(19)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(12)發(fā)明專利(65)同一申請的已公布的文獻(xiàn)號(hào)(30)優(yōu)先權(quán)數(shù)據(jù)(86)PCT國際申請的申請數(shù)據(jù)PCT/JP2020/0290232020(87)PCT國際申請的公布數(shù)據(jù)(74)專利代理機(jī)構(gòu)北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11018專利代理師崔今花周艷玲HO3H3/02(2006.01)HO3H9/19(2006.01)審查員王蘇(54)發(fā)明名稱壓電振動(dòng)板、壓電振動(dòng)器件以及壓電振動(dòng)器件的制造方法本發(fā)明具備：形成在壓電基板的兩個(gè)主面上裝端子具有：形成在壓電基板上的包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜；以及在該安裝用金屬膜上21.一種壓電振動(dòng)板，具備：俯視為矩形的壓電基板；形成在該壓電基板的兩個(gè)主面上的第一、第二激發(fā)電極；以及在所述壓電基板的沿所述俯視為矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部中與所述第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，所述第一、第二安裝端子具有：形成在所述壓電基板上的包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜；以及在所述安裝用金屬膜上以與所述第一、第二激發(fā)電極分別相連的方式形成的構(gòu)成所述第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜，在所述安裝用金屬膜及該安裝用金屬膜上的所述激發(fā)用金屬膜中，以橫穿沿所述壓電基板的所述一組相對邊的方向的方式形成有分割槽，所述分割槽分割所述安裝用金屬膜的一部分及所述激發(fā)用金屬膜并且露出所述抗焊料金屬膜。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)板，其中，所述抗焊料金屬膜包括Ni及Ni合金中的至少一種。壓電振動(dòng)板，所述壓電振動(dòng)板具有形成在俯視為矩形的壓電基板的兩個(gè)主面上的第一、第二激發(fā)電極、和在所述壓電基板的沿所述俯視為矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部中與所述第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子；以及第一、第二密封部件，所述第一、第二密封部件以分別覆蓋所述壓電振動(dòng)板的所述第一、第二激發(fā)電極的方式與所述壓電振動(dòng)板的所述兩個(gè)主面分別接合，所述第一、第二密封部件中的至少一個(gè)密封部件是樹脂制的薄膜，所述壓電振動(dòng)板的所述第一、第二安裝端子具有：形成在所述壓電基板上的包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜；以及在所述安裝用金屬膜上以與所述第一、第二激發(fā)電極分別相連的方式形成的構(gòu)成所述第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜，在所述安裝用金屬膜及該安裝用金屬膜上的所述激發(fā)用金屬膜中，以橫穿沿所述壓電基板的所述一組相對邊的方向的方式形成有分割槽，所述分割槽分割所述安裝用金屬膜的一部分及所述激發(fā)用金屬膜并且露出所述抗焊料金屬膜。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述第一、第二密封部件這兩個(gè)密封部件是所述樹脂制的薄膜。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述樹脂制的薄膜以覆蓋所述分割槽的方式與所述壓電振動(dòng)板接合。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述樹脂制的薄膜以覆蓋所述分割槽的方式與所述壓電振動(dòng)板接合。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述壓電振動(dòng)板具有：在所述壓電基板的兩個(gè)主面上分別形成有所述第一、第二激發(fā)電極的振動(dòng)部；以及與該振動(dòng)部通過連結(jié)部連結(jié)的外框部，所述外框部隔開間隔包圍比該外框部薄的所述振動(dòng)部的外周，所述薄膜的周端部與所述外框部接合來密封所述振動(dòng)部。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述壓電振動(dòng)板具有：在所述壓電基板的兩個(gè)主面上分別形成有所述第一、第二激發(fā)電極的振動(dòng)部；以及與該振動(dòng)部通過連結(jié)部連結(jié)的外框部，所述外框部隔開間隔包圍比該外框部薄的所述振動(dòng)部的外周，所述薄膜的周端部與所述外框部接合來密封所述振動(dòng)部。9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述壓電振動(dòng)板具有：在所述壓電基板3的兩個(gè)主面上分別形成有所述第一、第二激發(fā)電極的振動(dòng)部；以及與該振動(dòng)部通過連結(jié)部連結(jié)的外框部，所述外框部隔開間隔包圍比該外框部薄的所述振動(dòng)部的外周，所述薄膜的周端部與所述外框部接合來密封所述振動(dòng)部。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述壓電振動(dòng)板具有：在所述壓電基板的兩個(gè)主面上分別形成有所述第一、第二激發(fā)電極的振動(dòng)部；以及與該振動(dòng)部通過連結(jié)部連結(jié)的外框部，所述外框部隔開間隔包圍比該外框部薄的所述振動(dòng)部的外周，所述薄膜的周端部與所述外框部接合來密封所述振動(dòng)部。11.根據(jù)權(quán)利要求7至10中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器件，其中，在所述外框部的兩個(gè)主面中的一個(gè)主面上形成有第一密封圖案，所述第一密封圖案連接所述第一激發(fā)電極與所述第一安裝端子，所述第一密封圖案包圍所述振動(dòng)部且與所述薄膜接合，在所述外框部的所述兩個(gè)主面中的另一個(gè)主面上形成有第二密封圖案，所述第二密封圖案連接所述第二激發(fā)電極與所述第二安裝端子，所述第二密封圖案包圍所述振動(dòng)部且與所述薄膜接合。12.根據(jù)權(quán)利要求7至10中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述第一、第二安裝端子分別形成在所述外框部的兩個(gè)主面上，所述兩個(gè)主面的所述第一安裝端子之間彼此連接，并且所述兩個(gè)主面的所述第二安裝端子之間彼此連接。