1、氣浮墊的研拋工藝及研拋機結構設計摘要隨著精密、超精密技術的發(fā)展日益進步,機器及檢測儀器等的精度要求越來越高,對氣浮墊的制造精度也提出更高的要求。目前,由于氣浮墊精密加工技術的研究還不夠深入,因此,研究氣浮墊的精密制造技術是氣浮墊領域函須解決的課題。針對研磨拋光過程，本文深入研究了磨料種類、粒度、拋光液溶劑、研拋壓力、研拋加工時間等因素對加工表面粗糙度的影響。根據(jù)氣浮墊研磨設備對研磨工藝的要求，本文設計了一種專門的研磨機，并對研磨機的各個部分進行分析和說明，并對部分零件進行驗證和校核。關鍵詞：氣浮墊；研磨；拋光；機械結構AbstractWith the development of Precis

2、ion and ultra-Precise technology, the accuracy of the machinery and the detecting instrument become higher, the Production accuracy of cushion needed also more higher. At present, the research about the cushion Precision finishing technology is not enough. So how to enhance the accuracy it is one of

3、 needing to resolve problem of the research area of the floatation cushion.On the surface roughness effects of abrasive type, grain size, polishing liquid solvents, polishing pressure, polishing machining time and so on, are researched in-depth for the process of mechanical polishing. According to g

4、as floating pad grinding equipment requirement for grinding process, this paper designed a kind of special grinding machine, and analyze the various parts of the grinding machine and instructions, and to verify and check parts.Keywords ：Gas floating cushion; Grinding; Polishing; The mechanical struc

5、ture氣浮墊的研拋工藝及研拋機結構設計前言1.1研究背景及意義 近年來，功能陶瓷、石英晶片、平面或多面體晶體和光學器件等硬脆材料的精密加工提出了很高要求，不僅要求這些材料有極小的平面度、極小的表面粗糙度、超平滑的表面1-3，還要求材料兩端面嚴格平行、無晶向誤差、表面無變質層等，有的甚至要求達到納米級或更高的加工精度和無損傷的表面加工質量，由于研磨拋光技術可以獲得很高的精度和超光滑表面，上述的材料均需采用精密研磨拋光技術3-8。利用研拋工具的亞口徑機械式研拋是目前加工創(chuàng)成復雜光學曲面主要方法，但無論是在創(chuàng)成原理還是在加工裝置上，都存在著難以逾越的固有缺陷。目前，許多研究主要是針對回轉對稱非球面

6、光學零件的加工技術及裝備。 對于有復雜幾何特征的光學曲面，研拋去除量總是非均勻變化的。這使得研拋工具與被加工工件之間的變形不一致。難以獲得均勻一致的面形精度研拋工具去除工件材料所形成的加工表面殘高也總是非均勻變化的9-11。因而難以獲得均勻一致的加工表面。質量為了使所獲得加工表面質量和面形精度滿足加工要求，同時機構的設計簡單實用性能可靠勢，必將增加研拋加工時間降低研拋加工效率。研磨和拋光硬脆材料去除機理比較復雜，硬脆材料的表面完整性、亞表面層損傷、零件幾何形狀受很多因素的影響12-15。研磨和拋光加工工藝參數(shù)成為歐美各大企業(yè)的機密，而且針對不同材料以及不同設備，其參數(shù)變化非常大，使其難以復制和

7、模仿16-19。目前，我國高檔次精密研磨設備設計制造水平不高，國外對高檔次精密加工工藝嚴格保密，這嚴重制約了我國精密加工技術的發(fā)展。為了加強我國精密研磨、拋光技術的發(fā)展，除了開發(fā)擁有自主產(chǎn)權的精密研磨拋光設備之外，研磨、拋光加工工藝也成為了研究重點20-23。1.2氣浮墊研磨拋光機理 氣浮墊壓力產(chǎn)生的原理:利用壓縮氣體的粘性,提高工作間隙中氣體的壓力從而將物體懸浮起來。如圖1.1所示,氣浮墊可以分為三種:動壓型,靜壓型和壓膜型。如圖1.1(a)所示,動壓氣浮墊是兩個面相對移動,且間隙呈楔狀,沿移動方向間隙逐漸變小。由于相對移動,氣體因其粘性作用,被拖帶壓入楔形間隙中,從而產(chǎn)生壓力,構成動壓懸浮

