1、第1包 “半自動(dòng)勻膠機(jī)”1 設(shè)備名稱：半自動(dòng)勻膠機(jī)2 數(shù)量：1 套3 設(shè)備用途說明：半自動(dòng)勻膠機(jī)主要用主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，玻璃，陶瓷，ITO 導(dǎo)電玻璃等制版表面涂覆工藝?？稍诳蒲?，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。4 技術(shù)要求及參數(shù)：詳細(xì)見：技術(shù)性能指標(biāo)表。加“ * ”條款為必須滿足的條款，不得偏離。5 配置清單及零配件（包括專用工具） ：序號(hào)名稱數(shù)量1勻膠單元1 套2化學(xué)品柜單元1 套3裝載單元1 套4電機(jī)1 個(gè)5電缸2 個(gè)6勻膠吸盤1 個(gè)7氣動(dòng)泵1 個(gè)8電動(dòng)泵1 個(gè)9通斷閥7 個(gè)10四寸 Chuck1 個(gè)11設(shè)備操作手冊1 套12設(shè)備維護(hù)手冊1 套13化學(xué)品過

2、濾器3 個(gè)14顯示屏1 個(gè)15工控機(jī)1 個(gè)16電源箱1 個(gè)6 技術(shù)服務(wù)條款：售后服務(wù)要求：1) 投標(biāo)方需為本項(xiàng)目配備足夠的售后服務(wù)力量，具有國內(nèi)本地化的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。2) 投標(biāo)方售后服務(wù)響應(yīng)時(shí)間： 電話響應(yīng)時(shí)間要求 4 小時(shí)內(nèi)，到場響應(yīng)時(shí)間要求 2 個(gè)工作日內(nèi)（指從接到報(bào)障至到達(dá)故障現(xiàn)場的時(shí)間） 。3) 投標(biāo)方免費(fèi)提供技術(shù)支持熱線電話。4) 投標(biāo)方免費(fèi)提供 email 技術(shù)支持，并且在 24 小時(shí)內(nèi)回復(fù)。5) 投標(biāo)方提供儀器設(shè)備的免費(fèi)保修期至少一年 （保修期內(nèi)免費(fèi)維修并更換除消耗品以外的零部件， 不可抗因素及人為因素造成的除外， 維修人員的路費(fèi)、食宿等自理）。6) 投標(biāo)方提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書

3、及外購配件儀器說明書， 并指導(dǎo)在使用該設(shè)備時(shí)的操作注意事項(xiàng)等。7) 投標(biāo)方提供配套軟件至少一年的免費(fèi)升級(jí)服務(wù)。培訓(xùn)要求：1) 為保證投標(biāo)方所提供的儀器設(shè)備安全、 可靠運(yùn)行，便于招標(biāo)方的運(yùn)行維護(hù)，必須對(duì)招標(biāo)方培訓(xùn)合格的維護(hù)和管理人員。2) 投標(biāo)方負(fù)責(zé)對(duì)招標(biāo)方提供至少一次現(xiàn)場技術(shù)培訓(xùn)， 以便工作人員在培訓(xùn)后能熟練地掌握系統(tǒng)的維護(hù)工作，并能及時(shí)排除大部分的系統(tǒng)障礙。7 包裝要求：1應(yīng)使用嶄新堅(jiān)固的木質(zhì)包裝（標(biāo)準(zhǔn)包裝） ，適合于空運(yùn)、或陸運(yùn)等長途運(yùn)輸方式；適合氣候變化；投標(biāo)商應(yīng)對(duì)任何由于不當(dāng)包裝或防護(hù)措施不利而導(dǎo)致的商品損壞、損失、費(fèi)用增長等后果負(fù)責(zé)。8 交貨日期：合同簽訂后的 12周內(nèi)交貨9 到貨口