13.根據(jù)權(quán)利要求3至10中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)器件，其中，所述抗焊料金屬膜包括Ni及Ni合金中的至少一種。14.一種壓電振動(dòng)器件的制造方法，為了制造壓電振動(dòng)板而預(yù)先準(zhǔn)備壓電晶圓，所述壓電振動(dòng)板具有：形成在俯視為矩形的壓電基板的兩個(gè)主面上的第一、第二激發(fā)電極；和在所述壓電基板的沿所述俯視為矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部中與所述第一、第二激發(fā)電極分別連接的所述壓電振動(dòng)器件的制造方法包括：外形形成工序，在所述壓電晶圓上形成多個(gè)壓電基板的外形；安裝用金屬膜形成工序，在所述外形形成工序中形成的多個(gè)壓電基板上，對包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜進(jìn)行圖案化，從而在成為所述第一、第二安裝端子的區(qū)域形成所述安裝用金屬膜；金屬膜形成工序，在所述安裝用金屬膜形成工序中形成有安裝用金屬膜的多個(gè)所述壓電基板上及所述安裝用金屬膜上，對激發(fā)用金屬膜進(jìn)行圖案化，從而在成為所述第一、第二安裝端子的區(qū)域及成為所述第一、第二激發(fā)電極的區(qū)域形成激發(fā)用金屬膜來構(gòu)造壓電振動(dòng)接合工序，在所述金屬膜形成工序中形成有激發(fā)用金屬膜的多個(gè)所述壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面中的至少一個(gè)主面上接合樹脂制的薄膜來密封所述第一、第二激發(fā)電極中的至少一單片化工序，使在所述接合工序中接合有所述薄膜的各壓電振動(dòng)板單片化，在所述金屬膜形成工序中，在成為所述第一、第二安裝端子的區(qū)域的所述安裝用金屬膜上，以與成為所述第一、第二激發(fā)電極的區(qū)域的激發(fā)用金屬膜分別相連的方式形成所述激發(fā)用金屬膜，在所述金屬膜形成工序中，在所述安裝用金屬膜及形成在該安裝用金屬膜上的激發(fā)用4金屬膜中，以橫穿沿所述壓電基板的所述一組相對邊的方向的方式形成分割槽，所述分割槽分割所述安裝用金屬膜的一部分及所述激發(fā)用金屬膜并且露出所述抗焊料金屬膜。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓電振動(dòng)器件的制造方法，其中，在所述接合工序中，在所述金屬膜形成工序中形成有激發(fā)用金屬膜的多個(gè)所述壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面上分別接合所述樹脂制的薄膜來分別密封所述第一、第二激發(fā)電極。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的壓電振動(dòng)器件的制造方法，其中，在所述接合工序中，將所述樹脂制的薄膜以覆蓋所述分割槽的方式接合到所述壓電振動(dòng)板。5壓電振動(dòng)板、壓電振動(dòng)器件以及壓電振動(dòng)器件的制造方法技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及具備安裝端子的壓電振動(dòng)板、使用該壓電振動(dòng)板的壓電振動(dòng)器件以及壓電振動(dòng)器件的制造方法。背景技術(shù)[0002]作為壓電振動(dòng)器件，例如作為壓電振子，廣泛使用表面安裝型的水晶振子。該表面安裝型的水晶振子例如如專利文獻(xiàn)1所記載的那樣，通過導(dǎo)電性粘接劑將從水晶振動(dòng)片的兩面的激發(fā)電極導(dǎo)出的電極固定在由陶瓷構(gòu)成且上表面開口的箱型的底座內(nèi)的保持電極上，從而將水晶振動(dòng)片搭載在底座上。在如此搭載了水晶振動(dòng)片的底座的開口處，接合蓋體進(jìn)行氣密密封。另外，在底座的外底面上形成有用于表面安裝該水晶振子的安裝端子。[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-184325號(hào)公報(bào)[0004]如上所述，由于壓電振子的大部分是在陶瓷制的底座上接合金屬制或玻璃制的蓋體而構(gòu)成的封裝體，因此封裝體變得昂貴，壓電振子變得昂貴。[0005]在表面安裝型的壓電振子中，由于其安裝端子通過焊料等接合材料與電路基板等接合而安裝，因此需要避免因構(gòu)成安裝端子的金屬擴(kuò)散到附著的焊料而產(chǎn)生的所謂的焊料腐蝕而導(dǎo)致的導(dǎo)通不良。發(fā)明內(nèi)容[0006]本發(fā)明是有鑒于上述問題而完成的，其目的在于提供一種不產(chǎn)生導(dǎo)通不良而且廉價(jià)的壓電振動(dòng)板以及壓電振動(dòng)器件。[0008](1)本發(fā)明的壓電振動(dòng)板，具備：俯視為大致矩形的壓電基板；形成在該壓電基板的兩個(gè)主面上的第一、第二激發(fā)電極；以及在所述壓電基板的沿所述俯視為大致矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部中與所述第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，所述第一、第二安裝端子具有：形成在所述壓電基板上的包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜；以及在所述安裝用金屬膜上以與所述第一、第二激發(fā)電極分別相連的方式形成的構(gòu)成所述第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜。[0009]根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)板，由于通過焊料等接合材料與電路基板等接合的第一、第二安裝端子具有包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜，因此通過安裝用金屬膜的抗焊料金屬膜，能夠抑制焊料腐蝕擴(kuò)散來防止導(dǎo)通不良，另一方面，由于在第一、第二安裝端子的安裝用金屬膜上，構(gòu)成第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜以與第一、第二激發(fā)電極分別相連[0010]另外，由于壓電振動(dòng)板具有與第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，因此不需要像以往那樣在具有安裝端子且上表面開口的箱型的底座內(nèi)收納搭載壓電振[0011](2)在本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式中，在所述安裝用金屬膜及該安裝用金屬膜上的6所述激發(fā)用金屬膜中，通過分割所述安裝用金屬膜的一部分及所述激發(fā)用金屬膜，以橫穿沿所述壓電基板的所述一組相對邊的方向的方式形成有露出所述抗焊料金屬膜的分割槽。