8、。如圖1.1(b)所示,靜壓型氣浮墊是將外部的壓縮氣體通過節(jié)流器導入間隙中,借助其靜壓使之懸浮起來。節(jié)流器的作用是當間隙變化時,調整間隙內的壓力,從而使氣浮墊具有一定的剛度。如圖1.1(c)所示,壓膜型氣浮墊利用了相互接觸的面沿垂直方向的振動,使間隙內的壓力的平均值高于周圍環(huán)境壓力這一原理。由于氣體具有粘性,間隙內的氣體不能快速出入,從而壓力增高。例如,讓一塊玻璃板平行地落在一塊平滑的板上時,玻璃板會輕輕地落下,從這一現(xiàn)象,就能夠理解壓膜氣浮墊的原理。 圖1.1.氣浮墊的工作原理在上述結構的氣浮墊形式中,動壓型和靜壓型得到更加廣泛的應用。在氣浮墊實際設計中,氣浮墊的節(jié)流方式也不同。分別利用噴嘴

9、、毛細管、縫隙的阻抗起到供氣孔節(jié)流的作用,而固有孔節(jié)流器是由供氣孔和氣浮墊間隙所形成的假想圓柱面起到節(jié)流器的作用。表面節(jié)流器是在氣浮墊面上設置與供氣孔連同的極淺的溝槽,溝槽的阻抗就構成了節(jié)流。多孔質節(jié)流器是氣浮墊的承載面采用了具有透氣性的多孔質材料,多孔質材料的阻抗起到了供氣孔節(jié)流器的作用。傳統(tǒng)的研磨一般利用鑄鐵研磨盤，采用手工實現(xiàn)無規(guī)則的運動或靠機床實現(xiàn)模模擬手工的運動軌跡。傳統(tǒng)的拋光一般利用瀝青、聚氯乙烯和無紡布等拋光盤，采用擺動、行星運動和環(huán)行運動等運動方式。研磨和拋光都是根據(jù)不同的加工條件涂敷不同的磨料，工件至于研磨盤或拋光墊上，用夾具裝夾工件并對工件施加一定的壓力，通過機床的主軸帶動

10、磨盤轉動，利用磨盤和工件間的相對運動和磨料的切削作用從工件表面去除一層很薄的材料，從而達到加工的目的，加工示意圖如圖12所示。圖1.2研磨拋光示意圖按照磨料的附著方式，研磨拋光方法可以分為兩種：固結磨料研拋和游離磨料研拋。固結磨料研磨工件主要以耕犁方式去除材料，具有加工效率高、成本低等優(yōu)點，但研磨工具磨損大，容易在工件上留下劃痕，難以得到無損傷表面；游離磨料研磨拋光工件是利用磨料顆粒在研磨盤和工件之間對工件表面滾壓，使工件表面產(chǎn)生微小破碎這種方式來去除材料，能獲得無損傷平滑表面。1.3研磨拋光加工工藝1.3.1磨料的選取 磨料一是研磨加工的“刀具”,在加工中的起著切削作用。因此,首先磨料一要有

