。1.3SCARA機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)學(xué)仿真現(xiàn)狀末端的運(yùn)動(dòng)軌跡則需要從運(yùn)動(dòng)學(xué)方面分析，借助Matlab將各運(yùn)動(dòng)方程導(dǎo)出至文本文件并建立樣條曲線，并在Adams中添加各關(guān)節(jié)的驅(qū)動(dòng)函數(shù)并將樣條曲線應(yīng)用到CUBSPL函數(shù)中，進(jìn)而得到各個(gè)關(guān)節(jié)的力矩曲線圖。為了更真實(shí)的描述SCARA機(jī)器人在現(xiàn)還需對(duì)構(gòu)建出的虛擬樣機(jī)模型加以載荷(通過(guò)修改機(jī)器人末端連桿的質(zhì)量屬性)。通過(guò)觀察求[18]。而安徽工業(yè)大學(xué)王鵬在過(guò)程中為了分析SCARA機(jī)器人末端連桿的位姿與個(gè)關(guān)節(jié)變量之間的關(guān)系，先按照D-H理論構(gòu)建SCARA機(jī)器人連桿坐標(biāo)系。再通過(guò)正向運(yùn)動(dòng)學(xué)分析D-H間的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換矩陣(齊次變換矩陣),采用遞推計(jì)算方式，求出參考坐標(biāo)系到機(jī)器人末端坐標(biāo)境中建立了4自由度SCARA機(jī)器人三維模型，并制造出了SCARA機(jī)器人機(jī)械本體，對(duì)MonteCarlo法完成了機(jī)器人工作空間計(jì)算，基于D-H參數(shù)法建立了SCARA機(jī)器人運(yùn)動(dòng)學(xué)模型，分析了機(jī)器人正逆向運(yùn)動(dòng)學(xué)方程，最后對(duì)SCARA機(jī)器人進(jìn)行了Matlab運(yùn)動(dòng)仿真分中國(guó)礦業(yè)大學(xué)(北京),2005。第7頁(yè)共7頁(yè)[4]畢勝，國(guó)內(nèi)外工業(yè)機(jī)器人的發(fā)展?fàn)顩r[J],機(jī)械工程師2008(7):5-8。[5]馬光，工業(yè)機(jī)器人的發(fā)展現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J],組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù)[6]盧軍，SCARA機(jī)器人結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)與運(yùn)動(dòng)學(xué)分析[J],陜西科技大學(xué)學(xué)報(bào)2014(32):137.[7]許果，王俊峰，何嶺松，一種基于SCARA機(jī)器人機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J],機(jī)械工程師。2005(4):65-67[8]丁慧，金屬微孔濾膜的標(biāo)準(zhǔn)制作工藝及污染機(jī)理研究[D]。北京：中國(guó)礦業(yè)大[9]宮美樂(lè)，袁國(guó)梁。我國(guó)微孔濾膜研究現(xiàn)狀與發(fā)展[J],膜科學(xué)與技術(shù)，2003(4)。[10]黃軍容，彭良強(qiáng)，伊福廷等。利用LIGA技術(shù)制作過(guò)濾介質(zhì)[J],過(guò)濾與分離，[11]楊洗陳，汪剛，趙友博，王明偉。飛秒激光制備陣列孔金屬微濾膜[J],中國(guó)激光，2007(8):1155~1158。[12]WangWei,Non-traditionaAerospaceFilters[M],ChineseJournalofComposites:LatestDevelopments[M],AppliedSurface