[0012]安裝端子設(shè)置在壓電基板的沿俯視為大致矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部，根據(jù)該實(shí)施方式，兩端部的安裝端子的安裝用金屬膜的一部分及激發(fā)用金屬膜通過露出抗焊料金屬膜的分割槽以橫穿沿所述相對邊的方向的方式被分割。[0013]因此，在俯視為大致矩形的壓電基板中，各端部的安裝端子的安裝用金屬膜的一部分及激發(fā)用金屬膜以分割槽為邊界，被分割為沿所述相對邊的方向的靠近外側(cè)的區(qū)域和靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域。[0014]由此，能夠通過露出抗焊料金屬膜的分割槽來抑制在安裝端子的安裝用金屬膜和激發(fā)用金屬膜的靠近外側(cè)的區(qū)域中產(chǎn)生的焊料腐蝕向靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域擴(kuò)散。[0015](3)在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述抗焊料金屬膜包括Ni及Ni合金中的至少一[0016]根據(jù)該實(shí)施方式，通過包括Ni及Ni合金中的至少一種的抗焊料金屬膜，能夠抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散。[0017](4)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器件，具備：壓電振動(dòng)板，所述壓電振動(dòng)板具有形成在俯視為大致矩形的壓電基板的兩個(gè)主面上的第一、第二激發(fā)電極、和在所述壓電基板的沿所述俯視為大致矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部中與所述第一、第二激發(fā)分別覆蓋所述壓電振動(dòng)板的所述第一、第二激發(fā)電極的方式與所述壓電振動(dòng)板的所述兩個(gè)主面分別接合，所述第一、第二密封部件中的至少一個(gè)密封部件是樹脂制的薄膜，所述壓電振動(dòng)板的所述第一、第二安裝端子具有：形成在所述壓電基板上的包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜；以及在所述安裝用金屬膜上，以與所述第一、第二激發(fā)電極分別相連的方式形成的構(gòu)成所述第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜。[0018]根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器件，由于通過焊料等的接合材料與電路基板等接合的第一、第二安裝端子具有包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜，因此通過安裝用金屬膜的抗焊料金屬膜，能夠抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散來防止導(dǎo)通不良，另一方面，由于在第一、第二安裝端子的安裝用金屬膜上，構(gòu)成第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜以與第一、第二激發(fā)電極分別相連的方式形成，因此能夠?qū)⒌谝?、第二安裝端子分別連接到第一、第二激[0019]另外，由于壓電振動(dòng)板具有與第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，因此不需要像以往那樣在具有安裝端子且上表面開口的箱型的底座內(nèi)收納搭載壓電振[0020]進(jìn)而，由于與壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面分別接合的第一、第二密封部件中的至少一個(gè)密封部件是樹脂制的薄膜，因此與用金屬制或玻璃制的蓋體密封的結(jié)構(gòu)相比，能夠降低[0021](5)在本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述第一、第二密封部件這兩個(gè)密封部件是所述樹脂制的薄膜。[0022]根據(jù)該實(shí)施方式，由于用樹脂制的薄膜構(gòu)造兩個(gè)密封部件，因此不需要昂貴的底[0023](6)在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，在所述安裝用金屬膜及該安裝用金屬膜上的所7述激發(fā)用金屬膜中，通過分割所述安裝用金屬膜的一部分及所述激發(fā)用金屬膜，以橫穿沿所述壓電基板的所述一組相對邊的方向的方式形成有露出所述抗焊料金屬膜的分割槽。[0024]安裝端子設(shè)置在壓電基板的沿俯視為大致矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部，根據(jù)該實(shí)施方式，兩端部的安裝端子的安裝用金屬膜的一部分及激發(fā)用金屬膜通過分割槽以橫穿沿所述相對邊的方向的方式被分割。因此，在俯視為大致矩形的壓電基板中，各端部的安裝端子的安裝用金屬膜的一部分及激發(fā)用金屬膜以分割槽為邊界，被分割為沿所述相對邊的方向的靠近外側(cè)的區(qū)域和靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域。[0025]由此，能夠通過露出抗焊料金屬膜的分割槽來抑制在安裝端子的安裝用金屬膜和激發(fā)用金屬膜的靠近外側(cè)的區(qū)域中產(chǎn)生的焊料腐蝕向靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域擴(kuò)散。[0026](7)在本發(fā)明的又一實(shí)施方式中，所述樹脂制的薄膜以覆蓋所述分割槽的方式與所述壓電振動(dòng)板接合。[0027]根據(jù)該實(shí)施方式，由于樹脂制的薄膜以覆蓋壓電振動(dòng)板的安裝端子的分割槽的方式接合，因此能夠防止用于將安裝端子接合到電路基板等的焊料進(jìn)入安裝端子的分割槽內(nèi)，能夠通過分割槽有效地抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散。[0028](8)在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述壓電振動(dòng)板具有：在所述壓電基板的兩個(gè)主面上分別形成有所述第一、第二激發(fā)電極的振動(dòng)部；以及與該振動(dòng)部通過連結(jié)部連結(jié)的外框部，所述外框部隔開間隔包圍比該外框部薄的所述振動(dòng)部的外周，所述薄膜的周端部與所述外框部接合來密封所述振動(dòng)部。[0029]根據(jù)該實(shí)施方式，通過在包圍振動(dòng)部的外周的外框部接合薄膜的周端部，從而在不接觸與外框部接合的薄膜的情況下，能夠密封比外框部薄的振動(dòng)部。