4、岸及交貨地點(diǎn)：寶安機(jī)場 / 中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院10 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：1) 儀器設(shè)備運(yùn)抵安裝現(xiàn)場后， 買方將與賣方共同開箱驗(yàn)收 , 如賣方屆時(shí)不派人來 , 則驗(yàn)收結(jié)果應(yīng)以買方和當(dāng)?shù)厣虣z人員的驗(yàn)收?qǐng)?bào)告為最終驗(yàn)收結(jié)果。驗(yàn)收時(shí)發(fā)現(xiàn)短缺、破損 , 買方有權(quán)要求賣方立即補(bǔ)發(fā)和負(fù)責(zé)更換。2) 賣方應(yīng)提出儀器設(shè)備測試的內(nèi)容、項(xiàng)目、指標(biāo)和方法 , 賣方有責(zé)任對(duì)買方的技術(shù)人員提出的問題作出解答。 測試應(yīng)進(jìn)行詳細(xì)記錄 , 儀器設(shè)備測試結(jié)束后 , 由賣方技術(shù)人員簽字后交給買方驗(yàn)收。3) 保修期自最終安裝驗(yàn)收合格后開始， 保修期內(nèi)賣方要保修除消耗品以外的所有部件。 在保修期內(nèi)，如果儀器設(shè)備發(fā)生故障， 賣方要調(diào)查故障

5、原因并修復(fù)直至滿足最終驗(yàn)收指標(biāo)和性能的要求， 或者更換整個(gè)或部分有缺陷的材料。以上都應(yīng)是免費(fèi)的。11 其它對(duì)儀器設(shè)備生產(chǎn)廠家要求：1) 廠家應(yīng)具備一定規(guī)模的科研、生產(chǎn)、技術(shù)支持及售后服務(wù)能力。2) 廠家在國內(nèi)設(shè)有技術(shù)支持中心及維修中心。附：技術(shù)性能指標(biāo)表編號(hào)招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)名稱招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)值21 應(yīng)用范圍和要求2 性能指標(biāo)主要用主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于半導(dǎo)體硅片，玻璃，等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。要求最大可支持12 英寸（ 300mm）圓基片，并向下兼容 8 英寸（ 200mm）、 4 英寸（ 100mm），并配備三個(gè)對(duì)中塊，分別對(duì)應(yīng) 12 寸片作業(yè)， 8

6、 寸片作業(yè)， 4 寸片作業(yè) , 針對(duì)不同尺寸基片，需要手動(dòng)更換相應(yīng)的對(duì)中塊。最大轉(zhuǎn)速： 5000 rpm最小調(diào)整量：1rpm轉(zhuǎn)速精度：±1rpm（50 rpm 5000 rpm ）夾持方式：真空吸附吸盤真空檢測：數(shù)顯真空壓力傳感器噴嘴數(shù)量： 22 路供膠系統(tǒng)：精密電動(dòng)計(jì)量泵1 套精密氣動(dòng)計(jì)量泵1 套背洗 nozzle （ BSR）： 2 個(gè)， 8&12 寸手動(dòng)切換去邊 nozzle （ EBR）： 1 個(gè)IPA nozzle（清洗）： 1 個(gè)ADP nozzle （增粘）： 1 個(gè)顯示系統(tǒng)： 15 英寸觸摸屏操作系統(tǒng) : Windows光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)：容積： 1 加侖數(shù)量：2

7、個(gè)供應(yīng)方式：精密計(jì)量泵數(shù)量： 1 個(gè) for高粘度 PR， 1 個(gè) for低粘度 PRIPA&ADP&EBR&BSR清洗液供應(yīng)系統(tǒng)：容積： 2G數(shù)量：3個(gè)33 軟件4 調(diào)試培訓(xùn)服務(wù)5 其他要求供應(yīng)方式：氮?dú)鈮毫蘖魉倏刂疲横橀y流量監(jiān)測：超聲波流量計(jì)余量檢測：液位檢測CDA （干燥潔凈空氣）：壓力： 0.5Mpa流量： 120L/min數(shù)量：1套N2 （工藝氮?dú)猓簤毫Γ?0.6Mpa流量： 30L/min數(shù)量：2套VAC （真空系統(tǒng)）：壓力： -73.3KPa流量： 30L/min數(shù)量：1套Exh.（排氣）：壓力： -350-450pa流量： 8m/s數(shù)量：2套Drai