11、較高的硬度,這是其磨削作用的關鍵所在,一般情況下磨料硬度大于被磨削工件硬度,再次要具有良好的韌性,保證和其他刃具一樣變鈍后能夠自銳。同時磨料的形狀和粒度應該均勻,這由研磨拋光加工的特殊性所決定的,另外還要有高溫穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性,這樣在加工的過程中保持自身的優(yōu)良機械和化學性能。 磨料的粒度也是一個很關鍵的因素,一般磨料的粒度指磨料的粗細程度。在相關的標準中都有規(guī)定,磨料的粗細用粒度表示,粒度號數(shù)越大,顆粒越小。粗顆粒用于粗加工。1.3.2.研磨液的選取通常,研磨加工時,不能直接用磨料對工件表面進行加工,必須加配其他的化學溶劑或其他輔助填料調配成研磨液,研磨液具有調和磨料及冷卻潤滑加工被加工接觸

12、面的作用,如果沒有選擇好合適的研磨液,對精密研磨拋光加工可能會帶來一系列的影響,如溫度升高以損傷氣浮墊試件的被加工表面,降低表面粗糙度、產(chǎn)生劃痕、損傷磨盤等危害。因此,和磨料一樣對研磨液的組成和配比也有要求,例如參與作用的研磨液要有冷卻和潤滑的物理性質,還要具有一定的粘度,以致有勃附作用。在實際生產(chǎn)中不容易被研磨盤甩出;其物理作用和化學性質也要良好,研磨液一般是由磨料和活性劑組成的。用于研磨磨料的硬度必須高于工件的硬度,現(xiàn)在可以作為磨料的材料有金剛石、碳化硼、氧化鋁等。由于研磨過程活性劑在研磨過程中起到很重要的作用,如果只有磨料,沒有合適的活性劑,可能會產(chǎn)生許多問題,所以研磨劑要求應該有懸浮、

13、潤滑、冷卻、去損、清洗和防銹性能。1.3.3研磨工藝傳統(tǒng)的研磨和拋光，設備條件只是實現(xiàn)高質量研拋的必要條件。工藝條件和操作者的技藝也起著十分重要的作用。通常學者們從研磨拋光的4個基本組成部分：工件、研磨拋光液、磨粒和拋光盤入手研究研磨和拋光加工工藝與加工質量的關系。Yongwu Zhao等人以硅片為研究對象，采用化學機械拋光方法探討了研磨拋光工藝參數(shù)對材料去除率的影響，他指出磨粒大小是影響材料去除率的主要因素，轉速和壓力是次要因素；BJHooper等人研究了拋光墊磨損對硅片表面質量與材料去除率的影響；HY Tam等人研究了轉速、磨粒大小等加工參數(shù)光學器件表面粗糙度的影響，并得到Ra=107 n

14、ln的光滑表面；Nabil Belkhir等人以玻璃為研究對象，探討了磨粒與材料去除量的關系，他指出磨粒的形狀直接影響其切削行為，磨損后的磨粒材料切削能力明顯降低；AQBiddut等人研究了磨粒大小與加工壓力對硅片表面損傷的影響，并指出能否得出無損傷表面，磨粒大小與加工壓力是關鍵；浙江工業(yè)大學周兆忠等采用A1203磨料，約50rim的Si02拋光液，以聚胺酯作為拋光墊，鑄鐵盤研磨盤對氮化鋁基片進行研磨，得到表面粗糙度Ra為8nm的超光滑表面；廣東工業(yè)大學袁慧等人研究了工程陶瓷研磨拋光工藝，并指出磨削質量主要受到磨粒粒度的影響。影響研磨效果的因素除了研磨盤、磨料種類、磨料粒度等一系列因素外，研磨

15、壓力、轉速、研磨液濃度、研磨液流量、研磨時間等因素對研磨的效果也有很大的影響。由于時間和精力有限，在本論文中就不一一論述。第二章 氣浮墊拋研機結構設計2.1氣浮墊拋研機的結構總體設計平面研磨機為精密研磨拋光設備，被研磨、拋光材料放在研磨盤上，研磨盤逆時鐘旋轉，修正輪帶動工件盤自轉，重力加壓的方式對工件施加壓力，工件盤與研磨盤作相對摩擦運動來達到加工的效果。圖2.1為本設計初步設計的平面研拋機原有的結構示意圖。其工作原理是研磨盤由電機通過減速機構帶動旋轉，研磨盤上有三個加工工位，并在工件盤上放置加載砝碼，這樣研磨盤在旋轉，由于摩擦力矩的作用帶動工件盤的也在旋轉，在砝碼加壓的情況下兩者的相互轉動摩