[0030](9)在本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，在所述外框部的兩個(gè)主面中的一個(gè)主面上形成有第一密封圖案，所述第一密封圖案連接所述第一激發(fā)電極與所述第一安裝端子，所述第一密封圖案包圍所述振動(dòng)部且與所述薄膜接合，在所述外框部的所述兩個(gè)主面中的另一個(gè)主面上形成有第二密封圖案，所述第二密封圖案連接所述第二激發(fā)電極與所述第二安裝端子，所述第二密封圖案包圍所述振動(dòng)部且與所述薄膜接合。[0031]根據(jù)該實(shí)施方式，通過在外框部的兩個(gè)主面上分別形成的第一、第二密封圖案，能夠分別電連接第一、第二激發(fā)電極與第一、第二安裝端子，并且能夠?qū)⒈∧し謩e牢固地接合到包圍振動(dòng)部的第一、第二密封圖案來密封振動(dòng)部。[0032](10)在本發(fā)明的又一實(shí)施方式中，所述第一、第二安裝端子分別形成在所述外框部的兩個(gè)主面上，所述兩個(gè)主面的所述第一安裝端子之間彼此連接，并且所述兩個(gè)主面的所述第二安裝端子之間彼此連接。[0033]根據(jù)該實(shí)施方式，由于兩個(gè)主面的各安裝端子之間分別電連接，因此當(dāng)將該壓電振動(dòng)器件安裝到電路基板等時(shí)，可以在兩個(gè)主面中的任意一個(gè)面上安裝。[0034](11)在本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述抗焊料金屬膜包括Ni及Ni合金中的至少一種。[0035]根據(jù)該實(shí)施方式，通過包括Ni及Ni合金中的至少一種的抗焊料金屬膜，能夠抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散。[0036](12)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器件的制造方法，為了制造壓電振動(dòng)板而預(yù)先準(zhǔn)備壓電晶圓，所述壓電振動(dòng)板具有：形成在俯視為大致矩形的壓電基板的兩個(gè)主面上的第一、第二激8發(fā)電極；和在所述壓電基板的沿所述俯視為大致矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部中與所述第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，所述壓電振動(dòng)器件的制造方法包括：外形形成工序，在所述壓電晶圓上形成多個(gè)壓電基板的外形；安裝用金屬膜形成工序，在所述外形形成工序中形成的多個(gè)壓電基板上，對包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜進(jìn)行圖案化，從而在成為所述第一、第二安裝端子的區(qū)域形成所述安裝用金屬膜；金屬膜形成工序，在所述安裝用金屬膜形成工序中形成有安裝用金屬膜的多個(gè)所述壓電基板上及所述安裝用金屬膜上，對激發(fā)用金屬膜進(jìn)行圖案化，從而在成為所述第一、第二安裝端子的區(qū)域及成為所述第一、第二激發(fā)電極的區(qū)域形成激發(fā)用金屬膜來構(gòu)造壓電振動(dòng)板；接合工序，在所述金屬膜形成工序中形成有激發(fā)用金屬膜的多個(gè)所述壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面中的至少一個(gè)主面上接合樹脂制的薄膜來密封所述第一、第二激發(fā)電極中的至少一個(gè)激發(fā)電極；以及單片化工序，使在所述接合工序中接合有所述薄膜的各壓電振動(dòng)板單片化，在所述金屬膜形成工序中，在成為所述第一、第二安裝端子的區(qū)域的所述安裝用金屬膜上，以與成為所述第一、第二激發(fā)電極的區(qū)域的激發(fā)用金屬膜分別相連的方式形成所述激發(fā)用金屬膜。[0037]根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)器件的制造方法，由于在安裝用金屬膜形成工序中，在壓電基板上的成為第一、第二安裝端子的區(qū)域形成安裝用金屬膜，在金屬膜形成工序中，在壓電基板上及抗焊料金屬膜上的成為第一、第二安裝端子的區(qū)域及成為所述第一、第二激發(fā)電極的區(qū)域形成激發(fā)用金屬膜，并且在安裝用金屬膜上，以與成為第一、第二激發(fā)電極的區(qū)域的激發(fā)用金屬膜分別相連的方式形成激發(fā)用金屬膜，因此通過第一、第二安裝端子的安裝用金屬膜的抗焊料金屬膜，能夠抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散來防止導(dǎo)通不良，另一方面，通過激[0038]另外，由于壓電振動(dòng)板具有與第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，因此不需要像以往那樣在具有安裝端子且上表面開口的箱型的底座內(nèi)收納搭載壓電振[0039]進(jìn)而，由于在接合工序中，在多個(gè)所述壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面中的至少一個(gè)主面上接合樹脂制的薄膜來密封，因此與用金屬制或玻璃制的蓋體密封的結(jié)構(gòu)相比，能夠降低[0040](13)對于本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式來說，在所述接合工序中，在所述金屬膜形成工序中形成有激發(fā)用金屬膜的多個(gè)所述壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面上分別接合所述樹脂制的薄膜來分別密封所述第一、第二激發(fā)電極。[0041]根據(jù)該實(shí)施方式，由于在壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面上分別接合樹脂制的薄膜來密封，因此不需要昂貴的底座及蓋體，能夠進(jìn)一步降低成[0042](14)對于本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式來說，在所述金屬膜形成工序中，在所述安裝用金屬膜及形成在該安裝用金屬膜上的激發(fā)用金屬膜中，通過分割所述安裝用金屬膜的一部分及所述激發(fā)用金屬膜，以橫穿沿所述壓電基板的所述一組相對邊的方向的方式形成露出所述抗焊料金屬膜的分割槽。[0043]安裝端子設(shè)置在壓電基板的沿俯視為大致矩形的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向的兩端部，根據(jù)該實(shí)施方式，兩端部的安裝端子的安裝用金屬膜的一部分及激發(fā)用金屬膜通過露出抗焊料金屬膜的分割槽以橫穿沿所述相對邊的方向的方式被分割。