集成電路制造工藝 課件 9.4 純水制備_第1頁
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集成電路制造工藝

--純水制備單位：江蘇信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院微電子教研室第九章潔凈技術(shù)潔凈設(shè)備清洗技術(shù)潔凈技術(shù)等級標(biāo)準(zhǔn)純水制備本章要點(diǎn)第九章潔凈技術(shù)潔凈設(shè)備清洗技術(shù)潔凈技術(shù)等級標(biāo)準(zhǔn)純水制備本章要點(diǎn)§9.4純水制備去離子水中雜質(zhì)及有機(jī)物標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目電阻率塵埃量最大塵埃顆粒總電解度有機(jī)物要求≥18MΩ?cm（25℃）≤100-150個(gè)/ml≤0.5μmNaCl：≤35×10-9≤1×10-6項(xiàng)目溶存氣體SiO2氧化物硝酸根磷酸根要求≤200×10-6≤2×10-9≤≤0.2×10-9≤0.5×10-9≤0.5×10-9項(xiàng)目CuAlKNaFe要求≤0.1×10-9≤0.5×10-9≤0.5×10-9≤1×10-9≤0.1×10-9項(xiàng)目CrMgZn硫酸根微生物要求≤0.1×10-9≤0.5×10-9≤0.1×10-9≤1×10-910個(gè)/ml離子交換技術(shù)含有離子的水，經(jīng)過離子交換樹脂時(shí)，水中的離子被樹脂吸收，而樹脂上的可交換離子（H+或OH－）被解吸，交換到水中，形成去離子水（含有雜質(zhì)離子已經(jīng)被除去）稱為DI。交換樹脂的工作原理：Na++R－SO3－H+?R－SO3－Na++H+Cl－+R≡Na+OH－?R≡Na+Cl－+OH－反滲透技術(shù)滲透是指較淡的溶液會透過薄膜滲透到較濃的中反滲透是在濃溶液一邊加一定的壓力（10~15MPa），使?jié)B透方向反過來，即把濃溶液壓到淡溶液那邊去。水中鹽類離子（金屬離子或非金屬離子）被薄膜吸附（截流），從而到達(dá)另一邊去的水就是去離子水。電滲析技術(shù)“電滲析”是利用滲析原理，借助離子交換膜進(jìn)行水處理的方法。離子交換膜是一種功能性膜，分為陰離子交換膜和陽離子交換膜，（簡稱陰膜和陽膜）。陽膜只允許陽離子通過，陰膜只允許陰離子通過去離子水制備流程自來水粗過濾器RO裝置儲水箱循環(huán)泵混合去

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