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文檔簡介

1、TFC膜系設(shè)計實例教程TFC膜系實例設(shè)計步驟(首先以AR膜三層為例介紹)1 首選鍍膜材料:AL2O3 ZRO2 MGF2 2 AR膜技術(shù)要求:400-700 R13 運行TFC軟件(如圖1),選擇“取消”按鈕,如要打開已設(shè)計好的膜系文件,可按“打開”來調(diào)用文件。圖14 在File菜單中選擇New Coating選項(如圖2)。圖25 進入環(huán)境編輯界面(Edit Environment)如圖3圖36.在環(huán)境編輯界面中,第一項為監(jiān)控波長(Reference wavelength),默認設(shè)制為550(圖3)。如果設(shè)計400-700波段的AR的話,就可以用這個設(shè)制。如要設(shè)計紅外波段的話,那就要改大點。

2、設(shè)好后,點擊Analysis Parameters.項,進入下一個波段的設(shè)制界面(Set Analysis Parameters)。(如圖4)圖46 在Set Analysis Parameters界面中選Wavelengths and Angles設(shè)計波段范圍,在第一個輸入框里輸入起始波段400,第二輸入框里輸入結(jié)束波段700,第三個輸入框里的為步長,可以不改,其它的不動(如圖4)。輸入完成后,按“OK”鍵確認,返回到如圖3的界面,再按“OK”鍵,進入設(shè)計界面(如圖5)圖57.在Modify菜單中選LayersFront(如圖6),然后進入添加膜層。(如圖7)圖6圖77 選擇Options

3、Front Layers.,添加層數(shù),如圖7,在彈出的輸入框的第一個中輸入3代表3層,如圖8圖88 然后點“OK”,進入,出現(xiàn)如圖9的畫面。圖99 現(xiàn)在把Material(材料)項中的,改成你所要的材料AL2O3 ZRO2 MGF2,把Optimize?(優(yōu)化否)項中的NO,全部改為YES(如圖10)圖1010.選擇Modify菜單中的Targetscontinuous項來設(shè)定優(yōu)化目標(如圖11)圖1111 選擇Options中的Add Continuous targets.(如圖12),點擊進入,如果是創(chuàng)建一個優(yōu)化目標的話就不用改,如果要創(chuàng)建幾個優(yōu)化目標的話,就在第一個輸入框中輸入幾。如圖13圖12圖1312 如圖14,在Wavelength(begin)(起始波長)處輸入400,在Wavelength(end)(結(jié)束波長)處輸入700其它不要動。圖1413完成后,選Run菜單的Optimize Design選項進行優(yōu)化,如圖15圖1514優(yōu)化界面如圖16圖1615優(yōu)化完成后,點擊Analyze查看優(yōu)化后的曲線,如圖17圖1716好了,這個AR的膜系已設(shè)計完成了,要查看每層的物理厚度,可以打開菜單Modify中選Layers

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