因此，9在俯視為大致矩形的壓電基板中，各端部的安裝端子的安裝用金屬膜的一部分及激發(fā)用金屬膜以分割槽為邊界，被分割為沿所述相對邊的方向的靠近外側(cè)的區(qū)域和靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)[0044]由此，能夠通過露出抗焊料金屬膜的分割槽來抑制在安裝端子的安裝用金屬膜和激發(fā)用金屬膜的靠近外側(cè)的區(qū)域中產(chǎn)生的焊料腐蝕向靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域擴(kuò)散。[0045](15)對于本發(fā)明的又一實(shí)施方式來說，在所述接合工序中，將所述樹脂制的薄膜以覆蓋所述分割槽的方式接合到所述壓電振動(dòng)板。[0046]根據(jù)該實(shí)施方式，由于樹脂制的薄膜以覆蓋壓電振動(dòng)板的安裝端子的分割槽的方式被接合，因此能夠防止用于將安裝端子接合到電路基板等的焊料進(jìn)入安裝端子的分割槽內(nèi)，能夠通過分割槽有效地抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散。[0047]根據(jù)本發(fā)明，由于通過焊料等的接合材料接合到電路基板等的第一、第二安裝端子具有包括抗焊料金屬膜的安裝用金屬膜，因此通過安裝用金屬膜的抗焊料金屬膜，能夠抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散來防止導(dǎo)通不良，另一方面，由于在第一、第二安裝端子的安裝用金屬膜上，構(gòu)成第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜以與第一、第二激發(fā)電極分別相連的方式形成，因此能夠?qū)⒌谝?、第二安裝端子分別連接到第一、第二激發(fā)電極。[0048]另外，由于壓電振動(dòng)板具有與第一、第二激發(fā)電極分別連接的第一、第二安裝端子，因此不需要像以往那樣在具有安裝端子且上表面開口的箱型的底座內(nèi)收納搭載壓電振動(dòng)片，不需要昂貴的底座。[0049]另外，由于分別接合到壓電振動(dòng)板的兩個(gè)主面上的第一、第二密封部件中的至少一個(gè)密封部件是樹脂制的薄膜，因此與由金屬制或玻璃制的蓋體密封的結(jié)構(gòu)相比，能夠降低成本。附圖說明[0050]圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的水晶振子的概略立體圖。[0051]圖2是圖1的水晶振子的概略俯視圖。[0052]圖3是沿圖2的A-A線的概略剖視圖。[0053]圖4是圖1的水晶振子的概略仰視圖。[0054]圖5是放大了圖3的表示金屬膜結(jié)構(gòu)的概略剖視圖。[0055]圖6是將圖5的矩形部分A放大的同時(shí)上下反轉(zhuǎn)的剖視圖。[0056]圖7A是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0057]圖7B是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0058]圖7C是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0059]圖7D是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0060]圖7E是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0061]圖7F是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0062]圖7G是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0063]圖7H是表示圖1的水晶振子的制造工序的概略剖視圖。[0064]圖8是構(gòu)成本發(fā)明的另一實(shí)施方式所涉及的水晶振子的水晶振動(dòng)板的概略俯視[0065]圖9是圖8的水晶振動(dòng)板的概略仰視圖。具體實(shí)施方式作為壓電振動(dòng)器件的水晶振子來進(jìn)行說明。[0067]圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的水晶振子的概略立體圖，圖2是其概略俯視[0068]該實(shí)施方式的水晶振子1具備：作為壓電振動(dòng)板的AT切割的水晶振動(dòng)板2;作為第一密封部件的第一樹脂薄膜3,其覆蓋該水晶振動(dòng)板2的正背兩個(gè)主面中的一個(gè)主面?zhèn)炔⑦M(jìn)行密封；以及作為第二密封部件的第二樹脂薄膜4,其覆蓋水晶振動(dòng)板2的另一個(gè)主面?zhèn)炔⑦M(jìn)行密封。[0069]該水晶振子1呈長方體狀，俯視為矩形。該實(shí)施方式的水晶振子1在俯視中例如為1.2mm×1.0mm,厚度為0.2mm,實(shí)現(xiàn)小型化及低矮化。[0071]接著，對構(gòu)成水晶振子1的水晶振動(dòng)板2及第一、第二樹脂薄膜3、4這各結(jié)構(gòu)進(jìn)行說[0072]該實(shí)施方式的水晶振動(dòng)板2是使水晶板圍繞作為水晶的晶軸的X軸旋轉(zhuǎn)35°15′并[0073]在該XZ′平面中，俯視為矩形的水晶振動(dòng)板2的短邊方向(圖2、圖4的上下方向)為X軸方向，水晶振動(dòng)板2的長邊方向(圖2、圖4的左右方向)向(Z′軸方向)是沿俯視為矩形的水晶振動(dòng)板2的兩組相對邊之中的一組相對邊的方向。[0074]該水晶振動(dòng)板2具備：俯視為大致矩形的振動(dòng)部21、夾著貫穿部22包圍該振動(dòng)部21的周圍的外框部23、以及連結(jié)振動(dòng)部21與外框部23的連結(jié)部24.振動(dòng)部21、外框部23以及連結(jié)部24一體地形成。振動(dòng)部21和連結(jié)部24比外框部23形成得薄。即，振動(dòng)部21比外框部23薄。為了覆蓋該薄的振動(dòng)部21,通過將第一、第二樹脂薄膜3、4的周緣部接合到外框部23來形成內(nèi)部空間并密封。[0075]在該實(shí)施方式中，由于將俯視為大致矩形的振動(dòng)部21通過設(shè)置在其一個(gè)角部的一處的連結(jié)部24連結(jié)到外框部23,因此與通過在兩處以上連結(jié)的結(jié)構(gòu)相比，能夠降低作用于振動(dòng)部21的應(yīng)力。[0076]另外，在該實(shí)施方式中，連結(jié)部24從外框部23的內(nèi)周之中沿X軸方向的一邊突出，且沿著Z′軸方向形成。形成在水晶振動(dòng)板2的Z′軸方向的兩端部上的第一、第二安裝端子27、28通過焊料等直接接合到電路基板等上。因此，可以想到收縮應(yīng)力作用于水晶振子的長邊方向(Z′軸方向),由于該應(yīng)力傳播到振動(dòng)部，水晶振子的振蕩頻率容易變化。[0077]與此相對，在該實(shí)施方式中，由于在沿所述收縮應(yīng)力的方向上形成有連結(jié)部24,因此能夠抑制該收縮應(yīng)力傳播到振動(dòng)部21。其結(jié)果，能夠抑制將水晶振子1安裝到電路基板上時(shí)的振蕩頻率的變化。