國防軍工計量檢定規(guī)程JJG(軍工)203—2019大功率圖示儀2019-12-20發(fā)布國家國防科技工業(yè)局發(fā)布VerificationRegulationfJJGJJG軍工203—2019起草單位：國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站李潔(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)劉沖(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)張珊(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)闞勁松(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)胡鵬(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)王酣(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)徐迎春(國防科技工業(yè)微電子元器件一級計量站)JG(軍工)203—2019 1 2 2 2 2 25計量器具控制 2 5.5檢定周期 10 本規(guī)范適用于大功率圖示儀(以下簡稱圖示儀)的首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。圖示儀主要由工作電源、連續(xù)/脈沖階梯電壓源、連續(xù)/脈沖階梯電流源、連續(xù)/脈沖集電極電流源、集電極電壓源、集電極掃描電壓單元、顯示屏、附屬裝置等組成，工作原理如圖1所示。圖示儀主要用于對所有二端、三端的半導(dǎo)體器件進行分析和直流參數(shù)測量。外接?階梯電流源3計量性能要求3.1校準(zhǔn)信號直流電壓；輸出范圍：0.1V~40V,最大允許誤差；±(0.5%~1%)。矩形脈沖電壓：輸出范圍：10V~40V(脈寬：500μs~10ms),最大允許誤差：3.2集電極電流偏轉(zhuǎn)系數(shù)測量范圍：0.1μA/div~0.5A/div(連續(xù)),最大允許誤差：±(1%~5%);測量范圍：1A/div~100A/div(脈寬：300μs~20ms),最大允許誤差；±(1%~2測量范圍：0.01V/div~100V/div,最大允許誤差：±(1%~5%)。測量范圍：0.01V/div~2V/div,最大允許誤差：士(1%~5%)。測量范圍：0.2μA/div~10μA/div,最大允許誤差：±(3%~5%)。測量范圍：100V/div~500V/div,最大允許誤差：±(3%~5%)。測量范圍：0.01V/階~10V/階(脈寬：300μs~20ms),最大允許誤差：±(3%~范圍；100～10MΩ,最大允許誤差：±(3%~5%),2)電阻測量范圍：0.1Ω-10MΩ,最大允許誤差：±2%;1)脈沖電壓測量范圍：±(0.1V-40V),最大允許誤差1)集電極電壓測量范圍：0.1V~5000V,最大允許誤差：±(0.5~1)%;2)基極電壓：0.1V~20V,最大允許誤差：±1%;1)直流電壓輸出范圍：±(1000V~5000V),最大允許誤差：±1%。b)相對濕度：20%-75%;JJG(軍工)203-20194在量程范圍內(nèi)選取檢定點，一般為接近量程值的10%、20%、50%、100%點。oooe)將校準(zhǔn)信號輸出端和數(shù)字多用表(脈沖數(shù)字化儀)連接。將被檢圖示儀有關(guān)d)校準(zhǔn)信號電壓的誤差按式(1)計算，并記錄于附錄A的A.3中。式中：Ue——數(shù)字多用表(脈沖數(shù)字化儀)測量電壓值，V;8——校準(zhǔn)信號電壓相對誤差。形”。b)被檢圖示儀“Y軸功能選擇”置于集電極電流量程待檢檔位位于顯示屏上(或下)端水平刻度線中心位置。5▽(或上)偏移10div,讀取圖示儀校準(zhǔn)儀輸出電流值/,并記錄在附錄A的A.4中。d)集電極電流偏轉(zhuǎn)系數(shù)誤差按式(2)計算，并記錄在附錄A的A.4中。a)儀器連接圖如圖4所示。Cb)被檢圖示儀“X軸功能選擇”置集電極電壓量程待檢檔位，“X軸倍率選擇”“階梯選擇”置電流最低檔位，“掃描電壓量程”置于“0~200V”,“極性“+”,“功耗電阻”置于最高檔位。將X軸“輸入方式”置于“零點”,調(diào)節(jié)Y軸、X軸位移，使光點位于顯示屏左(或右)端垂直刻度線中心位置。6d)集電極電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)誤差按式(3)計算，并記錄在附錄A的A.5中。 5—集電極電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)相對誤差。a)儀器連接如圖5所示。a)被檢圖示儀“X軸功能選擇”置基極電壓量程待校檔位，“X軸倍率選擇”置移，使光點位于顯示屏坐標(biāo)左(右)垂直刻度線中心位置。b)調(diào)節(jié)圖示儀校準(zhǔn)儀，使光點向右(或左)偏移10div,讀取圖示儀校準(zhǔn)儀的基e)按式(4)計算X軸基極電壓誤差，并記錄在附錄A的A.6中。8——基極電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)相對誤差。d)重復(fù)步驟b)～d),對基極電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)其a)儀器連接如圖6所示。7v使光點位于顯示屏上(或下)端水平刻度線中心位置，將被校圖示儀置置。調(diào)節(jié)圖示儀校準(zhǔn)儀輸出，使光點向下(或上)偏移10dive)Y軸二極管反向電流偏轉(zhuǎn)系數(shù)誤差按式(5)計算，并記錄在附錄A的A.7中。h—二極管反向電流偏轉(zhuǎn)系數(shù)檔位值(偏轉(zhuǎn)系數(shù)標(biāo)稱值×10div),A;d)重復(fù)步驟b)～e),對Y軸二極管反a)儀器連接如圖7所示。調(diào)節(jié)圖示儀校準(zhǔn)儀高壓源輸出Ua,使光點向下(或上)偏移10div,讀取圖示儀校準(zhǔn)c)按式(6)計算二極管電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)誤差，并記錄在附錄A的A.8中。8Uo——圖示儀校準(zhǔn)儀高壓輸出值，V;Ui—二極管電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)檔位值(偏轉(zhuǎn)系數(shù)標(biāo)稱值×10div),V: d)重復(fù)步驟b)~e),對X軸二極管電壓偏轉(zhuǎn)系數(shù)其它檔位進行檢定。5.3.11階梯電流a)儀器連接如圖8所示。b)設(shè)置圖示儀和圖示儀校準(zhǔn)儀為“階梯電流”模式。設(shè)置圖示儀和圖示儀校準(zhǔn)儀的“階梯極性”同時置于“NPN”或“PNP”,相同的階梯“0”…“10”、相同的脈寬以及需要校準(zhǔn)的檔位。e)當(dāng)被檢圖示儀輸出階梯電流/o時，記錄圖示儀校準(zhǔn)儀的測量值/o。d)按式(7)計算階梯電流誤差，并記錄在附錄A的A.9中。I——圖示儀階梯電流標(biāo)稱值，A; 8——階梯電流相對誤差。e)重復(fù)步驟b)~d),對階梯電流的其它極性的不同檔位進行檢定。5.3.12階梯電壓a)儀器連接如圖8所示。b)設(shè)置圖示儀和圖示儀校準(zhǔn)儀為“階梯電壓”模式。設(shè)置圖示儀和圖示儀校準(zhǔn)儀的“階梯極性”同時置于“NPN”或“PNP”,相同的階梯“0”…“10”、相同的脈寬以及需要檢定的檔位。c)當(dāng)被檢圖示儀輸出階梯電流時，記錄圖示儀校準(zhǔn)儀的測量值。d)按式(8)計算階梯電壓誤差，并記錄在附錄A的A.10中。98——階梯電壓相對誤差。a)儀器連接如圖