1、真空泵常見問題,擴散泵.羅茨泵.旋片泵.滑閥泵.；現(xiàn)在我們對相關(guān)問題進行討論。,擴散泵,影響擴散泵性能的因素 1.擴散泵油蒸氣的反流 擴散泵油蒸氣的反流可歸結(jié)為五種原因： *泵壁表面油膜和油滴的蒸發(fā)（如圖1所示） *噴嘴噴出的高速油蒸氣流碰到泵壁后的反射（如圖2所示） *一級噴口表面的油膜及油滴的蒸發(fā)（如圖3所示） *噴口邊緣高速油蒸氣流的散射（如圖4所示 *室溫下油沿泵壁的表面遷移（爬移)(如圖5所示),反流示意圖,2.氣體分子的反擴散,在擴散泵中，低真空端的氣體分子總會進入高真空端，特別是某些質(zhì)量較輕的氣體，如氫.氦等反擴散比較大，其中氫的反擴散最大，可達(dá)10-3 mg/h，氮的反擴散較小

2、，約為10-7 mg/h.,3.擴散泵油的裂化分解,擴散泵油分兩種：礦物油，此種油穩(wěn)定性及耐氧化能力都較差，在室溫下的飽和蒸氣壓力10-5 pa 10-7pa . 另一種是硅油，熱穩(wěn)定性及抗氧化性都較好，室溫下的飽和蒸氣壓力10-6pa 10-8pa .,在金屬油擴散泵的鍋爐中，由于高溫.金屬催化作用以及油爆發(fā)式沸騰，是高分子的有裂化成低分子的碳?xì)浠衔锛拜p的氣體(H2.CH4.C2H6等)。這些裂化后的氫和碳?xì)浠衔锏恼羝麎汉芨撸拗屏藬U散泵的極限真空。 此外，機械泵油反流到擴散泵中，也產(chǎn)生分裂物，使擴散泵的真空受到影響。,4.真空泵的清潔度,清洗不干凈的真空泵，污染物會留在泵中并重復(fù)循環(huán)，

3、影響泵極限真空。,提高油擴散泵極限真空的方法,1.擴散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進 改進擴散泵的結(jié)構(gòu)，如加分流裝置;合理的分配鍋爐的加熱功率，增大鍋爐中心區(qū)；改進噴嘴角設(shè)計；在一級導(dǎo)流管中加裝加熱器進行氣象加熱，以增加蒸汽流速度減少真氣流的散射。上述措施也可減少油的裂化，反流，提高擴散泵的極限真空。,減少油蒸氣的反流,1.加擋油帽 在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通?？墒狗从土拷档桶雮€到兩個數(shù)量級。 2. 障板 使用水冷或低溫介質(zhì)冷卻的各種擋板，可使反油量大大降低。 。,3.冷阱 使用液態(tài)冷阱捕集反流蒸氣。液態(tài)冷阱不能把油真氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過冷阱進入被抽容器中，其途徑有； 1.兩個油分子之

4、間的碰撞； 2.油分子和氣體分子的多次碰撞； 3.沒被捕集的油分子反彈到高真空的區(qū)域中； 4.室溫下油從泵壁表面遷移。擴散泵系統(tǒng)采用液態(tài)冷阱后可獲得10-8pa 10-9pa 的極限真空,4. 吸附阱 擴散泵進氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附反流的油蒸氣后，可以獲得10-8 10-9 真空度。這種阱有如下缺點： 1.吸附劑易粉末化； 2.吸附劑要在活化； 3.需經(jīng)常更換吸附劑，操作不便。 5.鈦升華阱,擴散泵與真空室之間裝上用液氮冷卻的鈦升華阱，即可以消除有機物真氣對系統(tǒng)的污染，又能降低CO.CO2 和 H2,閥門,擴散泵的返流，在泵啟動和停止后的一段時間內(nèi)有兩個最大峰值，泵運轉(zhuǎn)時可利

5、用閥門的關(guān)閉避開這兩個最大返油區(qū)。,減少氣體的反擴散,反擴散過去的氣體的分壓Pf和擴散泵前級排氣口處該氣體的分壓Pj成正比，即Pf=rPj。降低前級壓力Pj和壓縮比r可以降低Pj。,擴散泵的前級再串接一臺擴散泵可以降低前級氣體分壓Pj。采用多級泵（目前多采用四級泵代替原來的三級泵），則可以降低壓縮比r，使返擴散減少。,五.用擴散泵獲得高真空的方法,1.選用性能好的擴散泵油 2.采用合理的烘烤技術(shù) 3增加冷阱裝置，防止泵油返流和遷移 4.減少被抽氣體的反擴散,擴散泵結(jié)構(gòu)示意圖,滑閥泵及原理其示意圖,滑閥泵故障現(xiàn)象及排除方法,旋片泵及原理其示意圖,故障及其排除方法,.極限壓力與極限全壓力不好的原因