[0078]在振動(dòng)部21的正背兩個(gè)主面上分別形成有一對第一、第二激發(fā)電極25、26。在俯視11為矩形的水晶振動(dòng)板2的長邊方向(圖2～圖4的左右方向)的兩端部的外框部23上，沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向(圖2、圖4的上下方向)分別形成有分別連接到第一、第二激發(fā)電極電路基板等上的端子。[0079]如圖2所示，在兩個(gè)主面中的一個(gè)主面上，第一安裝端子27與后述的矩形環(huán)狀的第一密封圖案201相連設(shè)置，如圖4所示，在另一個(gè)主面上，第二安裝端子28與后述的矩形環(huán)狀的第二密封圖案202相連設(shè)置。[0080]這樣，第一、第二安裝端子27、28夾著振動(dòng)部21分別形成在水晶振動(dòng)板2的長邊方[0081]水晶振動(dòng)板2的兩個(gè)主面的第一安裝端子27之間及第二安裝端子28之間分別被電連接。在該實(shí)施方式中，兩個(gè)主面的第一安裝端子27之間及第二安裝端子28之間通過在水晶振動(dòng)板2的相對的長邊側(cè)的側(cè)面引繞的引繞電極分別被電連接，并且通過在水晶振動(dòng)板2的相對的短邊側(cè)的側(cè)面引繞的引繞電極分別被電連接。[0082]在水晶振動(dòng)板2的正面?zhèn)?，接合有第一樹脂薄?的第一密封圖案201以包圍大致矩形的振動(dòng)部21的方式形成為矩形環(huán)狀。該第一密封圖案201具備：與第一安裝端子27相連的連接部201a、從該連接部201a的兩端部沿著水晶振動(dòng)板2的長邊方向分別延伸的第一延伸部201b、201b、以及沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向延伸并連接各所述第一延伸部201b、201b的延伸端的第二延伸部201c。第二延伸部201c連接到從第一激發(fā)電極25引出的第一引出電極203。因此，第一安裝端子27通過第一密封圖案201及第一引出電極203電連接到第一激發(fā)電極25。在沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向延伸的第二延伸部201c與第二安裝端子28之間設(shè)置有未形成電極的無電極區(qū)域205a,實(shí)現(xiàn)第一密封圖案201與第二安裝端子28之間的絕緣。該無電極區(qū)域205a在第一密封圖案201的第二延伸部201c與第二安裝端子28之間構(gòu)成后述的絕緣槽36。[0083]如圖4所示，在水晶振動(dòng)板2的背面?zhèn)?，接合有第二樹脂薄?的第二密封圖案202以包圍大致矩形的振動(dòng)部21的方式形成為矩形環(huán)狀。該第二密封圖案202具備：與第二安裝端子28相連的連接部202a、從該連接部202a的兩端部沿著水晶振動(dòng)板2的長邊方向分別延伸的第一延伸部202b、202b、以及沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向延伸并連接各所述第一延伸部202b、202b的延伸端的第二延伸部202c。連接部202a連接到從第二激發(fā)電極26引出的第二引出電極204.因此，第二安裝端子28通過第二密封圖案202及第二引出電極204電連接到第二激發(fā)電極26。在沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向延伸的第二延伸部202c與第一安裝端子27之間設(shè)置有未形成電極的無電極區(qū)域206a,實(shí)現(xiàn)第二密封圖案202與第一安裝端子27之間的絕緣。該無電極區(qū)域206a在第二密封圖案202的第二延伸部202c與第一安裝端子27之間構(gòu)成后述的絕緣槽37。[0084]如圖2所示，第一密封圖案201的、沿著水晶振動(dòng)板2的長邊方向分別延伸的第一延伸部201b、201b的寬度窄于沿著所述長邊方向延伸的外框部23的寬度，在第一延伸部201b、201b的寬度方向(圖2的上下方向)的兩側(cè)設(shè)置有未形成電極的無電極區(qū)域205b、205b;[0085]在該第一延伸部201b、201b的兩側(cè)的無電極區(qū)域205b、205b;207b、207b之中，外側(cè)的無電極區(qū)域205b、205b的一端側(cè)延伸到第一安裝端子27,并且另一端側(cè)與第二安裝端子28和第二延伸部201c之間的無電極區(qū)域205a(36)相連。由此，第一密封圖案201的連接部201a、第一延伸部201b、201b及第二延伸部201c的外側(cè)被大致相等寬度的無電極區(qū)域包圍。該無電極區(qū)域從沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向延伸的連接部201a的一端的外側(cè)沿著一個(gè)第一延伸部201b延伸，并且從該一個(gè)第一延伸部201b的延伸端沿著第二延伸部201c延伸，并且從該第二延伸部201c的延伸端沿著另一個(gè)第一延伸部201b延伸到連接部201a的另一端的外側(cè)。[0086]在第一密封圖案201的連接部201a的寬度方向的內(nèi)側(cè)形成有無電極區(qū)域207a,該無電極區(qū)域207a的兩端與第一延伸部201b、201b的內(nèi)側(cè)的無電極區(qū)域207b、207b相連。在第二延伸部201c的寬度方向的內(nèi)側(cè)，除了連結(jié)部24的第一引出電極203以外形成有無電極區(qū)域207c,該無電極區(qū)域207c與第一延伸部201b、201b的內(nèi)側(cè)的無電極區(qū)域207b、207b相連。由此，第一密封圖案201的連接部201a、第一延伸部201b、201b及第二延伸部201c的寬度方向的內(nèi)側(cè)，除了連結(jié)部24的第一引出電極203以外，被俯視為矩形環(huán)狀的大致相等寬度的無[0087]如圖4所示，第二密封圖案202的、沿著水晶振動(dòng)板2的長邊方向分別延伸的第一延伸部202b、202b的寬度比沿著所述長邊方向延伸的外框部23的寬度窄，在第一延伸部202b、202b的寬度方向(圖4的上下方向)的兩側(cè)設(shè)置有未形成電極的無電極區(qū)域206b、206b;[0088]該第一延伸部202b、202b的兩側(cè)的無電極區(qū)域206b、206b;208b、208b之中，外側(cè)的無電極區(qū)域206b、206b的一端側(cè)延伸到第二安裝端子28,并且另一端側(cè)與第一安裝端子27和第二延伸部202c之間的無電極區(qū)域206a(37)相連。由此，第二密封圖案202的連接部202a、第一延伸部202b、202b及第二延伸部202c的外側(cè)被大致相等寬度的無電極區(qū)域包圍。該無電極區(qū)域從沿著水晶振動(dòng)板2的短邊方向延伸的連接部202a的一端的外側(cè)沿著一個(gè)第一延伸部202b延伸，并且從該一個(gè)第一延伸部202b的延伸端沿著第二延伸部202c延伸，并且從該第二延伸部202c的延伸端沿著另一個(gè)第一延伸部202b延伸到連接部202a的另一端的外側(cè)。