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1、去除磷硅玻璃,2,在擴(kuò)散過程中發(fā)生如下反應(yīng)： POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面， P2O5與Si反應(yīng)生成SiO2和磷原子： 這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。,什么是磷硅玻璃？,3,磷硅玻璃的去除,氫氟酸是無(wú)色透明的液體，具有較弱的酸性、易揮發(fā)性和很強(qiáng)的腐蝕性。但氫氟酸具有一個(gè)很重要的特性是它能夠溶解二氧化硅，因此不能裝在玻璃瓶中。 在半導(dǎo)體生產(chǎn)清洗和腐蝕工藝中，主要就利用氫氟酸的這一特性來(lái)去除硅片表面的二氧化硅層。,4,氫氟酸能夠溶解二氧化硅是因?yàn)闅浞崮芘c二氧化硅作用生成易揮發(fā)的四氟化硅氣體。 若氫氟酸過量，反應(yīng)生成的四氟化硅會(huì)進(jìn)一步與氫氟酸反應(yīng)生成可

2、溶性的絡(luò)和物六氟硅酸。 總反應(yīng)式為：,5,去除磷硅玻璃工藝,清洗液配制,裝片,開機(jī),投片清洗,甩干,6,清洗液配制,將各槽中破損硅片等雜質(zhì)清除，用去離子水將各槽壁沖洗干凈。 1號(hào)槽中注入一半深度的去離子水，加入氫氟酸，再注入去離子水至溢流口下邊緣。 向后面的槽中注滿去離子水。,7,裝片,經(jīng)等離子刻蝕過的硅片，檢驗(yàn)合格后插入承片盒。 注意，經(jīng)過磷擴(kuò)散處理的表面，刻蝕之后硅片在插入承片盒時(shí)也嚴(yán)格規(guī)定了放置方向。每盒25片，扣好壓條，投入清洗設(shè)備。,8,注意事項(xiàng),在配制氫氟酸溶液時(shí)，要穿好防護(hù)服，戴好防護(hù)手套和防毒面具。 不得用手直接接觸硅片和承載盒。 當(dāng)硅片在1號(hào)槽氫氟酸溶液中時(shí)，不得打開設(shè)備照明，防止硅片被染色。 硅片在兩個(gè)槽中的停留時(shí)間不得超過設(shè)定時(shí)間，防止硅片被氧化。,9,檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),當(dāng)硅片從1號(hào)槽氫氟酸中提起時(shí)，觀察其表面是否脫水，如果脫水，則表明磷硅玻璃已去除干凈；如果表面還沾有水珠，則表明磷硅玻璃未被去除

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