16、擦起到材料去除的作用，達到研磨的效果。 圖2.1拋研機結構總體設計2.2氣浮轉臺的設計在精密研磨拋光加工工藝中,離不開研磨盤的存在,研磨盤是加工的場所,幾乎所有的研磨拋光加工都是在研磨拋光盤上進行的,對于研拋盤的選擇也至關重要。在加工中,磨料對被加工件進行磨削,同時研磨盤也同樣在受到磨損。研磨拋光盤自身的精度對氣浮墊的表面精度影響很大,甚至會把這種精度關系“復印”到氣浮墊表面上,故要求研磨盤的加工面要有較高的幾何精度。氣浮轉臺主要包括直流力矩電機。氣浮軸承以及軸承所需要的供氣系統(tǒng)等組成。氣浮轉臺的各部件在設計時考慮了結構對稱性原則，以提高轉臺軸系回轉時的平穩(wěn)性。轉臺軸系選用氣浮軸承支承軸系上，

17、同軸安裝進口無刷直流力矩電機作為直接驅動元件，轉臺部件在設計制造時力求在形狀尺寸和質量分布上對各自的正交坐標平面對稱。并且要求在滿足結構件強度和剛度的前提下同時力求內環(huán)軸系質量最小盡量減小軸系轉動慣量，氣浮轉臺利用多孔噴射氣浮墊產(chǎn)生靜壓 支撐待研拋工件由于采用多孔噴射技術， 平臺表面壓力分布均勻， 具有承載能力強剛度好抗氣振等優(yōu)點 。主要應用于精密測量和超精加工等精密氣浮轉臺如圖2.2所示。圖2.2 精密氣浮墊床氣浮轉臺中的核心部件就是氣浮軸承氣浮軸承，又稱為空氣軸承，指的是用氣體。通常是空氣，但也有可能是其它氣體。作為潤滑劑的滑動軸承空氣軸承消除了由摩擦力引起的阻力。磨損提供了極高的徑向和軸

18、向旋轉精度由于旋轉的轉子和靜態(tài)支撐部分之間沒有機械接觸，磨損程度降到了最低，從而確保精度始終保持穩(wěn)定，空氣軸承內部的低剪切力能夠在提供極高轉速的同時，將動力損失降到最低，使產(chǎn)生的熱量非常小并能同時保持較低的振動水平。在高精度和高速領域上優(yōu)勢十分明顯.2.3.氣浮墊研磨機傳動機構設計 本設計所設計的電動機到研磨臺的傳動才用鏈傳動。鏈傳動具有帶傳動和嚙合傳動的一些特點，其優(yōu)點是：鏈傳動沒有彈性滑動和打滑，能保持準確的平均傳動比；傳動尺寸比較緊湊；不需要很大的張緊力，作用在軸上的載荷較??；承載能力大；效率高（=0.950.98）。同時；鏈傳動能吸振與緩和沖擊，結構簡單，加工成本低廉，安裝精度要求低，

19、適合較大中心距的傳動，并能在溫度較高、濕度較大、油污較重等惡劣環(huán)境中工作。鏈傳動的缺點是：高速運轉時不夠平穩(wěn)；傳動中有沖擊和噪聲；不宜在載荷變化很大和急促反向的傳動中使用；只能用于平行軸間的傳動；安裝精度和制造費用比帶傳動高。 圖2.3 鏈傳動Figure 2.3 chain鏈傳動的適用場合：廣泛應用于中心距較大、多軸、平均傳動比要求準確的傳動。環(huán)境惡劣的開式傳動、低速重載傳動及潤滑良好的高速傳動，均可采用鏈傳動。滾子鏈傳遞的功率通常在100kw以下，鏈速在15m/s以下，傳動比I=7。目前其最大傳遞功率可達500kw，最高中心距可達8m。綜合分析各種傳動方案，從傳動效率、傳動比、傳動速度、制

