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半導(dǎo)體分立器件和集成電路裝調(diào)工(高級)考試題(附答案)一、單項選擇題(每題1分,共30分。每題只有一個正確答案,錯選、多選、未選均不得分)1.在硅基NPN晶體管共射放大電路中,若將發(fā)射極電阻RE短路,則下列參數(shù)變化正確的是A.電壓增益Av下降,輸入電阻Ri上升B.Av上升,Ri下降C.Av上升,Ri上升D.Av下降,Ri下降答案:B解析:短路RE→直流負反饋消失→IE↑→gm↑→Av↑;同時RE對交流信號短路→輸入回路阻抗↓→Ri↓。2.用THB(高溫高濕偏置)考核塑封器件密封性,85℃/85%RH條件下加偏壓96h,試驗后測得漏電流增大30%,其失效機理最可能是A.鋁遷移B.金鋁化合物Kirkendall空洞C.氯離子腐蝕鋁條D.錫須短路答案:C解析:塑封料中Cl?在濕熱偏壓下形成電解液,鋁被腐蝕生成Al(OH)?,漏電流增大。3.在功率VDMOS器件中,若元胞(cell)密度由4Mcells/in2提高到8Mcells/in2,導(dǎo)通電阻Ron·A將A.增大到2倍B.減小到約0.7倍C.減小到約0.5倍D.基本不變答案:B解析:Ron·A∝1/(cell密度)^0.8,理論值0.57倍,但接觸孔、金屬層電阻上升,實測約0.7倍。4.對CMOS反相器進行Latchup測試,觸發(fā)脈沖電流100mA,持續(xù)10μs,若保護環(huán)(guardring)間距由25μm縮小到15μm,則維持電壓VH將A.上升約0.5VB.下降約0.5VC.上升約2VD.基本不變答案:A解析:保護環(huán)間距↓→寄生PNP/NPN基區(qū)寬度↓→β↓→維持電流↑→VH↑。5.在晶圓測試(wafersort)時發(fā)現(xiàn)某顆芯片VDD=5V時IDDQ=1.2mA,規(guī)范值<50μA,下列哪種缺陷最不可能A.柵氧針孔B.金屬橋接C.多晶硅開路D.源漏結(jié)穿通答案:C解析:多晶硅開路導(dǎo)致斷路,不會形成靜態(tài)電流通路,其余均可產(chǎn)生漏電流。6.對GaNHEMT進行動態(tài)導(dǎo)通電阻測試,VDS=400V→0V脈沖,f=100kHz,占空比50%,若測試板接地電感增大5nH,則測得Ron_dynA.增大5%B.增大20%C.減小5%D.基本不變答案:B解析:接地電感↑→關(guān)斷時負壓過沖↑→電子陷阱俘獲↑→Ron_dyn↑,實驗經(jīng)驗每5nH約增20%。7.在引線鍵合(wirebonding)工序,若將Au線換成Cu線,相同拉力測試下,第二鍵合點(楔焊)失效率上升,最主要原因是A.Cu線硬度高,易裂硅層B.Cu易氧化,降低焊點強度C.Cu熱膨脹系數(shù)大D.Cu電遷移嚴重答案:B解析:Cu表面瞬態(tài)氧化層阻礙金屬間擴散,楔焊界面強度↓,拉力測試易脫鍵。8.對運算放大器進行輸入失調(diào)電壓VIO溫漂測試,結(jié)果+2.5μV/℃,其最主要貢獻來自A.輸入級MOS閾值失配B.電流鏡溝道長度調(diào)制C.負載電阻溫度系數(shù)D.封裝應(yīng)力釋放答案:A解析:輸入對管閾值失配ΔVTH具有負溫度系數(shù),貢獻>70%。9.在BCD工藝中,若將高壓LDMOS漂移區(qū)長度縮短10%,擊穿電壓BV預(yù)計A.下降約8%B.下降約15%C.下降約3%D.基本不變答案:A解析:BV∝Ldrift^0.8,縮短10%→BV↓≈8%。10.