[0089]在第二密封圖案202的連接部202a的寬度方向的內(nèi)側(cè)，除了連結(jié)部24的第二引出電極204以外，形成有無電極區(qū)域208a,該無電極區(qū)域208a的兩端與第一延伸部202b、202b的內(nèi)側(cè)的無電極區(qū)域208b、208b相連。在第二延伸部202c的寬度方向的內(nèi)側(cè)形成有無電極區(qū)域208c,該無電極區(qū)域208c與第一延伸部202b、202b的內(nèi)側(cè)的無電極區(qū)域208b、208b相連。由此，第二密封圖案202的連接部202a、第一延伸部202b、202b方向的內(nèi)側(cè)，除了連結(jié)部24的第二引出電極204以外，被俯視為矩形環(huán)狀的大致相等寬度的框部23的寬度窄，在第一延伸部201b、201b;202b、202b的寬度方向的兩側(cè)設(shè)置有無電極區(qū)域205b、207b;206b、208b,并且在連接部201a、202a及第二延伸部201c、202c的寬度方向的內(nèi)側(cè)設(shè)置有無電極區(qū)域207a、207c;208a、208c。所述無電極區(qū)域205b、207a、207b、207c;面的第一、第二密封圖案201、202進(jìn)行圖案化，并通過金屬蝕刻去除該第一、第二密封圖案短路。[0091]如上所述，由于兩個(gè)主面的第一安裝端子27之間及第二安裝端子28之間分別被電連接，因此在將該水晶振子1安裝到電路基板等上時(shí)，能夠在正背兩個(gè)主面中的任意一個(gè)面上安裝。[0092]分別接合到水晶振動(dòng)板2的正背兩個(gè)主面上并分別密封水晶振動(dòng)板2的振動(dòng)部21晶振動(dòng)板2的除了長邊方向的兩端部的第一、第二安裝端子27、28以外的矩形區(qū)域的尺寸，[0093]在該實(shí)施方式中，第一、第二樹脂薄膜3、4為耐熱性的樹脂薄膜，例如為聚酰亞胺樹脂制的薄膜，具有300℃左右的耐熱性。該聚酰亞胺樹脂制的第一、第二樹脂薄膜3、4是透[0094]第一、第二樹脂薄膜3、4不僅限于聚酰亞胺樹脂，也可以使用被分類為超級(jí)工程塑料的樹脂，例如聚酰胺樹脂或聚醚醚酮樹脂等。[0095]第一、第二樹脂薄膜3、4在正背兩面的整面上形成有熱塑性的粘接層。該第一、第二樹脂薄膜3、4的矩形的周端部例如通過熱壓分別加熱壓接到水晶振動(dòng)板2的正背兩個(gè)主[0096]這樣，由于第一、第二樹脂薄膜3、4為耐熱性的樹脂薄膜，因此能夠承受將該水晶振子1焊接安裝到電路基板等上時(shí)的焊料回流處理的高溫，第一、第二樹脂薄膜3、4不會(huì)變形等。[0097]在該實(shí)施方式中，當(dāng)將水晶振子1焊接安裝到電路基板等上時(shí)，構(gòu)成第一、第二安裝端子27、28的層疊金屬膜的Au會(huì)擴(kuò)散到附著在第一、第二安裝端子27、28上的焊料中而產(chǎn)[0098]圖5是為了示出第一、第二激發(fā)電而放大上述圖3后的概略剖視圖。圖6是放大了圖5中的矩形的部分A的圖，是使圖5的上下反轉(zhuǎn)而使作為水晶基板側(cè)的外框部23向下方的圖，對金屬膜進(jìn)行了陰影處理。[0099]各安裝端子27、28具備形成在構(gòu)成水晶振動(dòng)板2的水晶基板上的安裝用金屬膜13和形成在該安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14。[0100]該實(shí)施方式的安裝用金屬膜13具有作為基底膜的Ti膜30、作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31、以及提高焊料潤濕性的Au膜32?？购噶辖饘倌げ幌抻贜i·Ti合金膜31,也[0101]安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14具備Ti膜33、Au膜34和Ti膜35。該激發(fā)用金[0102]由于第一、第二安裝端子27、28的安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14的最上層[0103]激發(fā)用金屬膜14是與第一、第二激發(fā)電極25、26相同的膜結(jié)構(gòu)，第一、第二安裝端子27、28的安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14分別與構(gòu)成第一、第二激發(fā)電極的激發(fā)用金屬膜14相連形成。[0104]因此，將第一安裝端子27與第一激發(fā)電極25電連接的第一引出電極203和第一密封圖案201也由激發(fā)用金屬膜14構(gòu)成。同樣，將第二安裝端子28與第二激發(fā)電極26電連接的第二引出電極204和第二密封圖案202也由激發(fā)用金屬膜14構(gòu)成。[0105]在水晶振動(dòng)板2的作為兩個(gè)主面中的一個(gè)主面的正面?zhèn)龋纬捎袠?gòu)成用于使第一密封圖案201與第二安裝端子28絕緣的上述無電極區(qū)域205a的絕緣槽36,在水晶振動(dòng)板2的作為另一個(gè)主面的背面?zhèn)?，形成有?gòu)成用于使第二密封圖案202與第一安裝端子27絕緣的上述無電極區(qū)域206a的絕緣槽37。[0106]在與背面?zhèn)鹊慕^緣槽37(206a)正背對應(yīng)的位置上的第一安裝端子27上形成有分割槽38,該分割槽38將作為第一安裝端子27的安裝用金屬膜13的一部分的Au膜32和安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14沿水晶振動(dòng)板2的長邊方向(圖5的左右方向)分割為內(nèi)外并使作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31露出。同樣，在與正面?zhèn)鹊慕^緣槽36(205a)正背對應(yīng)的位置上的第二安裝端子28上形成有分割槽39,該分割槽39將作為第一安裝端子28的安裝用金屬膜13的一部分的Au膜32和安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14沿水晶振動(dòng)板2的長邊方向(圖5、圖6的左右方向)分割為內(nèi)外并使作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31露以與所述長邊方向正交的方式形成。[0108]如圖5所示，分割槽38將第一安裝端子27的安裝用金屬膜13的Au膜32及激發(fā)用金屬膜14分割為靠近外側(cè)的區(qū)域，即靠近所述長邊方向的一個(gè)邊緣的區(qū)域(圖5的靠近左側(cè)的區(qū)域)和靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域，即靠近振動(dòng)部21的區(qū)域(圖5的靠近右側(cè)的區(qū)域)。