1、I丿朋加研潤企業(yè)MC030-1401雙向精密自準(zhǔn)直儀使用說明書上海研潤光機科技有限公司上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證 目錄TOC o 1-5 h z概述31.1儀器的用途2儀器特點3工作條件技術(shù)特性31技術(shù)規(guī)格1儀器組成工作原理與結(jié)構(gòu)特征41儀器的工作原理2儀器的結(jié)構(gòu)特征3附件的組成4個單元結(jié)構(gòu)之間的機電聯(lián)系5輔助裝置的功能結(jié)構(gòu)及其工作原理使用、操作131使用前的準(zhǔn)備和檢查2找像與讀數(shù)3水平面的直線度測量4垂直于水平面的測面的直線度測量5垂直面的直線度和垂直度測量6直線移動導(dǎo)軌運動誤差的測

2、量4.7平面度的測量4.8圓分度誤差的測量9小角度誤差測量故障分析與排除271光學(xué)零件發(fā)霉2光學(xué)零件生霧3附著物4分劃線刻線脫色TOC o 1-5 h z保養(yǎng)、維護286.1日常維護、保養(yǎng)2運行時的維護、保養(yǎng)3正常檢修周期開箱及檢查291開箱注意事項2開箱檢查內(nèi)容運輸、貯存291吊裝運輸注意事項2貯存條件，貯存期限及注意事項驗收項目、方法及數(shù)據(jù)29上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證 概述1.1儀器的用途雙向自準(zhǔn)直儀是利用自準(zhǔn)直法，對小角度范圍內(nèi)的微小角度變化進行測量的精密儀器。儀器主體和平面反

3、射鏡聯(lián)合使用，可測量工件的直線度，平板的平面度；與光學(xué)直角器,帶磁反射鏡聯(lián)合使用，可測量垂直導(dǎo)軌的平直度和垂直度；與多面體聯(lián)合使用，可測量度盤的圓分度誤差。本儀器特別適合與生產(chǎn)現(xiàn)場。2儀器特點雙向自準(zhǔn)直儀具有原理、結(jié)構(gòu)簡單，體積小，精度高，使用方便，配以一定的附件后,能擴大使用范圍的特點。3工作條件工作室應(yīng)保持清潔，無塵，無振動，電源為220V50Hz交流電，室溫203C,其溫度變化每小時不超過1C。技術(shù)特性1技術(shù)規(guī)格工作距離0-10米物鏡焦距400毫米物鏡口徑42毫米目鏡放大倍率17.5倍測微鼓輪分度值（每格相當(dāng)于）線度值L/200微米角度值1.03秒1秒此處L為反射鏡基座有效長度（毫米）目

4、鏡分劃板分度值（每格相當(dāng)于）線度值100XL/200微米角度值100X1.03秒示值范圍1600格示值精度當(dāng)測微鼓輪不超一圈時土(0.5+0.01n)格當(dāng)測微鼓輪超過一圈時(15+0.0015n)格n為測微鼓輪的測量格數(shù)。例如：測微鼓輪轉(zhuǎn)過一周，n=100格；轉(zhuǎn)過兩周，n=200格。TOC o 1-5 h z光學(xué)直角器精度2秒儀器主體外形尺寸(長X寬X高)254mmX57mmX157mm2儀器組成主體1件水平調(diào)整板1件反射鏡1件220V/6V5W光源變壓器1件6V3W燈泡3件木盒1件特殊附件(據(jù)訂貨供應(yīng))取景器1件帶磁反射鏡1件光學(xué)直角器1件3工作原理與結(jié)構(gòu)特征1儀器的工作原理1.1光學(xué)自準(zhǔn)直

5、法的測量原理儀器的光學(xué)系統(tǒng)如圖1上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證(4 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 圖1儀器的光學(xué)系統(tǒng)圖1射鏡2、3物鏡4、5反射鏡7、8分劃板9、10目鏡11十字線分劃板12濾光片13光源光源13發(fā)出的光線照明位于物鏡2.3焦平面上的分劃板11的十字線再經(jīng)分光棱鏡6,反射鏡4.5,被物鏡2.3成一束平行光束射向平面反射鏡1；若平面反射鏡的反射面垂直于光軸，光線仍按原路返回，經(jīng)物鏡2.3、反射鏡4.5和分光棱鏡6成像在位于其焦點的指標(biāo)

6、線分劃板8上，與指標(biāo)分劃線重合，人眼通過目鏡9.10觀察到像。若平面反射鏡1的反射面不垂直與光軸，而有一偏角a見圖2。則反射光線將有2a的偏角，在目鏡中的十字線像將相對于指標(biāo)線像位移一個距離y。a角與距離Y的關(guān)系式如下:y=2fa即a=y/2f圖2儀器的原理圖式中：f物鏡的焦距a平面反射鏡傾斜角度，以弧度表示。適當(dāng)選擇物鏡組焦距f和分劃板刻線間距，利用測微讀數(shù)系統(tǒng)，可測出距離y,即可算出反射鏡的偏角值a。注：距離y與平面反射鏡到主體之間的距離無關(guān)。1.2測量直線度的工作原理用雙向自準(zhǔn)直儀測量時，是逐段測量實際線各段的斜率變化。儀器主體固定在被測件外,而將反射鏡安裝在跨距適當(dāng)?shù)幕迳?。然后在被測