對4bitFlashADC進行INL測試,參考電壓5V,測得碼值0100跳變點電壓為1.26V,理想值1.25V,則該碼值INL為A.+0.01LSBB.+0.04LSBC.+0.08LSBD.+0.16LSB答案:C解析:1LSB=5V/16=0.3125V,Δ=1.261.25=0.01V→INL=0.01/0.3125≈0.08LSB。11.在塑封后固化(PostMoldCure)工序,175℃×4h改為175℃×8h,則環(huán)氧模塑料玻璃化轉(zhuǎn)變溫度Tg將A.上升3~5℃B.下降3~5℃C.上升10℃以上D.基本不變答案:A解析:后固化促進交聯(lián),Tg略升,但已接近飽和,增幅3~5℃。12.對肖特基二極管進行正向浪涌測試,8.3ms半正弦電流100A,失效標準為ΔVF>10%,失效機理最先出現(xiàn)A.金屬層熔開B.硅熔穿C.焊料疲勞D.塑料碳化答案:B解析:浪涌下芯片內(nèi)部功耗密度最高,硅本征溫度達~550℃,先熔穿。13.在晶圓背面減薄(waferbackgrinding)中,若Taiko工藝保留2mm環(huán),減薄后50μm,則芯片翹曲(warpage)相比無TaikoA.增大30%B.減小70%C.增大2倍D.基本不變答案:B解析:Taiko環(huán)提供剛性支撐,翹曲↓約70%。14.對LDO進行負載瞬態(tài)測試,負載電流0→100mA階躍,測得下沖(overshoot)120mV,主要改善措施A.增大輸出電容ESRB.減小誤差放大器尾電流C.增大功率管W/LD.降低基準電壓答案:C解析:功率管跨導(dǎo)↑→環(huán)路帶寬↑→瞬態(tài)響應(yīng)↑,下沖↓。15.在SiCMOSFET柵氧工藝中,若氧化后NO退火改為N?O退火,閾值電壓Vth將A.上升0.3VB.下降0.3VC.上升1VD.下降1V答案:A解析:N?O引入氮原子減少界面陷阱,固定正電荷↑→Vth↑。16.對DRAM進行數(shù)據(jù)保持時間(retentiontime)測試,85℃下1k單元失效時間分布中位值200ms,若溫度降至45℃,中位值約A.1.6sB.3.2sC.6.4sD.12.8s答案:C解析:Arrhenius模型,激活能0.6eV,T↓40℃→壽命↑32倍→200ms×32≈6.4s。17.在FCBGA封裝中,若將SnAgCu焊球直徑從0.6mm減至0.4mm,相同板級跌落測試,失效率A.下降50%B.上升2倍C.上升5倍D.基本不變答案:C解析:焊球體積↓→應(yīng)變能密度↑→跌落壽命↓約5倍。18.對ClassD音頻功放進行EMI測試,載頻500kHz,頻譜尖峰出現(xiàn)在1.0GHz,最可能輻射源A.功率管開關(guān)節(jié)點B.柵驅(qū)動環(huán)地C.輸出LC濾波器D.電源去耦電容答案:B解析:柵驅(qū)動回路面積↑→共模輻射↑,諧波達GHz。19.在晶圓級芯片尺寸封裝(WLCSP)中,若重布線(RDL)銅厚從8μm減到5μm,導(dǎo)通電阻RDL約A.增大30%B.增大60%C.減小30%D.基本不變答案:B解析:R∝1/t,8→5μm,↑60%。20.對IGBT進行短路測試,VGE=15V,VCE=600V,短路時間10μs,失效前晶格溫度最高區(qū)域A.集電區(qū)n漂移區(qū)B.發(fā)射極p+區(qū)C.柵氧下方n溝道D.緩沖層n+區(qū)答案:C解析:短路時電流密度集中溝道,功耗密度最高。21.在晶圓探針卡(probecard)中,若將鎢針換成CoNi合金針,接觸電阻RcA.下降20%B.上升10%C.下降50%D.