20、造成本和安裝精度、傳動裝置外廓尺寸等方面綜合考慮，本設計課題的傳動方案采用鏈傳動。 2.4 選用電動機 電動機的容量（功率）選得是否合適，對電動機的工作和經(jīng)濟性都有影響。當容量小于工作要求時，電動機不能保證工作裝置的正常工作，或電動機因長期過載而過早損壞；容量過大則電動機的價格高，能量不能充分利用，且因經(jīng)常不在滿載下運動，其效率和功率因數(shù)都較低，造成浪費。根據(jù)機械設計1取 磨臺質量： 工件所受重力： 滿載時每個托輪所受切向力： 磨臺線速度： 磨臺所需功率： 查表得： 電動機至磨臺的總效率 電動機所需功率所以選用電動機額定功率綜上所述，電動機可選用YTC系列齒輪減速三相異步電動機，根據(jù)額定功率選

21、用YTC502型。第三章 機械傳動件的設計計算3.1 鏈傳動的設計與計算 此處省略NNNNNNNN字需要完整版請聯(lián)系QQ九九八七二一八四。故障原因維修措施鏈板或鏈輪齒嚴重側磨1.各鏈輪不共面2.鏈輪端面跳動嚴重3.鏈輪支承剛度差4.鏈條扭曲嚴重1.提高加工與安裝精度2.提高支承件剛度3.更換合格鏈條鏈板早期疲勞開裂潤滑條件良好的中低速鏈傳動，鏈板的疲勞是主要矛盾，但若過早失效則有問題：1.鏈條規(guī)格選擇不當2.鏈條品質差3.動力源或負載動載荷大1.重新選用合適規(guī)格的鏈條2.更換質量合格的鏈條3控制或減弱負載和動力源的沖擊振動滾子提前碎裂1.鏈輪轉速較高而鏈條規(guī)格選擇不當2.鏈輪齒溝有雜物或鏈條磨

22、損嚴重發(fā)生爬齒和滾子被擠頂現(xiàn)象3.鏈條質量差銷軸磨損或銷軸與套筒膠合鏈條鉸鏈元件的磨損是最常見的現(xiàn)象之一。正常磨損是一個緩慢發(fā)展的過程。如果發(fā)展過快則1.潤滑不良2.鏈條質量差或選用不當1.清除齒溝雜物或換新鏈條2.更換質量合格的鏈條。續(xù)表5.1故障原因維修措施外鏈節(jié)外側擦傷1.鏈條未張緊，發(fā)生跳動，從而與鄰近物體碰撞2.鏈箱變形或內有雜物1.使鏈條適當張緊2.消除箱體變形、清除雜物鏈條跳齒或抖動1.鏈條磨損伸長，使節(jié)距和垂度過大2.沖擊或脈動載荷較重3.鏈輪齒磨損嚴重1.更換鏈條或鏈輪2.適當張緊3.采取措施穩(wěn)定載荷鏈輪齒磨損嚴重1.潤滑不良2.鏈輪材質較差，齒面硬度不足1.改善潤滑條件2.

