1、真空吸筆使用規(guī)范,使用真空吸筆的目的,一、避免Wafer的正面在傳遞和轉(zhuǎn)移中和其他物體有物理接觸。從而把Particle和Scratch等造成的不良降到最低。 二、用手和鑷子夾去Wafer的情況要盡量避免和杜絕。,正確的使用方法示范,Step 1: 首先把Cassette放置在作業(yè)臺上，并保證放置平穩(wěn)，方便操作。,放置平穩(wěn)，方便操作,正確的使用方法示范,Step 2:認(rèn)真檢查Cassette放置方向是否正確。 Cassette內(nèi)的Wafer是否有方向防反的現(xiàn)象。,檢查Wafer的方向是否正確，確保方向一致。,正確的使用方法示范,Step 3： 拿緊真空吸筆，用食指夾緊開關(guān)的前端，拇指推動開關(guān)。

2、,拿穩(wěn)吸筆，用拇指控制開關(guān)。,正確的使用方法示范,Step 4: 筆頭平行輕觸Wafer背面，并確保筆頭完全和Wafer接觸，吸穩(wěn)Wafer。,筆頭完全和Wafer接觸，防止吸力不足而導(dǎo)致滑落。,正確的使用方法示范,Step 5: 以Wafer的背面為著力點(diǎn)，垂直將Wafer抽出。速度保持平穩(wěn)。,垂直平穩(wěn)抽出，以Wafer背面受力，并保持Wafer正面不受力。,以Wafer的背面為受力點(diǎn)，避免正面和Cassette摩擦。,正確的使用方法示范,Step 6: 將Cassette 傾斜一定角度，將Wafer對好要放置的位置。,傾斜一定角度，并將Wafer對準(zhǔn)位置，避免錯(cuò)位。,Step 7: 以Wa

3、fer的邊緣和背面為受力點(diǎn)，插入Cassette,插入Wafer，避免正面和Cassette產(chǎn)生摩擦。,以Wafer背面和邊緣為受力點(diǎn)插入。,Step 8： 筆頭前端和前一片Wafer平齊時(shí)。關(guān)閉真空開關(guān)。使其輕輕滑入Cassette。,筆頭不要沒入Wafer內(nèi)，避免與鄰近的Wafer光面接觸到。,Step 9： 關(guān)閉真空開關(guān)，使Wafer邊緣和背面與Cassette接觸并輕輕滑落,讓W(xué)afer輕輕滑落入Cassette。,錯(cuò)誤的使用方法,以下列舉幾種錯(cuò)誤使用方法，請大家在今后的使用過程中堅(jiān)決避免！,錯(cuò)誤的使用方法,未垂直抽取Wafer，造成與領(lǐng)近的Wafer摩擦。,錯(cuò)誤的使用方法,未垂直抽取Wafer，造成與領(lǐng)近的Wafer摩擦。,錯(cuò)誤的使用方法,筆頭插入過深，容易造成鄰近的Wafer劃傷。,錯(cuò)誤的使用方法,筆頭插入過深，容易造成鄰近的Wafer劃傷。,錯(cuò)誤的使用方法,擺放錯(cuò)位！,錯(cuò)誤的使用方法,擺放錯(cuò)位！,錯(cuò)誤的使用方法,擺放錯(cuò)位！,錯(cuò)