機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管課件XX有限公司匯報(bào)人：XX目錄第一章機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管概述第二章機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)第四章機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管制造工藝第三章機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管工作原理第六章機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的未來趨勢(shì)第五章機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管性能評(píng)估機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管概述第一章定義與原理原理柵極電壓控流定義有機(jī)半導(dǎo)體FET0102發(fā)展歷程1930年，Lilienfeld提出場(chǎng)效應(yīng)晶體管原理。早期理論提出1947年，貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明晶體管。晶體管發(fā)明1960年后，硅基MOSFET等場(chǎng)效應(yīng)晶體管相繼研制成功。OTFT研制成功應(yīng)用領(lǐng)域用于可穿戴設(shè)備等，展現(xiàn)柔性、透明特性。柔性電子在OLED顯示器中扮演重要角色，具有高對(duì)比度等優(yōu)勢(shì)。顯示技術(shù)機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)第二章基本結(jié)構(gòu)介紹源極、漏極、柵極電極組成襯底、介電層、有源層層次結(jié)構(gòu)關(guān)鍵組成部分電極部分，控制電流開關(guān)柵極源極漏極電荷載流子傳輸層有機(jī)半導(dǎo)體層屏顯絕緣材料絕緣并調(diào)控載流子材料選擇01柵極材料金屬或多晶硅制成，控制電流。02半導(dǎo)體材料p型或n型，分子級(jí)別設(shè)計(jì)合成。03絕緣層材料二氧化硅等，隔離電場(chǎng)，防泄漏。機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管工作原理第三章電荷載流子運(yùn)動(dòng)形成溝道導(dǎo)電柵極電壓形成電場(chǎng)，吸引載流子形成溝道，控制源漏極間電流。載流子類型N型材料以電子為主，P型材料以空穴為主，柵極電壓調(diào)控其運(yùn)動(dòng)。門控效應(yīng)機(jī)制柵極電壓調(diào)控載流子，改變溝道導(dǎo)電狀態(tài)。電場(chǎng)控制溝道柵極電壓正負(fù)決定晶體管導(dǎo)通或截止。導(dǎo)通與截止電流-電壓特性柵極電壓低，溝道關(guān)閉，無(wú)電流流過。截止區(qū)特性電流受柵極電壓控制，不隨漏極電壓變。飽和區(qū)特性漏極電流與電壓成正比，類似電阻行為。線性區(qū)特性010203機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管制造工藝第四章制造流程概述確定結(jié)構(gòu)參數(shù)，布局電路元件設(shè)計(jì)參數(shù)布局采用高純硅，制造硅基板材料選擇與制備光刻圖案，蝕刻成型，離子注入光刻蝕刻注入關(guān)鍵技術(shù)點(diǎn)利用光刻膠形成圖案，精確轉(zhuǎn)移至硅片。光刻技術(shù)01注入雜質(zhì)形成源漏區(qū)，改變導(dǎo)電性能。離子注入02形成柵極結(jié)構(gòu)，控制溝道電流。柵極制造03制造挑戰(zhàn)與解決方案應(yīng)用EUV光刻技術(shù)，提高制造精度與器件性能。工藝精度要求采用高純單晶硅，確保開關(guān)速度與穩(wěn)定性。材料選擇難題機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管性能評(píng)估第五章性能參數(shù)指標(biāo)衡量柵極電壓為零時(shí)漏源電流大小。飽和漏源電流評(píng)估正常工作下能承受的最大漏源電壓。漏源擊穿電壓測(cè)試方法01靜態(tài)測(cè)試測(cè)導(dǎo)通情況判損壞02動(dòng)態(tài)測(cè)試接電路觀波形變03參數(shù)測(cè)量測(cè)特性曲線評(píng)性能性能優(yōu)化策略調(diào)整納米片尺寸，優(yōu)化堆疊方式，提升晶體管性能。尺寸結(jié)構(gòu)優(yōu)化01優(yōu)化界面材料結(jié)構(gòu)，降低界面電阻，提高電荷傳輸效率。界面工程優(yōu)化02機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的未來趨勢(shì)第六章技術(shù)創(chuàng)新方向二維材料替代硅，提升晶體管電氣性能。二維材料應(yīng)用碳納米管用于FET，實(shí)現(xiàn)高效開關(guān)功能，應(yīng)用于高性能計(jì)算。碳納米管技術(shù)潛在應(yīng)用前景高性能邏輯開關(guān)二維材料提升電氣性能，適用于高性能邏輯開關(guān)。柔性電子設(shè)備在電子皮膚、柔性顯示等領(lǐng)域展現(xiàn)應(yīng)用潛力。0102行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)01二維材料應(yīng)用二維材料成超小型FE