硅片全自動檢測分選機(jī)認(rèn)知主講教師：引入硅片全自動檢測分選機(jī)一種綜合性的硅片無接觸全自動檢測分選設(shè)備，主要用于直徑100mm～200mm硅片的檢測及分選，該設(shè)備主要由上料站、檢測站、下料站三個部分組成。其中硅片檢測內(nèi)容有：厚度、TTV，翹曲、線痕、電阻率、棱面崩邊、表面崩邊、倒角側(cè)崩、臟污、孔洞、隱裂、尺寸、PN型、碎片剔除等方面。目錄CONTENTS01.硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)02.硅片的外包裝與運(yùn)輸03.課堂總結(jié)硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)PART01一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（一）硅片3D模組：檢測厚度/線痕/TTV/翹曲度，通過上下三對線激光探頭（每對一只在硅片上方，一只在硅片下方）垂直于刀紋方向進(jìn)行檢測。對單側(cè)激光，硅片厚度變化造成激光在硅片上Z軸的變化，對應(yīng)到CCD上相對原始位置的變量，計算出Z軸上的距離，再通過上下兩個激光共同得出厚度。TTV=Max厚度-Min厚度。線痕是對單個線激光掃描硅片表面，得出一組高低不同的點，在1mm范圍內(nèi)最高點與最低點的差值。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)采用渦流法檢測硅片電阻率，將硅片平插進(jìn)一對共軸探頭之間，與振蕩回路相連接的兩個探頭之間的高頻磁場在硅片上感應(yīng)而產(chǎn)生渦流，硅片中的載流子將作定向運(yùn)動并以焦?fàn)枱岬男问綋p耗能量。用探頭測量硅片中心區(qū)域內(nèi)的渦流反饋感應(yīng)量，從而測量電阻率，PN型是采用表面光電壓原理，激光激發(fā)硅片從而探頭測量電壓的正負(fù)，來判定P、N型。（二）電阻率/PN模組：一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（二）電阻率/PN模組：微波法檢測對硅片的少子壽命進(jìn)行快速、無接觸、無損傷測量，經(jīng)過紅外脈沖激光照射，在硅片內(nèi)部產(chǎn)生電子-空穴對，致使硅片內(nèi)電導(dǎo)率的增加，當(dāng)撤去外界光注入時，電子-空穴對逐漸復(fù)合，電導(dǎo)率隨時間指數(shù)衰減，根據(jù)微波信號的變化量與電導(dǎo)率的變化量成正比的原理來檢測少子壽命。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（三）崩邊模組：左右崩邊在硅片左右兩邊各有一套光源和相機(jī)，相機(jī)的入光線路和光源的出光線路（包括反射）在一個直線上。這樣得到的圖片是飽和亮度的圖片。如果在硅片側(cè)面有崩邊等，光路經(jīng)過崩邊地方會發(fā)生光路的改變，崩邊處成像變成黑色區(qū)域。這樣通過背景對比，就能夠明顯的識別出崩邊的存在。左右崩邊可以檢測左右表面崩邊和側(cè)面崩邊。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（三）崩邊模組：前后崩邊用來檢測硅片前后側(cè)邊崩邊，當(dāng)硅片進(jìn)入檢測區(qū)域，照明單元通過反光鏡，將光反射到硅片棱邊，傳遞到其它反光鏡，通過鏡頭傳到相機(jī)，進(jìn)行成像。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（四）臟污模組：檢測上下臟污、硅落，采用多角度光源從硅片上下表面打光，線掃相機(jī)位于光源中縫正上方，在硅片勻速的直線運(yùn)動中采集成像。臟污上在皮帶上測，臟污下在接縫的皮帶下側(cè)。這種打光方式能夠?qū)Ρ砻娴呐K污成像和硅片的背景成像進(jìn)行很好的灰度區(qū)分，通過軟件判灰度區(qū)間，從而檢測出臟污缺陷。穿孔在臟污圖像表現(xiàn)為一個圓形暗色區(qū)域，若上下兩張圖的暗區(qū)位置相同，即可判定為孔洞。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（五）隱裂模組：在硅片下面通過紅外光照射硅片，紅外光能夠穿透硅片，再通過線掃相機(jī)掃描成像，這樣在硅片上表面會呈現(xiàn)相同亮度，當(dāng)出現(xiàn)隱裂的時候，光在隱裂位置不能正常穿透硅片，會在硅片上表面形成黑色區(qū)域。從而通過亮度差異來進(jìn)行判斷是否為隱裂。表面崩邊、孔洞原理和隱裂相同，在有缺陷的部位，紅外光穿透會形成不同灰度，從而來判定是否缺陷?？梢允褂脙蓚€相機(jī)從不同角度來檢測隱裂。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（六）尺寸檢測：四代機(jī)尺寸使用上臟污的集成式光源，節(jié)約空間，采用1200萬高分辨率面陣相機(jī)、背光成像，需要對原始標(biāo)片進(jìn)行標(biāo)定。標(biāo)定好了以后，通過軟件分別對各個水平、垂直中邊長度、倒角長度、對角線等數(shù)據(jù)進(jìn)行測量。一、硅片全自動檢測分選機(jī)結(jié)構(gòu)（七）軟件主站界面：區(qū)域分塊，界面清晰，全中文界面，員工容易上手操作，報警等信息容易觀察；硅片的外包裝與運(yùn)輸PART02二、硅片的外包裝與運(yùn)輸根據(jù)硅片內(nèi)包裝盒的尺寸規(guī)格設(shè)計專用的相應(yīng)外包裝紙箱及其減震板，包裝箱上應(yīng)注明易碎品、放置方向及防潮等標(biāo)記。經(jīng)過適當(dāng)外包裝處理的硅片可以采用陸運(yùn)、水運(yùn)和空運(yùn)來實現(xiàn)運(yùn)輸。課堂總結(jié)PART03小結(jié)SUMMARY01硅片全自動檢測分選機(jī)檢測分選項目；02硅片全自動檢測分選機(jī)電學(xué)性能檢測基本原理；最后，我們來回顧一下本小節(jié)的內(nèi)容：03硅片全