集成電路制造工藝

--潔凈設(shè)備單位：江蘇信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院微電子教研室第九章潔凈技術(shù)潔凈設(shè)備清洗技術(shù)潔凈技術(shù)等級標(biāo)準(zhǔn)純水制備本章要點第九章潔凈技術(shù)潔凈設(shè)備清洗技術(shù)潔凈技術(shù)等級標(biāo)準(zhǔn)純水制備本章要點§9.2潔凈設(shè)備空氣初級過濾器鼓風(fēng)機(jī)亞高效過濾器高效過濾器出風(fēng)口收集口排放口凈化系統(tǒng)空氣過濾器空氣過濾器是主要凈化部件，沒有過濾器，特別是沒有高效過濾器，也就沒有潔凈技術(shù)?？諝膺^濾器是用來對空氣進(jìn)行凈化處理的設(shè)備，根據(jù)過濾效率的高低，通常分為初效（粗效）、中效和高效過濾器三種類型。為了便于更換，一般做成可拆卸模塊：為提高過濾器過濾效率和增大額定風(fēng)量，可做成袋式或抽屜式?？諝膺^濾器形式初效過濾器初效過濾器又稱粗效過濾器，主要用于空氣初級過濾，過濾粒徑在10～100μm范圍的大顆?；覊m。中效過濾器用于過濾粒徑在1～10μm范圍灰塵，常采用中細(xì)孔泡沫塑料、玻璃纖維、無紡布等濾料制作。高效過濾器用于過濾粒徑1～5μm。常采用超細(xì)玻璃纖維和超細(xì)石棉纖維等濾料制作成紙狀。高效過濾器效率為99.91％，亞高效過濾器效率為90％～99.9％?？諝膺^濾器分類空氣過濾器外觀使用注意事項對空氣過濾器的選用，應(yīng)主要依據(jù)凈化要求和室外空氣污染情況而定，通常是將幾種效率不同的過濾器串聯(lián)使用?？諝膺^濾器應(yīng)經(jīng)常拆換清洗，以免因濾料上積塵太多而使房間室內(nèi)空氣潔凈度達(dá)不到要求：清洗周期多個過濾器同時使用時要配合采用風(fēng)機(jī)供應(yīng)空氣，確保氣體能順利通過后續(xù)過濾器。潔凈工作室

工作室內(nèi)潔凈度達(dá)到生產(chǎn)所需潔凈度級別的工作室稱為潔凈工作室，工作室通常經(jīng)過三級過濾后可獲得所需潔凈等級，潔凈工作室分類：

斜流式、

水平層流式

垂直層流式

其中，斜流式結(jié)構(gòu)很少采用，水平層流式和垂直層流式應(yīng)用較為廣泛。潔凈室除塵設(shè)備風(fēng)淋室風(fēng)淋室可保證進(jìn)入潔凈室人員進(jìn)行人身潔凈和防止室外空氣侵入；主要分為停留式和通道式兩種。主要由風(fēng)機(jī)、過濾器和噴嘴組成。潔凈室除塵設(shè)備靜電自凈器的工作原理為極板金屬絲外加直流電壓，不均勻電場造成空氣電暈放電，產(chǎn)生的正離子吸附塵埃后向陽極集中被吸收，達(dá)到集塵效果。靜電自凈器潔凈室除塵設(shè)備真空收塵器-吸塵器通過一定方法在收塵器內(nèi)部形成一定負(fù)壓（真空），室內(nèi)空氣在壓力作用下通過吸塵管進(jìn)入收塵器內(nèi)部，經(jīng)三級過濾后排回室內(nèi)空間。真空收塵器-吸塵器穿好潔凈服，頭發(fā)不能外露不準(zhǔn)使用鉛筆和普通紙張，進(jìn)入要清潔嚴(yán)格注意個人清潔、養(yǎng)成良好衛(wèi)生習(xí)慣傳染病和呼吸道疾病患者，嚴(yán)禁入內(nèi)原則上不串門，限制室內(nèi)最高人數(shù)潔凈室操作人員注意事項潔凈工作臺潔凈室內(nèi)各處潔凈度要求不盡相同，不同工序要求的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)不同，此時需要在保證潔凈室等級基礎(chǔ)上，滿足局部潔凈度要求。潔凈工作臺可分為循環(huán)式和直流式；亂流（紊流）式和平行流式每天打掃環(huán)境衛(wèi)生，使用前提前開啟風(fēng)機(jī)吹污操作區(qū)為層流區(qū)時，出風(fēng)面和加工面不能有阻擋物操作者嚴(yán)格按清潔規(guī)程做好個人衛(wèi)生清