23、提高鏈輪材質和齒面硬度3.把鏈輪拆下，翻轉180再裝上，則可利用齒廓的另一側而延長使用壽命卡簧、開口銷等鏈條鎖止元件松脫1.鏈條抖動過烈2.有障礙物磕碰3.鎖止元件安裝不當1.適當張緊或考慮增設導板托板2.消除障礙物3.改善鎖止件安裝質量振動劇烈、噪聲過大1.鏈輪不共面2.松邊垂度不合適3.潤滑不良4.鏈箱或支承松動5.鏈條或鏈輪磨損嚴重1.改善鏈輪安裝質量2.適當張緊3改善潤滑條件4.消除鏈箱或支承松動5.更換鏈條或鏈輪6.加裝張緊裝置或防振導板 根據(jù)以上鏈傳動的滾子鏈傳動的故障與維修，當鏈傳動出現(xiàn)故障時，可以根據(jù)以上的內容來對鏈輪傳動進行調整，從而達到鏈輪傳動的最佳效果。4軸的設計及計算4

24、.1 軸的材料應用于軸的材料種類很多，主要根據(jù)軸的使用條件，對軸的強度、剛度和其他機械性能等的要求，采用的熱處理方式，同時考慮制造加工工藝，并力求經(jīng)濟合理來選擇軸的材料。軸的常用材料是優(yōu)質碳素鋼，如35、45和50，其中以45號鋼最為常用。根據(jù)本設計的要求，選45號鋼作材料。4.2 軸的結構設計軸的結構設計是確定軸的合理外形和全部結構尺寸，為軸設計的重要步驟。一般軸的結構設計原則：a）節(jié)約材料，減輕重量，盡量采用等強度外形尺寸或大的截面系數(shù)的截面形狀；b）易于軸上零件的精確定位、穩(wěn)固、裝配、拆卸、和調整；c）采用各種減少應力集中和提高強度的結構措施；d）便于加工制造和保證精度。由材料力學可知，

25、軸的扭轉強度4條件為 式中 為軸的扭轉切應力，單位為; 為軸所受的扭矩，單位為; 為軸傳遞的功率，單位為； 為軸的轉速，單位為; 為軸的抗扭截面系數(shù)，單位為； 為許用扭轉切應力，單位為。由此推得實心圓軸的基本直徑為： 式中為計算常數(shù)，取決于軸的材料和受載情況，查表知，45號鋼的C的范圍為，取 所以 當軸段上開有鍵槽時，應適當增大軸徑以考慮鍵槽對軸的強度的削弱：單鍵槽增大3%，雙鍵槽增大7%，然后將軸徑圓整。綜合以上取，軸的結構設計如下圖：圖4.1 主軸 4.3軸上鍵的校核 根據(jù)軸和鏈輪配合的要求，初選平鍵A ，對于采用常見的材料組合和按標準選取尺寸的普通平鍵連接（靜連接），其主要失效形式是工作

26、面被壓潰。除非有嚴重過載，一般不會出現(xiàn)鍵的剪斷。因此，通常按工作面上的壓力進行條件性的強度校核計算。假定載荷在鍵的工作面上均勻分布，普通平鍵連接的強度條件為 （5-18）式中：T傳遞的轉矩，；k鍵與輪轂鍵槽的接觸高度，此處h為鍵的高度，mm；l鍵的工作長度，mm，圓頭平鍵，這里L為鍵的公稱長度，mm，b為鍵的寬度，mm；d軸的直徑，mm；p鍵、軸、輪轂三者中最弱材料的許用擠壓應力。在軸上傳遞的轉矩為電動機的輸出轉矩 （5-19）鍵與輪轂鍵槽的接觸高度 鍵的工作長度 軸的直徑 由機械設計表6-2，選擇代入公式（5-18）：滿足條件。轉向箱輸出端鍵的校核結構與電動機軸端結構相似，選擇 平鍵A 10

27、*10*28計算公式與上式相同傳遞的轉矩 鍵與輪轂鍵槽的解除高度 鍵的工作長度 L=24mm。軸的直徑 代入公式（5-18）：滿足條件。5 軸承的選擇和潤滑5.1 軸承的選擇選擇滾動軸承的類型與多種因素有關，通常根據(jù)下列幾個主要因素：A.負荷情況 負荷是選擇軸承最主要的依據(jù)，通常應根據(jù)負荷的大小，方向和性質來選擇軸承。a)負荷大小：一般情況下，滾子軸承由于是線接觸，承載能力大，適用于承受較大負荷，球軸承由于是點接觸，承載能力小，適用于輕，中等負荷。b)負荷方向：純徑向力作用，宜選用深溝球軸承，圓柱滾子軸承或滾針軸承。純軸向負荷作用，選用推力球軸承或推力滾子軸承。徑向負荷和軸向負荷聯(lián)合作用時，一

