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文檔簡介

1、全自動激光調(diào)阻作業(yè)指導書一啟動/關(guān)閉系統(tǒng)步驟（圖1-1、1-2、1-3所示）圖1-1圖1-2電流范圍8.5-9.5，一般8.9-9.1圖1-3啟動總共分十一個步驟依次執(zhí)行：先關(guān)閉室外氣缸氣閥、水閥，打開氣缸電源，綠鈕是ON，紅鈕OFF室內(nèi)步驟步驟1：總電源開關(guān)步驟2：PTS顯示器開關(guān)步驟3:水冷機電源開關(guān)步驟4：水冷機啟動開關(guān)（等10秒聽到水冷機出聲再執(zhí)行下一步）步驟5：激光信號源調(diào)制電源開關(guān)步驟6：PC驅(qū)動電源開關(guān)步驟7：探針掃描驅(qū)電源動開關(guān)步驟8：PC啟動開關(guān)步驟9：PC顯示器開關(guān)步驟10：平臺蓋開關(guān) 開激光電源開關(guān) 激光開關(guān) 調(diào)激光電流到9.1關(guān)閉步驟順序：激光電流調(diào)零、關(guān)激光開關(guān)、關(guān)激

2、光電源開關(guān)、10、關(guān)閉計算機9、7、6、5、4、3、2、1，關(guān)氣缸放氣放水。二調(diào)阻具體過程2-11.運行調(diào)阻程序雙擊桌面圖標（圖2-1），出現(xiàn)操作程序界面如圖2-21.2-2常用的是操作命令集與電阻屬性編輯兩個命令選項卡：操作命令集常用的前移、后移、左移、右移按鈕和氣缸關(guān)閉/打開按鈕如圖2-3圖2-3前后左右移 用來控制平臺的移動的位子120前移后后移的距離.02 左移右移的距離單位：mm氣缸關(guān)閉/打開：是否能夠進行平臺的移動按鈕顯示氣缸關(guān)閉則可進行平臺的前后左右移，反之則不行2.擺放基片（所有步驟中最重要的一步，會影響接下來的具體調(diào)刻）圖2-4用食指斜著推基板力度遞減，推2到3次確保左上角不留縫隙，這樣基片的位置就絕對正確。（再次提醒這一步很重要，將會影響效率）3移動平臺 查看位置鼠標左擊 前移按鈕（文本框數(shù)值 120），然后看平臺顯示器pts如圖2-5圖2-5觀察紅點是否在所需要調(diào)試的電阻下邊（黑色的小方塊）。圖2-64調(diào)阻根據(jù)所需要調(diào)阻的基片，選擇具體的調(diào)阻參數(shù)，如圖2-7，圖2-7選擇調(diào)入?yún)?shù)，找到相應(yīng)文件，選擇好正確的文件，然后點擊“修刻參數(shù)”中的“連續(xù)修刻”即可。5取出基片取出基片，擺放整齊

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