中華人民共和國國家計量技術規(guī)范 JJF13512012 掃描探針顯微鏡校準規(guī)范 CalibrationSpecificationforScanningProbeMicroscopes 2012-06-18發(fā)布 2012-09-18實施 國 家 質 量 監(jiān) 督 檢 驗 檢 疫 總 局 發(fā) 布 JJF13512012 掃描探針顯微鏡 校準規(guī)范 JJF13512012 CalibrationSpecificationfor ScanningProbeMicroscopes歸 口 單 位 全國幾何量長度計量技術委員會 :主要起草單位 中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所 : 上海計量測試技術研究院 貴州計量測試院參加起草單位 中國計量科學研究院 :本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋 JJF13512012本規(guī)范主要起草人 : 朱振宇 中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研 ( 究所 ) 任冬梅 中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研 ( 究所 ) 傅云霞 上海計量測試技術研究院 ( ) 李 源 上海計量測試技術研究院 ( ) 呂小潔 貴州計量測試院 ( ) 參加起草人 : 盧明臻 中國計量科學研究院 ( ) 李華豐 中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研 ( 究所 ) JJF13512012 目 錄 引言 () 范圍1 (1) 引用文件2 (1) 術語和定義3 (1) 掃描探針顯微鏡3.1 (1) 掃描探針顯微鏡Z 向漂移 3.2 (1) 概述4 (1) 計量特性5 (2) 掃描探針顯微鏡Z 向漂移 5.1 (2) X Y 軸位移測量誤差 5.2 、 (2) Z 軸位移測量誤差 5.3 (2) 掃描探針顯微鏡測量重復性5.4 (2) X Y 坐標正交性誤差 5.5 、 (2) 校準條件6 (2) 環(huán)境條件6.1 (2) 標準器6.2 (2) 校準項目和校準方法7 (3) 掃描探針顯微鏡 向漂移 7.1 Z (3) X Y 軸位移測量誤差 7.2 、 (4) Z 軸位移測量誤差 7.3 (5) 掃描探針顯微鏡測量重復性7.4 (6) X Y 軸測量重復性 7.4.1 、 (6) 軸測量重復性 7.4.2 Z (6) X Y 坐標正交性誤差 7.5 、 (6) 校準結果表達8 (7) 復校時間間隔9 (7)附錄 掃描探針顯微鏡校準結果的測量不確定度評定 A (8) JJF13512012 引 言 本規(guī)范為初次發(fā)布 制定本規(guī)范的目的主要是解決工業(yè)中掃描探針顯微鏡校準問 。題 規(guī)范編制中參考了國際上納米計量領域的一些理論性研究成果 并以實際納米計量 。 ,工作中的一些實驗數(shù)據(jù)為基礎制定了本規(guī)范 。 JJF13512012 掃描探針顯微鏡校準規(guī)范1 范圍 本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準 。 掃描探針顯微鏡根據(jù)其設計原理不同 校準時需要根據(jù)實際情況選擇相關的計量特 ,性 對有特殊要求的測量任務 如對溯源要求較高的測量 不在本校準規(guī)范的適用范圍 。 , , 。2 引用文件 本規(guī)范引用下列文件 : 通用計量術語及定義 JJF10012011 產(chǎn)品幾何量技術規(guī)范 表面結構 輪廓法 測量標 GB/T19067.12003 (GPS) 準 第 部分 實物測量標準 1 : 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本規(guī)范 凡是不注日期的引用文 , ;件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本規(guī)范 , ( ) 。3 術語和定義 掃描探針顯微鏡3.1 scanningprobemicroscope (SPM) 具有掃描測量功能的探針顯微鏡的統(tǒng)稱 主要包含原子力顯微鏡 掃描隧 。 (AFM)、道顯微鏡 等 (STM) 。 掃描探針顯微鏡Z 向漂移3.2 SPM Z-directiondrift 掃描探針顯微鏡定點測量時Z 向測量值的漂移 。4 概述 掃描探針顯微鏡具有高分辨力 實時 原位成像等特征 對樣品無特殊要求 不受 、 、 。 ,樣品的干燥度 形狀 硬度 純度等限制 可在大氣 常溫環(huán)境甚至是溶液