1、無塵室相關(guān)標準o無塵室原理o無塵室衡量標準o無塵室驗收標準Contents無塵室原理o無塵室概念無塵室概念: :l以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采用風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU送風(fēng),四周用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內(nèi)部凈化級別可達100100K級,適用局部凈化級別要求高的區(qū)域。l對微?？刂?、溫度、濕度、照明、噪聲、靜電、微振的多功能綜合整體。無塵室原理o依據(jù)送風(fēng)方式的不同依據(jù)送風(fēng)方式的不同： 可分為亂流式亂流式( (非均勻流型非均勻流型) )和單一方向式單一方向式( (均勻流型均勻流型) )。lClass 1100 均采用單向流送風(fēng)方式，即在同一截面的任一點，氣流的方向和速度均保持一致

2、，將室內(nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走?？克惋L(fēng)氣活塞般的擠壓作用。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的2%4%。lClass 1000 100000采用非單向流送風(fēng)方式，以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流或渦流，主要靠氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，以實現(xiàn)凈化?？繗饬鲾U散來稀釋。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的10%30%。o測量單位測量單位：微米微米(micrometer),1um=1m的百萬分之一。無塵室衡量標準o潔凈度潔凈度參照參照 STD-209E無塵室衡量標準oAir Change & HEPA 遮蔽率遮蔽率無塵等級Air Change(次/hr）HEPA 遮蔽率Class 100240480

3、50%100%Class 10001724010%35%Class 10000108%10%Air change: FFUAir change: FFU的表面積的表面積* *風(fēng)速風(fēng)速* *FFUFFU數(shù)量數(shù)量/Clean Room/Clean Room體積體積HEPAHEPA遮蔽率：遮蔽率： FFUFFU的表面積的表面積* * FFUFFU數(shù)量數(shù)量/Clean Room/Clean Room面積面積無塵室衡量標準o風(fēng)速、溫濕度風(fēng)速、溫濕度 氣流速度為：0.30.5m/s(60100ft/min) 。 一般之溫度控制范圍：T=(212) 一般之濕度控制范圍：(455)RH 無塵室衡量標準o壓差壓

4、差 在兩個無塵室間合理的設(shè)計壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認潔凈等級的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。無塵室驗收標準o用Particle Counter (Met One）測空氣中之粒子總數(shù)及大小(離作業(yè)面為30公分)。o依據(jù)ISO14644-1可分為三種操作狀態(tài)：完工狀態(tài)-無制程設(shè)備、原料或工作人員。完工后停止生產(chǎn)狀態(tài)-室內(nèi)有制程設(shè)備，不含工作人員。運轉(zhuǎn)狀態(tài)-三者皆在工作狀態(tài)。無塵室驗收標準o取樣次數(shù)要求取樣次數(shù)要求l單一方向氣流的測試數(shù)量100方法一、氣流的流入體積/25方法二、氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根選數(shù)字小

5、者l 非單一方向氣流的測試數(shù)量方法：氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根例如：計算iMac所使用的潔凈室的測試數(shù)量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次例如：計算M97所使用的潔凈室的測試數(shù)量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次1000無塵室驗收標準o潔凈度取樣要求潔凈度取樣要求l取樣需兩點以上l測試點要平均分布l各測試點須一個以上的取樣數(shù)l全體需5個以上的取樣數(shù)l各測試點的取樣數(shù)不一樣也可以 無塵室驗收標準o潔凈度判斷標準潔凈度判斷標準 兩個條件需同時滿足兩個條件需同時滿足

6、：l在每個測試點的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下l這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下無塵室驗收標準o實例說明實例說明 在Ring Room空態(tài)下，共取3個點，每個點測量0.5um的粒子，測量記錄如下： 第一點 8、0 第二點 20、8 第三點 11、23、14 判斷依據(jù)一判斷依據(jù)一、 在各測試點的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下 第一點的平均值 （8+0)/2=4 第二點的平均值 （20+8)/2=14 第三點的平均值 （11+23+14)/3=16o小結(jié)：滿足無塵室驗收標準 判斷依據(jù)二、判斷依據(jù)二、 這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CL

7、ASS上限值以下 上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù) M：平均值的平均 M =(4+14+16)/3=11.3 SE：標準誤差 SE=SD/ SD：標準偏差 L：測試點數(shù)量 SD= =6.429 SE=6.429/ =3.71LL)1-2/(3)11.3-(162)11.3-(142)311.-(4無塵室驗收標準UCL系數(shù)： 95%信賴界限的UCL系數(shù) 上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù) =11.3+3.71*2.9=22.1 總結(jié)：滿足無塵室驗收標準o其余要求其余要求序號驗收項目驗收標準尺寸備注 1立柱/橫梁鐵方通噴塑100*100mm2托框/盲板冷軋鋼板噴塑1200*670mm3黑色網(wǎng)格狀防靜電PVC窗簾/門簾靜電阻值：1061094無塵室鎮(zhèn)流器/鎮(zhèn)流器飛利浦/ T8燈管1200mm5FFU美埃/米河1175*575*250風(fēng)機檔位：3檔6高效過濾器美埃1170*570*70mm7初效過濾器米河495*495*45mm8電線（電路圖另附）無錫滬安國標9配電箱/開關(guān)斯奈德注：1.PVC窗簾與地面高度為1520cm，且應(yīng)該在立柱內(nèi)側(cè)。 2.配電箱是三相電，電壓380V。圖片欣賞FFU風(fēng)淋室1.2米方通