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文檔簡介

1,無 塵 室 用 材 料,8,Electronic Materials,電子材料,2,3,表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數(shù)目 （美國聯(lián)邦標準US Federal Standard 209E）,4,5,圖8.1空氣淨化系統(tǒng),6,7,8,9,圖8.2HEPA過濾器的概略圖,10,11,圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率,12,圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖,13,圖8.5粒子捕集的方法,14,圖8.6空氣過濾器之捕集效率,15,16,圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器,17,(續(xù))圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器,18,圖8.8真空泵的分類,19,圖8.9擴散泵,20,圖8.10路茲泵的概路圖,21,圖8.11路茲泵的抽氣原理,22,圖8.12渦輪分子泵,23,圖8.13冷凍式幫浦,24,圖8.14氣體的平衡蒸氣壓,25,圖8.15空氣壓縮機的概略圖,26,27,28,圖8.16空氣乾燥機的概略圖,29,30,圖8.17安全輸送系統(tǒng),31,圖8.18(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應,32,圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系

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