8、n （廢液排放）：數(shù)量：1套電源：220V AC ,30A，三相五線制1. 具有直觀的圖形化軟件操作界面， 用于工藝程序的編輯、 執(zhí)行，系統(tǒng)診斷及硬件控制等2. 英文圖形操作接口，登陸權(quán)限設(shè)置：操作、工藝、維護(hù)3. 提供軟件的至少一年的免費(fèi)升級(jí)服務(wù)*1. 至少一次現(xiàn)場免費(fèi)培訓(xùn)2.滿足 24 小時(shí)熱線服務(wù)1.系統(tǒng)組建和實(shí)現(xiàn)測試功能等的必備附件42.系統(tǒng)使用說明書及培訓(xùn)文檔3.訂單確認(rèn)后1 個(gè)月內(nèi)需要提供設(shè)備的安裝條件5第 2包 “高重頻脈沖激光器”1 設(shè)備名稱：高重頻脈沖激光器2 數(shù)量：1 臺(tái)3 設(shè)備用途說明：用于光聲成像技術(shù)中的激光照射。應(yīng)用范圍包括光聲顯微成像、光聲斷層成像、光聲內(nèi)窺成像、光

9、聲光譜成像等光聲成像技術(shù)應(yīng)用。4 技術(shù)要求及參數(shù)：詳細(xì)見：技術(shù)性能指標(biāo)表。加“ * ”條款為必須滿足的條款，不得偏離。5 配置清單及零配件（包括專用工具） ：序號(hào)名稱單位數(shù)量1高重頻脈沖激光器臺(tái)12激光器控制電源臺(tái)13激光器冷卻系統(tǒng)臺(tái)14操作說明書份16 技術(shù)服務(wù)條款：售后服務(wù)要求：8) 投標(biāo)方需為本項(xiàng)目配備足夠的售后服務(wù)力量，具有國內(nèi)本地化的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。9) 投標(biāo)方售后服務(wù)響應(yīng)時(shí)間：電話響應(yīng)時(shí)間要求 4 小時(shí)內(nèi)，到場響應(yīng)時(shí)間要求 2 個(gè)工作日內(nèi)（指從接到報(bào)障至到達(dá)故障現(xiàn)場的時(shí)間） 。10) 投標(biāo)方免費(fèi)提供技術(shù)支持熱線電話。11) 投標(biāo)方免費(fèi)提供 email 技術(shù)支持，并且在 24 小時(shí)內(nèi)回復(fù)。

10、612) 投標(biāo)方提供儀器設(shè)備的免費(fèi)保修期至少一年（保修期內(nèi)免費(fèi)維修并更換除消耗品以外的零部件，維修人員的路費(fèi)、食宿等自理） 。13) 投標(biāo)方提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器說明書，并指導(dǎo)在使用該設(shè)備時(shí)的操作注意事項(xiàng)等。14) 投標(biāo)方提供配套軟件至少一年的免費(fèi)升級(jí)服務(wù)。15) 1 年免費(fèi)保修期滿后，投標(biāo)方提供每年至少2 次免費(fèi)上門調(diào)試服務(wù)。培訓(xùn)要求：3) 為保證投標(biāo)方所提供的儀器設(shè)備安全、可靠運(yùn)行，便于招標(biāo)方的運(yùn)行維護(hù)，必須對(duì)招標(biāo)方培訓(xùn)合格的維護(hù)和管理人員。4) 投標(biāo)方負(fù)責(zé)對(duì)招標(biāo)方提供至少一次現(xiàn)場技術(shù)培訓(xùn)，以便工作人員在培訓(xùn)后能熟練地掌握系統(tǒng)的維護(hù)工作，并能及時(shí)排除大部分的系統(tǒng)障礙。7