基本不變答案:A解析:CoNi硬度高、表面氧化少,Rc↓約20%。22.對MEMS加速度計進行零偏溫漂測試,結(jié)果0.3mg/℃,其主要來源A.壓阻系數(shù)變化B.封裝應(yīng)力C.電容間隙熱脹D.讀出電路offset答案:B解析:封裝材料CTE失配產(chǎn)生熱應(yīng)力,導(dǎo)致零偏漂移。23.在3DNAND工藝中,若將垂直溝道直徑縮小5%,讀取電流ID約A.下降5%B.下降10%C.下降20%D.下降30%答案:C解析:ID∝面積×遷移率,直徑↓5%→面積↓9.75%,遷移率↓→綜合↓≈20%。24.對PLL進行相位噪聲測試,1MHz頻偏處110dBc/Hz,若VCO增益KVCO從100MHz/V降至50MHz/V,則該頻點噪聲A.下降6dBB.上升6dBC.下降3dBD.基本不變答案:A解析:相位噪聲∝(KVCO)2→↓2倍→↓6dB。25.在引線框架電鍍中,若將純Sn鍍層改為SnBi(2%)合金,可抑制A.錫須B.電遷移C.熱疲勞D.晶須答案:A解析:Bi原子抑制Sn晶格位錯運動,錫須↓。26.對SiGeHBT進行總劑量輻射測試,γ射線500krad(Si),電流增益β下降20%,其主要缺陷A.界面態(tài)B.氧化物電荷C.位移損傷D.熱載流子答案:B解析:氧化物正電荷↑→基區(qū)表面耗盡↑→β↓。27.在晶圓切割(dicing)中,若將刀片轉(zhuǎn)速從30krpm提高到50krpm,崩邊(chipping)尺寸A.增大30%B.減小50%C.增大2倍D.基本不變答案:B解析:轉(zhuǎn)速↑→切削力↓→崩邊↓約50%。28.對LED進行老化測試,IF=350mA,Tj=85℃,1000h后光通量衰減5%,若Tj降至55℃,壽命(L70)約A.2khB.5khC.10khD.20kh答案:D解析:壽命∝exp(Ea/kT),Ea=0.6eV,T↓30℃→壽命↑~20倍→20kh。29.在SOI工藝中,若將埋氧厚度從200nm減到100nm,浮體效應(yīng)(floatingbody)導(dǎo)致閾值電壓漂移A.增大50mVB.減小50mVC.增大200mVD.基本不變答案:A解析:埋氧↓→耦合↑→體電勢↑→Vth↓,但短溝道效應(yīng)↑→凈漂移↑50mV。30.對ClassAB音頻功放進行THD測試,1kHz1W輸出,THD=0.01%,若將靜態(tài)電流IQ從10mA提高到20mA,則THDA.下降50%B.上升50%C.下降10%D.基本不變答案:A解析:交越失真↓→THD↓約50%。二、多項選擇題(每題2分,共20分。每題有兩個或兩個以上正確答案,多選、少選、錯選均不得分)31.下列哪些措施可有效降低CMOS反相器動態(tài)功耗A.降低VDDB.減小負載電容C.提高閾值電壓D.降低開關(guān)頻率答案:ABD解析:Pdyn=αCV2f,與VTH無關(guān)。32.功率器件在并聯(lián)使用時,導(dǎo)致電流不均的因素有A.閾值電壓失配B.封裝寄生電感差異C.溫度梯度D.驅(qū)動電阻差異答案:ABCD解析:四項均影響靜態(tài)/動態(tài)均流。33.下列屬于晶圓級可靠性(WLR)測試項目A.熱載流子注入(HCI)B.電遷移(EM)C.閾值電壓漂移(BTI)D.焊球剪切答案:ABC解析:焊球剪切為封裝級。34.在FCBGA回流焊中,產(chǎn)生枕頭效應(yīng)(headinpillow)的原因A.焊球氧化B.封裝翹曲C.回流溫度不足D.助焊劑活性不足答案:ABCD解析:四項均阻礙焊球與焊膏充分潤濕。35.下列哪些測試可檢測DRAM單元間串?dāng)_A.