28、般選用角接觸球軸承或圓錐滾子軸承。若徑向負荷較大而軸向負荷較小時，也可選用深溝球軸承和內外圈都有擋邊的圓柱滾子軸承。若軸向負荷較大而徑向負荷小時，可選用推力角接觸軸承，推力圓錐滾子軸承。c)負荷性質：有沖擊負荷時，宜選用滾子軸承。B.高速性能 球軸承比滾子軸承有較高的極限轉速，故高速時應優(yōu)先考慮選用球軸承。在相同內徑時，外徑越小，滾動體越輕小，運轉時滾動體作用在外圈上的離心力也越小，因此更適合于較高轉速下工作。在一定條件下，工作轉速較高時宜選用超輕，特輕系列的軸承。C.調心性能 當軸兩端軸承孔同心性差或軸的剛度小，變形較大，以及多支點軸，均要求軸承調心性好，這時應選用調心球軸承或調心滾子軸承。

29、D.允許的空間 徑向尺寸受限制的機械裝置，可選用滾針軸承或特輕，超輕型軸承；軸向尺寸受限制時，宜選用窄或寬系列的軸承。E.安裝與拆卸方便 整體式軸承座或頻繁裝拆時，應優(yōu)先選用內外圈可分離的軸承。軸承裝在長軸上時，為裝拆方便可選用帶錐孔和緊定套的軸承。根據(jù)以上所述及本設計的具體要求，選用調心球軸承。5.2 軸承的潤滑軸承潤滑主要目的是減少摩擦和磨損，同時起到冷卻，吸振，防銹及降噪的作用。常用的潤滑劑有潤滑油，潤滑脂及固體潤滑劑(二硫化鉬)。選擇潤滑劑應當考慮工作溫度，軸承負荷，轉速及其工作環(huán)境影響。一般來說，溫度高，負荷大，轉速低時選用粘度高的潤滑劑。潤滑油選擇：常用的潤滑油有-機械油，高速機械

30、油，汽輪機油，壓縮機油，變壓器油，汽缸油等等。一般而言，軸承轉速越高，則選用較低粘度的潤滑油。負荷越重，則選用粘度較高的潤滑油。潤滑方法有：油浴潤滑，循環(huán)油潤滑，噴油潤滑及油霧潤滑。選擇潤滑油或潤滑脂的一般原則如表9.1：表9.1 選擇潤滑油或脂潤滑的一般原則影響選擇的因素用潤滑脂用潤滑油溫度當溫度超過120時，要用特殊潤滑脂。當溫度升高到200-220時，再潤滑的時間間隔要縮短油池溫度超過90或軸承溫度超過200時，可采用特殊的潤滑油溫度系數(shù)400000400000500000載荷低到中等各種載荷直到最大軸承形式不用于不對稱的球面滾子推力軸承用于各種軸承殼體設計較簡單需要較復雜的密封和供油裝

31、置長時間不需維護的地方可用。根據(jù)操作條件，特別要考慮工作溫度不可以用集中供油選用泵送性能好的潤滑脂。不能有效地傳熱，也不能作為液壓介質可用最低轉矩損失如填裝適當，比采用油的損失還要低為了獲得最低功率損失，應采用有清洗泵或油霧裝置的循環(huán)系統(tǒng)污染條件可用。正確的設計可防止污染物的侵入可用。但要采用有防護、過濾裝置的循環(huán)系統(tǒng)結論我本次的畢業(yè)設計選題新穎，涉及知識面廣，包括氣浮墊研磨機的總體結構設計、軸承的選用、電機的選用、鍵的選用與校核、鏈輪傳動的設計等各個方面的內容，基本上涉及了我大學四年所學的各項內容同時也涉及到一些書本上不曾涉及的內容，是對我大學四年所學知識的一次全面的總結，也是對我所學知識的