6、判斷和消除方法 1.新泵.泵口檢測，全壓力不好，旋去加油賽，無明顯漏氣聲，可能是因存放日久和不當(dāng)，有水氣等進入泵內(nèi)，可密閉泵口開氣鎮(zhèn)閥2- -4小時，應(yīng)有所回升，或更換新油，可更顯著。,2.無漏氣聲，開氣鎮(zhèn)閥及換油無效，應(yīng)檢查閥座上的小油空是否堵塞，小孔的位置：2X-4C泵在閥坐側(cè)面，2X-8,15泵在短閥片處月牙槽內(nèi)，2X-30A，70A在短閥片附近的閥座平面上。,3.帶系統(tǒng)后抽不好，有明顯漏氣，接頭.管道或容器有漏氣，應(yīng)擦找和消除。 4.泵未經(jīng)拆卸清洗，突然出現(xiàn)碰撞聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷或有無異物進入泵內(nèi)。泵溫是否太高，旋片緊，活動不暢。,5.泵使用日久，真空度下降，可因泵

7、油混入可凝性氣體和泵油裂解變質(zhì)以及橡膠老化所致，可用換油.換橡膠件方法逐一試驗。,6.泵拆洗裝配后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當(dāng).順壞，應(yīng)調(diào)整或更換。 7.排氣閥片老化變形.順壞或螺釘松脫，會出現(xiàn)異樣排氣和油面的顯著泛動，也會影響真空度，應(yīng)調(diào)整重裝。 8.因泵溫太高而使真空度，特別是全壓強降低時，應(yīng)加強冷卻。,9.以上措施無效，無漏氣聲，可能是使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉(zhuǎn)子變形，精度降低，甚至轉(zhuǎn)子.旋片等零件損壞，應(yīng)拆開檢查，修正或調(diào)換新零件。 10.儀表失真，規(guī)管污染，引起誤判，應(yīng)校準(zhǔn)比較，清洗或換新。,噴油.漏油及其消除方法： 噴油可因油位過高，油盒.擋油板松脫，裝配不

8、當(dāng)所致，可逐一檢查。 漏油可因油封彈簧脫落.磨損.放油螺塞和墊片損壞，側(cè)蓋墊片沒墊好，氣鎮(zhèn)閥停泵后忘關(guān)等引起，可檢查調(diào)整或調(diào)換。,羅茨泵及其原理示意圖,羅茨泵與滑閥泵旋片泵組合,擴散泵內(nèi)部水冷及外形圖,擴散泵及水冷示意圖,運轉(zhuǎn),1.啟動 1.1 接通冷卻水，確認(rèn)冷卻水的流量是否達(dá)到規(guī)定要求。 1.2 啟動前級泵，當(dāng)擴散泵泵口壓力=10Pa后，才能啟動擴散泵加熱電源。 1.3 泵加熱4080分鐘后，就進入正常工作狀態(tài)。,2.停止 2.1 先關(guān)閉高真空閥門，然后切斷擴散泵電源，前級泵繼續(xù)工作。 2.2 當(dāng)爐體內(nèi)部溫度降到 =60的時候（用手可以接觸的狀態(tài)），可以停止前級真空泵。,注意事項,1. 像爐體內(nèi)放氣時，必須在泵油溫度=60時進行。油溫度過高，會造成泵油氧化，導(dǎo)致泵性能下降。 放氣時請從高真空端放氣，避免損壞泵芯。如果不能從高真空端放氣時，請保證小流量的緩慢放氣。 。,2. 擴散泵在正常運行中遇意外停電.停水時，請按下面步驟處理： 2.1 切斷電源 2.2 立刻關(guān)閉高真空閥門和前級真空閥 2.3 將電爐從泵底卸下，并移開。（注意安全，小心燙手?。?2.4 像泵底不淋水。注意：（水蒸氣燙人?。?3.在停止作業(yè)后，擴散泵短期內(nèi)不使用時，請將泵水冷管道中的水排出管道以外，同時用壓縮空氣將殘余水分吹干，防止水冷管道腐蝕。,4.擴散泵工作一段時后，若發(fā)現(xiàn)真空度變壞，或抽速降低使系統(tǒng)恢復(fù)