相鄰單元寫讀擾動B.數(shù)據(jù)保持時間C.分布位線耦合D.折疊位線噪聲答案:ACD解析:保持時間反映漏電,不直接測串?dāng)_。36.關(guān)于SiCMOSFET體二極管,下列說法正確A.反向恢復(fù)電荷Qrr遠小于硅FRDB.正向壓降約3VC.可反向?qū)―.存在雙極退化答案:ACD解析:體二極管VF≈4~5V,B錯誤。37.在晶圓測試中使用perpin架構(gòu)的優(yōu)勢A.并行測試效率高B.降低探針磨損C.可獨立加壓D.減少測試時間答案:ACD解析:探針磨損與架構(gòu)無關(guān)。38.下列屬于塑封料關(guān)鍵性能參數(shù)A.TgB.CTEC.彎曲模量D.離子含量答案:ABCD解析:四項均影響可靠性。39.對LDMOS進行UIS測試,失效模式包括A.寄生雙極導(dǎo)通B.雪崩注入C.熱擊穿D.柵氧擊穿答案:ABC解析:UIS為雪崩應(yīng)力,柵氧不直接擊穿。40.在3DIC中,TSV缺陷檢測方法A.紅外成像B.高頻反射C.原子力超聲D.電子束掃描答案:ABC解析:電子束用于表面,難測TSV內(nèi)部空洞。三、判斷題(每題1分,共10分。正確打“√”,錯誤打“×”)41.在功率MOS器件中,增加?xùn)叛鹾穸瓤商岣呖鐚?dǎo)。答案:×解析:gm∝Cox,厚度↑→Cox↓→gm↓。42.對LDO而言,輸出電容ESR越小,環(huán)路穩(wěn)定性越好。答案:×解析:ESR過小→零點消失→可能振蕩。43.在晶圓背面金屬化中,Ti/Ni/Ag結(jié)構(gòu)里Ti層主要起粘附作用。答案:√44.對IGBT進行并聯(lián)時,發(fā)射極串電阻有助于動態(tài)均流。答案:√45.在晶圓探針測試中,探針痕跡直徑越大,鋁墊越不易穿通。答案:×解析:痕跡大→壓強大→更易穿通。46.對Flash存儲器,程序/擦除循環(huán)次數(shù)與溫度呈正相關(guān)。答案:×解析:溫度↑→氧化層損傷↑→循環(huán)壽命↓。47.在引線鍵合中,第二鍵合點強度低于第一鍵合點。答案:√48.對MEMS器件,封裝真空度越高,品質(zhì)因數(shù)Q越高。答案:√49.在SiGeHBT中,Ge梯度可提高Early電壓。答案:√50.對功率器件,雪崩擊穿電壓具有正溫度系數(shù)。答案:√四、計算題(共20分,寫出關(guān)鍵步驟與單位)51.某NPN晶體管在300K下,發(fā)射區(qū)摻雜NE=1×102?cm?3,基區(qū)NB=1×101?cm?3,WB=0.5μm,電子擴散系數(shù)Dn=18cm2/s,忽略復(fù)合,求共基極電流增益α。(8分)解:注入效率γ≈1(NB/NE)(Dn/Dp)(WE/WB)≈1(1×101?/1×102?)(18/8)(0.2/0.5)=10.00072=0.99928輸運系數(shù)βT≈1(WB2/2Ln2)≈1(0.52/2×352)=0.9999α=γβT≈0.9992答案:0.99952.某CMOS反相器VDD=1.8V,負載電容CL=100fF,輸入信號tr=tf=100ps,平均短路電流Isc=120μA,求總動態(tài)功耗Ptotal@500MHz。(6分)解:Psw=αCLVDD2f=0.5×100×10?1?×1.82×500×10?=81μWPsc=αIscVDD=0.5×120×10??×1.8=108μWPtotal=81+108=189μW答案:189μW53.某功率
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