半導(dǎo)體級超純水制備設(shè)備運(yùn)維技師（初級）考試試卷及答案一、填空題（每題1分，共10分）1.半導(dǎo)體級超純水常溫下電阻率通常要求達(dá)到______MΩ·cm以上。2.反滲透膜進(jìn)水SDI值應(yīng)控制在______以下。3.EDI模塊核心是______與離子交換樹脂的結(jié)合。4.預(yù)處理常用絮凝劑PAC的全稱是______。5.超純水中TOC指標(biāo)通常要求小于______ppb。6.混床裝填的樹脂為______樹脂和陰離子樹脂混合。7.保安過濾器濾芯孔徑一般為______μm。8.紫外線殺菌有效波長約______nm。9.反滲透膜長期停機(jī)需用______溶液浸泡保護(hù)。10.活性炭過濾器主要去除水中余氯和______。二、單項選擇題（每題2分，共20分）1.半導(dǎo)體級超純水25℃電阻率標(biāo)準(zhǔn)為（）A.10MΩ·cmB.18MΩ·cmC.15MΩ·cmD.20MΩ·cm2.反滲透進(jìn)水SDI應(yīng)控制在（）以下A.3B.5C.7D.103.EDI短期停運(yùn)（1-7天）保護(hù)用（）A.純水B.鹽酸C.氫氧化鈉D.保護(hù)液4.絮凝沉淀主要去除水中（）A.溶解鹽B.膠體顆粒C.有機(jī)物D.余氯5.混床失效核心指標(biāo)是（）A.電阻率下降B.流量降低C.壓力升高D.溫度升高6.保安過濾器壓差超（）需換濾芯A.0.05MPaB.0.1MPaC.0.2MPaD.0.3MPa7.紫外線主要?dú)缢校ǎ〢.細(xì)菌B.病毒C.芽孢D.所有微生物8.TOC檢測主要判斷（）污染A.有機(jī)物B.鹽類C.微生物D.顆粒9.反滲透酸性清洗劑常用（）A.鹽酸B.氫氧化鈉C.檸檬酸D.次氯酸鈉10.EDI電流異常升高常見原因（）A.壓力過高B.樹脂污染C.電壓過低D.流量過大三、多項選擇題（每題2分，共20分）1.超純水制備主要單元包括（）A.預(yù)處理B.反滲透C.EDID.混床E.紫外線2.反滲透膜污染類型有（）A.結(jié)垢B.膠體污染C.微生物污染D.有機(jī)物污染E.樹脂污染3.EDI運(yùn)行影響因素（）A.進(jìn)水電阻率B.流量C.電壓D.溫度E.樹脂量4.預(yù)處理步驟包括（）A.絮凝沉淀B.砂過濾C.活性炭過濾D.保安過濾E.反滲透5.運(yùn)維安全注意事項（）A.酸堿防護(hù)B.紫外線防照射C.高壓禁帶壓操作D.漏電保護(hù)E.廢液中和6.混床樹脂裝填要求（）A.陰陽比例合適B.裝填緊密C.樹脂無破損D.裝填前清洗E.高度一致7.TOC去除方法（）A.活性炭吸附B.紫外線氧化C.反滲透D.EDIE.混床8.保安過濾器作用（）A.截留顆粒B.保護(hù)反滲透膜C.去除膠體D.降壓力E.除余氯9.系統(tǒng)長時間停機(jī)操作（）A.排空B.反滲透膜浸泡保護(hù)C.EDI沖洗D.混床樹脂浸泡E.氮?dú)獯祾?0.反滲透進(jìn)水要求指標(biāo)（）A.SDIB.余氯C.濁度D.硬度E.TOC四、判斷題（每題2分，共20分）1.電阻率越高超純水純度越高。（）2.聚酰胺膜可用鹽酸清洗。（）3.EDI停運(yùn)后短期可不斷電。（）4.活性炭僅除余氯和部分有機(jī)物。（）5.混床失效后直接再生不用反洗。（）6.保安濾芯更換后需檢漏。（）7.紫外線能氧化部分TOC。（）8.超純水管道用316L不銹鋼，不用PVC。（）9.反滲透進(jìn)水溫度越高越好。（）10.EDI漏水先關(guān)進(jìn)水再斷電。（）五、簡答題（每題5分，共20分）1.簡述超純水制備基本流程。2.反滲透膜污染常見原因及預(yù)防措施。3.EDI日常運(yùn)維檢查項目。4.混床樹脂再生基本步驟（初級）。六、討論題（每題5分，共10分）1.超純水TOC超標(biāo)原因及排查步驟。2.如何判斷反滲透膜需清洗？---答案部分一、填空題答案1.182.53.電滲析4.聚合氯化鋁5.106.陽離子交換7.58.2549.亞硫酸氫鈉10.部分有機(jī)物二、單項選擇題答案1.B2.B3.A4.B5.A6.B7.A8.A9.C10.B三、多項選擇題答案1.ABCDE2.ABCD3.ABCD4.ABCD5.ABCDE6.ACD7.ABC8.AB9.ABCD10.ABCDE四、判斷題答案1.√2.×3.×4.√5.×6.√7.√8.√9.×10.√五、簡答題答案1.流程：原水→預(yù)處理（絮凝沉淀→砂濾→活性炭濾→保安濾）→反滲透→EDI→混床（可選）→紫外線殺菌→終端濾→超純水儲罐。預(yù)處理除顆粒/膠體/余氯；反滲透除大部分鹽；EDI深度除鹽；終端濾截留微顆粒。2.原因：SDI/濁度超標(biāo)、結(jié)垢、微生物滋生、有機(jī)物吸附。預(yù)防：控預(yù)處理水質(zhì)（SDI≤5）、加阻垢劑、定期殺菌、控溫pH（20-30℃，pH4-8）。3.檢查項：進(jìn)/產(chǎn)/濃水流量壓力、產(chǎn)水電阻率、電壓電流、濃水泵狀態(tài)、模塊漏水、電源報警、進(jìn)水TOC/余氯、模塊溫度（5-40℃）。4.步驟：反洗分層→排水→進(jìn)酸堿（陽樹脂鹽酸、陰樹脂氫氧化鈉）→浸泡→沖洗至pH中性→混合樹脂→正洗至電阻率≥18MΩ·cm。六、討論題答案1.原因：活性炭失效、反滲透膜污染、EDI失效、管道儲罐微生物滋生、濾芯污染。排查：分段測TOC定位超標(biāo)段；查活性炭（換炭測試）