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集成電路制造工藝
--潔凈技術(shù)等級(jí)單位：江蘇信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院微電子教研室第九章潔凈技術(shù)潔凈設(shè)備清洗技術(shù)本章要點(diǎn)潔凈技術(shù)等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)純水制備第九章潔凈技術(shù)潔凈技術(shù)等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)潔凈設(shè)備純水制備清洗技術(shù)本章要點(diǎn)潔凈技術(shù)（CRT：CleanRoomTechnology）是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等要求誕生的一門新興技術(shù)，可保證特別干凈清潔的生產(chǎn)和科研環(huán)境，以防止生產(chǎn)與研究工作受環(huán)境因素干擾和影響，保護(hù)產(chǎn)品不受有害物質(zhì)污染為核心內(nèi)容。一.潔凈技術(shù)的定義§9.1潔凈技術(shù)等級(jí)潔凈度的概念：用每立方英尺空氣中所含的直徑大于0.5微米的顆粒數(shù)來(lái)衡量立方英尺與升的換算：1英尺（foot)=12英寸，1英寸=2.54cm，1立方分米=1升，所以：1立方英尺=28.3立方分米=28.3升潔凈度美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)級(jí)別塵埃壓力/Torr溫度粒徑（μm)
粒/ft3粒/l范圍推薦值誤差1000.51003.51.2519.4-2522.22.8100000.5
10000
3505.0652.3100000
0.510000035005.0700250.28潔凈度我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)空氣潔凈度等級(jí)（N）大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值（pc/m3）0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um1102
210024104
31，000237102358
4（十級(jí)）10，0002，3701，02035283
5（百級(jí)）100，00023，70010，2003，520832296（千級(jí)）1，000，000237，000102，00035，2008，3202937（萬(wàn)級(jí)）
352，00083，2002，9308（十萬(wàn)級(jí)）
3，520，000832，00029，3009（一百萬(wàn)級(jí)
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