1、射線光電子能譜數(shù)據(jù)處理及分峰步驟,中國科學(xué)院化學(xué)研究所 劉芬 2005.10.21,Region 120045301248102550XPSAl K-alpha1486.600000FAT301E+374.45300000N1sN1s-1Kinetic EnergyeV1072.60.051,一、在Origin中作圖步驟： 1、打開文件，可以看到一列數(shù)據(jù)，找到相應(yīng)元素（如N1s）對應(yīng)的Region (一個Region 對應(yīng)一張譜圖),一個文件有多個Region。 2、繼續(xù)向下找到Kinetic Energy，其下面一個數(shù)據(jù)為動能起始值，即譜圖左側(cè)第一個數(shù)據(jù)。用公式 BE始=1486.6-KE始

2、- 換算成結(jié)合能起始值，是一個常數(shù)值，即荷電位移，每個樣品有一個值在郵件正文中給出。,N1sN1s-1Kinetic EnergyeV1072.60.051Countspulse counting0.16000004012202.524127.082458.362559.722523.562553.482509.8,3、再下面一個數(shù)據(jù)是步長值，如0.05或0.1或1，每張譜圖間有可能不一樣。 4、繼續(xù)向下,可以找到401或801這樣的數(shù)，該數(shù)為通道數(shù)，即有401或801個數(shù)據(jù)點。 5、再下面的數(shù)據(jù)開始兩個數(shù)據(jù)是脈沖，把它們舍去，接下來的401或801個數(shù)據(jù)都是Y軸數(shù)據(jù)，將它們copy到B(Y)

3、。,6、X軸：點A(X)，再點右鍵，然后點set column values，出現(xiàn)一個對話框，在from中填1，在to中填401(通道數(shù))，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)， 或直接填1486.6-KE始- - 0.05*(i-1)，最后點do it。 7、此時即可以作出N1s譜圖。 8、畫出來的圖有可能有一些尖峰，那是脈沖，應(yīng)把它們?nèi)サ簦椒辄cData-Move Data Points，然后按鍵盤上的 或 箭頭去除脈沖。,二、分峰步驟,1、將所拷貝數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成TXT格式：把所需擬合元素的數(shù)據(jù)引入Origin后，將column A和B中的值復(fù)制到一空的記事本文檔中（即成兩列的格式

4、，左邊為結(jié)合能，右邊為峰強），并存盤。如要對數(shù)據(jù)進行去脈沖處理或截取其中一部分?jǐn)?shù)據(jù)，需在Origin中做好處理。,2、打開XPS Peak，引入數(shù)據(jù)：點Data-Import(ASCII)，引入所存數(shù)據(jù)，則出現(xiàn)相應(yīng)的XPS譜圖。,3、選擇本底：點Background，因軟件問題， High BE和Low BE的位置最好不改，否則無法再回到 Origin，此時本底將連接這兩點，Type可據(jù)實際 情況選擇，一般選擇Shirley 類型。,4、加峰： 點Add peak，出現(xiàn)小框，在Peak Type處選擇s、p、d、f等峰類型（一般選s），在Position處選擇希望的峰位，需固定時則點fix前小

5、方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。各項中的constraints可用來固定此峰與另一峰的關(guān)系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位間距可固定為3.45，峰面積比可固定為4:3等。點Delete peak可去掉此峰。然后再點Add peak選第二個峰，如此重復(fù)。,5、擬合：選好所需擬合的峰個數(shù)及大致參數(shù)后，點Optimise region進行擬合，觀察擬合后總峰與原始峰的重合情況，如不好，可以多次點Optimise region。,6、參數(shù)查看：擬合完成后，分別點另一個窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每個峰的參數(shù)，此時XPS峰中變紅的為被選中的峰。如對擬合結(jié)果不region滿意，可改變這些峰的參數(shù)，然后再點Optimise。,7、點Save XPS存圖，下回要打開時點Open XPS就可以打開這副圖繼續(xù)進行處理。,8、數(shù)據(jù)輸出： 點DataPrint with peak parameters可打印帶各峰參數(shù)的譜圖，通過峰面積可計算此元素在不同峰位的化學(xué)態(tài)的含量比。 點DataExport to clipboard，則將圖和數(shù)據(jù)都復(fù)制到了剪貼板上，打開文檔（如Word文檔），點粘貼，就把圖和數(shù)據(jù)粘貼過去了。 點DataExport （s