32、進一步拓展。在本設計中，執(zhí)行工作的從動件能滿足生產(chǎn)工藝提出的運動形式、運動規(guī)律、功能范圍和運動性能等諸方面的具體要求。結構簡單，尺寸大小適度，在整體布置上占有空間小，布局緊湊。制造加工容易，維修拆裝方便，工作中穩(wěn)定可靠，使用安全，具有足夠的壽命。滾筒與電動機的運動方式，功率、轉矩及其載荷特性能夠相互協(xié)調，與其他相鄰機構的銜接正常，傳動運動和力可靠，不會發(fā)生運動干涉。本機符合生產(chǎn)的需要，具有較高的生產(chǎn)率和經(jīng)濟效益。致 謝為期三個多月的畢業(yè)設計已經(jīng)接近尾聲，回顧整個過程，我深有感受。在設計過程中，我翻閱了很多與我課題相關的資料，同時將以前所學的有直接聯(lián)系的相關專業(yè)科目認真的溫習了一邊，豐富了許多理

33、論方面的知識。這次設計使我四年中學到的基礎知識得到了一次綜合的應用，使學過的知識結構得到了科學的組合，同時也從理論到實踐發(fā)生了一次質的飛躍，可以說這次設計是理論知識與實踐運用之間相互過渡的橋梁，是我們即將踏上工作崗位的臺階。在畢業(yè)設計的過程中，我發(fā)現(xiàn)自身的許多不足，理論知識不夠扎實，設計經(jīng)驗不足，同時又缺乏實踐工作的磨礪，從而導致在設計時難以做出正確的選擇，對課題的內容茫然不知所措。對資料的應用也不夠確切，對設計產(chǎn)品的具體形狀、運作方式、性能指標也不能有一個準確的定位。缺乏對具體產(chǎn)品的想象力，當查閱有關資料時， 設計思維又受到書本內容的束搏，不能得到擴展，始終局限于個別的、單一的理論或實體。這

34、一切都是可能導致我本次設計的不足之處，懇請老師和同學指正。由于自己能力所限，時間倉促,設計中還存在許多不足之處，懇請各位老師同學給予批評指正。參考文獻1 王軍單晶藍寶石基片精密研磨工藝研究D大連：大連理工大學，20082 徐萬孚，劉雨川，李廣宇，等螺旋槽干運行非接觸氣體密封的理論分析與試驗J機械工程學報，2003，39(4)：124-273 周圣人，朱維兵，王和順節(jié)流孔特性對靜壓干氣密封性能的影響J潤滑與密封，2003，21(2)：69-734 張君安，方宗德用可變截面均壓槽實現(xiàn)高剛度空氣靜壓軸承的結構設計J西安石油大學學報，2006，21(6)：96-985 王偉,欒道成,陳庚.超細硬質合金

35、研究進展綜述J.西華大學學報(自然科學版),2009,28(4):1001046 鄶吉才,張飛虎.ELID磨削鈍化膜彈簧剛度計算模型研究J.工具技術,2008,28:29-327 榮烈潤.超精密研磨拋光方法J.航空精密制造技術,2005,41(2):4-7.8 簡金輝,焦鋒.超精密加工技術研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢.機械研究與應用,2008:4-89 任敬心,黃奇.激光陀螺反射鏡基片精密拋光技術的研究J.航空精密制造技術,1992, 47 (1):11-13,10 徐鋒,左敦穩(wěn),王珉等.CVD金剛石厚膜的機械拋光及其殘余應力的分析.人工晶體學報,33(3):437-440.11 Wang CY, Kuang TC, Qin Z, Wei X. How abrasive machining affec