1T/TMACXXX—2026玻璃通孔（TGV）激光微孔設(shè)備技術(shù)要求本文件規(guī)定了玻璃通孔（TGV）激光微孔設(shè)備的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法等內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體封裝、電子封裝、光電器件制造等領(lǐng)域中，采用激光工藝在玻璃基板上加工微米級通孔的設(shè)備。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB/T2423.1電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分：試驗(yàn)方法試驗(yàn)A：低溫GB/T2423.2電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分：試驗(yàn)方法試驗(yàn)B：高溫GB4793.1測量、控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備的安全要求第1部分：通用要求GB/T7247.1激光產(chǎn)品的安全第1部分：設(shè)備分類和要求GB/T15175固體激光器主要參數(shù)測量方法GB/T16594微米級長度的掃描電鏡測量方法通則GB/T16857.2產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）坐標(biāo)測量機(jī)的驗(yàn)收檢測和復(fù)檢檢測第2部分：用于測量線性尺寸的坐標(biāo)測量機(jī)GB/T17421.3機(jī)床檢驗(yàn)通則第3部分：熱效應(yīng)的確定GB/T25295電氣設(shè)備安全設(shè)計導(dǎo)則GB/T26177輻射度計和光度計性能的評價方法GB/T30574機(jī)械安全安全防護(hù)的實(shí)施準(zhǔn)則3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1玻璃通孔throughglassvia在玻璃基板上通過機(jī)械、激光、化學(xué)或其他微納加工方式形成的通孔，用于實(shí)現(xiàn)電氣互連、熱管理或流體通道等功能。3.2激光微孔設(shè)備lasermicro-holeequipment采用激光束對玻璃材料進(jìn)行微米級鉆孔的專用設(shè)備。3.3深徑比aspectratio通孔深度與孔徑的比值，用于表征微孔加工的難度與質(zhì)量。3.4T/TMACXXX—20262激光功率穩(wěn)定性laserpowerstability激光輸出功率在規(guī)定時間內(nèi)波動的最大相對偏差，通常以百分比表示。3.5孔壁粗糙度wallsurfaceroughness微孔內(nèi)壁表面的微觀不平度，通常以Ra值表示。4技術(shù)要求4.1一般要求設(shè)備應(yīng)結(jié)構(gòu)合理、操作安全、維護(hù)方便。外觀無銳角、毛刺，涂鍍層均勻。電氣系統(tǒng)符合GB/T4793.1要求。4.2性能要求玻璃通孔激光微孔設(shè)備性能要求應(yīng)滿足表1要求。表1玻璃通孔激光微孔設(shè)備性能要求4.3安全要求玻璃通孔激光微孔設(shè)備安全要求應(yīng)符合GB/T7247.1和GB/T30574的規(guī)定，并滿足以下要求：a）設(shè)備應(yīng)配備激光安全聯(lián)鎖裝置，符合GB/T25295要求；b）電氣安全接地電阻≤0.01Ω,絕緣電阻≥10MΩ（測試電壓500VDC）；c）噪聲聲壓級≤70dB(A）。4.4環(huán)境適應(yīng)性設(shè)備在以下環(huán)境條件下應(yīng)正常工作：a）溫度：15℃~30℃;b）相對濕度：30%～70%RH；c）電源：AC220V±10%，50Hz。5試驗(yàn)方法5.1一般要求檢驗(yàn)?zāi)恳暀z查設(shè)備外觀、結(jié)構(gòu)，手動操作驗(yàn)證安全功能。電氣安全按GB/T4793.1測試。T/TMACXXX—202635.2性能試驗(yàn)性能試驗(yàn)方法應(yīng)符合表2規(guī)定。試驗(yàn)前，設(shè)備應(yīng)在標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境下，溫度25℃±2℃,濕度50%±10%RH，預(yù)熱30min。表2性能試驗(yàn)方法采用激光功率計在輸出端直接測量，穩(wěn)定運(yùn)行1在玻璃基板上加工10個孔，用掃描電鏡（SEM）測量加工孔徑10μm孔陣，使用幀率≥1000fps高速攝像機(jī)計在標(biāo)準(zhǔn)玻璃樣品上加工典型深孔，使用SEM或共聚焦顯微鏡測5.3安全試驗(yàn)玻璃通孔激光微孔設(shè)備安全試驗(yàn)應(yīng)按照以下規(guī)定進(jìn)行：a）電氣安全：接地電阻用接地電阻儀測試，絕緣電阻用兆歐表測試；b）噪聲：聲級