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1、 濺射出的靶材粒子濺射出的靶材粒子氣體離子氣體離子電子電子靶材工件 氬氣在電場作用下被離化同時被加速氬氣在電場作用下被離化同時被加速, , 向加有負電壓的靶面飛去向加有負電壓的靶面飛去, , 轟擊轟擊靶材靶材表面，表面，引起引起靶材靶材表面各種粒子，如原子、分子或團表面各種粒子，如原子、分子或團束逸出束逸出即產(chǎn)生即產(chǎn)生濺射。濺出的中性原子濺射。濺出的中性原子與真空與真空腔內(nèi)同時被離化的氣體粒子反應(yīng)而腔內(nèi)同時被離化的氣體粒子反應(yīng)而沉積到工沉積到工件件表面表面上，上，於是於是形成形成了一定厚度的了一定厚度的膜層。膜層。以以TiNTiN為例為例, , 過程如下過程如下: : eAr+Ar能量離子化A
2、rgon氣體團氣體團Ar + e Ar+ +2e PowerAr+ + Ti Ti(Atom) +Ar+靶材被濺射出的靶材粒子氣體離子Ar+接地a)電場及磁場的布置電場及磁場的布置b)電子的運動軌跡電子的運動軌跡c)平面磁控電極表面電子的運動平面磁控電極表面電子的運動d)Z方向的收聚力方向的收聚力e)靶工作的圖片靶工作的圖片Ar+ + N2 2N +Ar+ Ti + N TiN基底材料基底材料上掛清洗烘烤鍍膜下掛入庫全檢來料抽檢涂抗指紋油固化終檢2.PVD工藝流程色差儀色差儀客客戶戶承承認認的的限限度度樣樣板板1. 測測試試條件條件:11*11格(厚度50um, 每格1*1mm2); 6*6格(50um厚度120um, 每格2*2mm2); 劃痕長度不小于20mm; 2. 判定級別判定級別: 0級-無任何剝落1級-剝落面積5%2級-5%剝落面積15%; 3級-15%剝落面積35%;4級-35%剝落面積65%;1 1.高金屬質(zhì)感和艷麗飽滿的色彩效果高金屬質(zhì)感和艷麗飽滿的色彩效果2.2.優(yōu)異的功能性優(yōu)異的功能性( (與基材的良好結(jié)合高的硬度和耐磨性等與基材的良好結(jié)合高的硬度和耐磨性等) )3.3.底材選擇的多樣化底材選擇的多樣化( (如不鏽鋼鈦合金甚至鋁合金如不鏽鋼鈦合金甚至鋁合金) )4.4.制
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