同樣，分割槽39將第二安裝端子28的安裝用金屬膜13的Au膜32及激發(fā)用金屬膜14分割為靠近外側(cè)的區(qū)域，即靠近所述長邊方向的另一個(gè)邊緣的區(qū)域(圖5的靠近右側(cè)的區(qū)域)和靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域，即靠近振動(dòng)部21的區(qū)域(圖5的靠近左側(cè)的區(qū)域)。因?qū)倌?3的Au膜32及激發(fā)用金屬膜14被作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31露出的分割槽38、39分別分割為靠近外側(cè)的區(qū)域和靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域。[0109]由此，即使產(chǎn)生第一、第二安裝端子27、28的靠近外側(cè)的區(qū)域的安裝用金屬膜13的Au膜32或激發(fā)用金屬膜14的Au膜34的焊料腐蝕，也能夠通過露出作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31的分割槽38、39來抑制焊料腐蝕向與分割槽38、39相比更靠振動(dòng)部21側(cè)的內(nèi)側(cè)區(qū)域擴(kuò)散。[0110]另外，由于第一、第二安裝端子27、28通過絕緣槽36(205a)、37(206a)與內(nèi)側(cè)的金屬膜完全分離，因此即使產(chǎn)生第一、第二安裝端子27、28的安裝用金屬膜13的Au膜32或激發(fā)用金屬膜14的Au膜34的焊料腐蝕，也能夠防止焊料腐蝕向作為振動(dòng)部21側(cè)的內(nèi)側(cè)擴(kuò)散。[0111]進(jìn)而，由于第一、第二樹脂薄膜3、4以分別覆蓋位于正背面中對應(yīng)位置的絕緣槽36(205a)、37(206a)及分割槽38、39的方式，分別接合到水晶振動(dòng)板焊料不會(huì)浸入絕緣槽36(205a)、37(206a)和分割槽38、39的內(nèi)部。由此，能夠防止絕緣槽36[0112]接著，對該實(shí)施方式的水晶振子1的制造方法進(jìn)行說明。[0114]首先，準(zhǔn)備圖7A所示的加工前的水晶晶圓(AT切割水晶板)5.對于該水晶晶圓5,使用光刻技術(shù)和蝕刻技術(shù)，例如進(jìn)行濕法蝕刻，如圖7B所示那樣形成多個(gè)水晶基板部分2a及支撐它們的框架部分(未圖示)等的外形，進(jìn)而在水晶基板部分2a中形成外框部23a、比外框部23a薄的振動(dòng)部21a等的外形，即進(jìn)行外形形成工序。[0115]接著，如圖7C所示，通過濺射技的整面上形成包括作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜30的安裝用金屬膜13。[0116]進(jìn)而，如圖7D所示，實(shí)施用于進(jìn)行安裝用金屬膜13的圖案化的安裝用金屬膜形成工序，去除除了第一、第二安裝端子27a、28a以外的振動(dòng)部21a及絕緣槽36部分的金屬膜。[0117]接著，如圖7E所示，通過濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)、以及光刻技術(shù)，在水晶基板部分2a的整面上形成激發(fā)用金屬膜14。[0118]進(jìn)而，如圖7F所示，進(jìn)行金屬膜形成工序，即進(jìn)行去除激發(fā)用金屬膜14中不需要部分的激發(fā)用金屬膜14的圖案化，形成絕緣槽36、37及分割槽38、39來構(gòu)造[0119]在該實(shí)施方式中，進(jìn)而如圖7G所示那樣進(jìn)行接合工序，即以用連續(xù)的樹脂薄膜3a、4a分別覆蓋水晶基板部分2a的正背兩個(gè)主面的方式加熱壓接樹脂薄膜3a、4a,以密封各水晶基板部分2a的各振動(dòng)部21a。[0120]利用該樹脂薄膜3a、4a對各振動(dòng)部21a進(jìn)行的密封在氮?dú)獾榷栊詺怏w氣氛中進(jìn)行。安裝端子27、28的一部分露出的方式切割連續(xù)的各樹脂薄膜3a、4a并去除不需要的部分，分離各水晶振動(dòng)板2使其單片化。[0123]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，由于通過焊接而被接合到電路基板等上的第一、第二安裝端子27、28具有包括作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31的安裝用金屬膜13,因此即使產(chǎn)生因安裝用金屬膜13的Au膜32或安裝用金屬膜13上的激發(fā)用金屬膜14的Au膜34擴(kuò)散到焊料而產(chǎn)生的所謂的焊料腐蝕，也能夠通過Ni·Ti合金膜31抑制焊料腐蝕的擴(kuò)散，能夠防止產(chǎn)生導(dǎo)通不良。[0124]另外，由于在第一、第二安裝端子27、28的安裝用金屬膜13及該安的激發(fā)用金屬膜14上，通過分割安裝用金屬膜13的Au膜32及激發(fā)用金屬膜14,以直角橫穿水晶振動(dòng)板2的長邊方向的方式形成有露出作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31的分割槽38、39,因此各安裝端子27、28的安裝用金屬膜13的Au膜32及激發(fā)用金屬膜14被分割為作為靠近所述長邊方向的各端緣的靠近外側(cè)的區(qū)域和作為靠近振動(dòng)部21的靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域。[0125]由此，即使產(chǎn)生第一、第二安裝端子27、28的靠近外側(cè)的區(qū)域的安裝用金屬膜13的Au膜32或激發(fā)用金屬膜14的Au膜34的焊料腐蝕，也能夠通過露出作為抗焊料金屬膜的Ni·Ti合金膜31的分割槽38、39來抑制焊料腐蝕向作為與分割槽38、39相比更靠振動(dòng)部21側(cè)的內(nèi)側(cè)區(qū)域擴(kuò)散。以分別覆蓋分割槽38、39,因此能夠防止焊料浸入分割槽38、39的內(nèi)部，因此能夠防止焊料裝端子27、28,因此不需要如以往那樣在具有安裝端子且上表面開口的由陶瓷等絕緣材料構(gòu)成的箱型的底座內(nèi)收納搭載壓電振動(dòng)片，不需要昂貴的底座。[0128]進(jìn)而，由于在水晶振動(dòng)板2的正背兩個(gè)主面上分別接合第一、第二樹脂薄膜3、4來密封第一、第二激發(fā)電極25、26,因此不需要如以往那樣在上表面開口的箱型的底座內(nèi)收納搭載壓電振動(dòng)片并氣密密封底座的開口的蓋體，能夠進(jìn)一步降低成本，并且與現(xiàn)有例相比，能夠?qū)崿F(xiàn)薄型化(低矮化)。[0129]在本實(shí)施方式的水晶振子1中，由于通過第一、第二樹脂薄膜3、4密封振動(dòng)部21,因此與將金屬制或玻璃制的蓋體接合在底座上來進(jìn)行氣密密封的現(xiàn)有例相比，氣密性較差，容易發(fā)生水晶振子1的諧振頻率的經(jīng)時(shí)變化。[0130]但是，例如近距離無線通信用途之中的低功耗藍(lán)牙(BLE,Bluetooth(注冊商標(biāo))LowEnergy)等，由于頻率偏差等的標(biāo)準(zhǔn)比較寬松，因此在相關(guān)用途中，可