11、包裝要求：應(yīng)使用嶄新堅(jiān)固的木質(zhì)包裝（標(biāo)準(zhǔn)包裝），適合于空運(yùn)、或陸運(yùn)等長途運(yùn)輸方式；適合氣候變化；投標(biāo)商應(yīng)對(duì)任何由于不當(dāng)包裝或防護(hù)措施不利而導(dǎo)致的商品損壞、損失、費(fèi)用增長等后果負(fù)責(zé)。8 交貨日期：合同簽訂后的 16周內(nèi)交貨10 到貨口岸及交貨地點(diǎn)：深圳口岸 / 中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院10 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：4) 儀器設(shè)備運(yùn)抵安裝現(xiàn)場后，買方將與賣方共同開箱驗(yàn)收 , 如賣方屆時(shí)不派人來 , 則驗(yàn)收結(jié)果應(yīng)以買方和當(dāng)?shù)厣虣z人員的驗(yàn)收?qǐng)?bào)告7為最終驗(yàn)收結(jié)果。驗(yàn)收時(shí)發(fā)現(xiàn)短缺、破損 , 買方有權(quán)要求賣方立即補(bǔ)發(fā)和負(fù)責(zé)更換。5) 賣方應(yīng)提出儀器設(shè)備測試的內(nèi)容、項(xiàng)目、指標(biāo)和方法 , 賣方有責(zé)任對(duì)買方的技術(shù)人員提出的

12、問題作出解答。測試應(yīng)進(jìn)行詳細(xì)記錄 , 儀器設(shè)備測試結(jié)束后 , 由賣方技術(shù)人員簽字后交給買方驗(yàn)收。6) 保修期自最終安裝驗(yàn)收合格后開始，保修期內(nèi)賣方要保修除消耗品以外的所有部件。在保修期內(nèi)，如果儀器設(shè)備發(fā)生故障，賣方要調(diào)查故障原因并修復(fù)直至滿足最終驗(yàn)收指標(biāo)和性能的要求，或者更換整個(gè)或部分有缺陷的材料。以上都應(yīng)是免費(fèi)的。11 其它對(duì)儀器設(shè)備生產(chǎn)廠家要求：3) 廠家應(yīng)具備一定規(guī)模的科研、生產(chǎn)、技術(shù)支持及售后服務(wù)能力。4) 廠家在國內(nèi)設(shè)有技術(shù)支持中心及維修中心。附：技術(shù)性能指標(biāo)表編號(hào)招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)名稱招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)值用于光聲成像技術(shù)中的激光照射。應(yīng)用范圍包括光聲顯微成像、光聲斷層成像、 光聲內(nèi)窺成像、 光

13、聲光譜成像等光聲成像技術(shù)應(yīng)用，要求設(shè)備應(yīng)滿足高能量、 高重頻、波長連續(xù)可調(diào)等關(guān)鍵能力。1應(yīng)用范圍和要求同時(shí)也必須能夠保證設(shè)備的穩(wěn)定性和連續(xù)可用性，要求設(shè)備滿足光斑質(zhì)量、脈沖能量穩(wěn)定性、連續(xù)工作時(shí)間等參數(shù)。只接受高性能進(jìn)口激光器設(shè)備。高重頻脈沖激光器需要滿足：*1. 全一體化設(shè)計(jì)，全自動(dòng)計(jì)算機(jī)波長調(diào)諧。2 性能指標(biāo)2.泵浦光，倍頻光，信號(hào)光和閑頻光單獨(dú)輸出口可選。3.泵浦波長： 532nm84.泵浦能量： 80mJ*5. 重復(fù)頻率： 100Hz6.光斑直徑： 7mm*7. 脈沖寬度： 4-7ns8.波長調(diào)諧范圍：680-980nm （signal ） 1170-2400nm (idler)*9. 全波長調(diào)諧時(shí)間：10ms10.線寬： 10-450cm -1*11. 脈沖能量：25mJ7