7、表面上依次移動基板，讀取反射鏡傾角變化的數(shù)值，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，可以得到直線度誤差。見圖3。圖3水平面平直度的測量主體2.反射鏡基座3.反射鏡4.被測表面5.墊塊6.擋板3.1.3測量垂直面的直線度和垂直度的工作原理如圖4,先用帶磁平面反射鏡2檢驗水平面的直線度，在兩個面的轉(zhuǎn)角處放一五角棱鏡，然后，檢查垂直面的直線度，用帶磁反射鏡在垂直面上每移動L距離讀一次數(shù)，直到被測面全長。把這些數(shù)據(jù)畫成圖以次評價兩個相互垂直的面的直線度和垂直度。3.1.4測量平面度的工作原理測量平面度的工作原理如圖5對于窄長平面的形狀誤差，可以用直線度表示，但對于較廣寬平面的形狀誤差，必須用平面度表示。一個平面可以看作由任

8、意直線組成的，因此可以由幾個剖面的直線度誤差來反映該平面的平面度誤差。測量平面度誤差是測量被測表面上的幾個特點剖面（逐一讀出個剖面上各測點的讀數(shù)），然后按選定的基準(zhǔn)，以各個被測剖面的直線度誤差及相互聯(lián)系，來確定被測表面的平面度誤差。測量剖面的布置通常采用米字形和網(wǎng)格形。3.1.5測量圓周分度誤差的工作原理圖4垂直度測量1.儀器主體帶磁發(fā)射鏡3.被測平面4.直角反射鏡上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* #上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證 圖5平面測量點的圖

9、6圓周分度誤差測量1.儀器主體2.多面體3.被測轉(zhuǎn)臺利用雙向自準(zhǔn)直儀測量圓周分度誤差，其主要原理是將被測圓分度盤與一個更高精度的圓分度標(biāo)準(zhǔn)量多面棱體直接進行比較測量，以測的被測圓分度器件的分度誤差，示意圖見圖6。這里多面棱體代替了平面反射鏡的位置。若多面棱體的面數(shù)為n,那么每隔360/n測量一次。3.1.6小角度測量的工作原理如圖7所示圖7雙像法測玻璃平板平行差原理1被測件2儀器物鏡3十字線由儀器主體射出一束平行光線垂直投射到折射率為n的平板玻璃上，若平板玻璃的平行度誤差小于儀器的精度，則該平板玻璃前后表面發(fā)射的分劃板十字線的兩個自準(zhǔn)直像是重合的。若平板玻璃的平行度誤差大于儀器的格值，則從目鏡

10、分劃板可以看到由平板玻璃前后兩表面反射回來而被分開的兩個十字線分劃板的像。根據(jù)兩個像分開的距離a就可以計算出平板玻璃的平行度偏差9。由幾何光學(xué)定律，可以推出9=a/n式中：n玻璃的折射率a從目鏡測微鼓輪上直接讀出的兩個像分開的角距離2儀器的結(jié)構(gòu)特征雙向自準(zhǔn)直儀是由儀器主體、變壓器和反射鏡構(gòu)成。21儀器主體（見圖8）上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* # 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證 #圖8儀器的結(jié)構(gòu)特性1水準(zhǔn)泡2反射鏡3箱體基面4儀器箱體5水準(zhǔn)泡6測

11、微鼓輪7目鏡8鎖緊螺釘9照明燈座106v3w插銷116v3w插銷12按扭13變壓器儀器主體內(nèi)裝有一套自準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)；照明燈座9可插進套筒內(nèi)照明十字線分劃板,旁向有緊定鎖緊螺釘。測微器裝在儀器主體上方，外部有鼓輪6,目鏡7和換向鎖緊螺釘8。目鏡上有視度調(diào)整螺旋，可正反旋轉(zhuǎn)，適應(yīng)不同視力的檢測員檢測。換向鎖緊螺釘用來分別在互相垂直方向上鎖緊測微器。儀器箱體基面3是工作定位面，安放在測量基面上。水準(zhǔn)泡5用來判斷儀器安放是否水平。2.2變壓器（見圖8）變壓器上有一個插銷14用來聯(lián)結(jié)220V50HZ的電源；插孔11用來聯(lián)結(jié)照明燈。按扭開關(guān)12是變壓器的總開關(guān)，按下即可接通照明燈電源。2.3反射鏡（見圖8

12、）反射鏡2制成一整體，底面是工作定位面。測量時可放在基板上或直接置于被測表面，反射面朝向主體。水準(zhǔn)泡1用來判斷反射鏡的方向是否處于水平位置。3附件的組成3.1水平調(diào)整板（見圖9）上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* # 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證LalviJMrihC 圖9附件結(jié)構(gòu)特征1儀器主體2水平調(diào)板3螺釘4取景器5帶磁發(fā)射鏡6推柄7直角反射器水平調(diào)整板由水平板2,調(diào)整螺釘3組成。使用時旋動調(diào)整螺釘，可調(diào)整儀器主體找水平。它和主體儀器的位置關(guān)系如

13、圖所示。3.2帶磁反射鏡（見圖9）帶磁反射鏡5是安裝了永久磁鐵的反射鏡。上邊設(shè)有推柄6,推進拉出可使磁鐵具有或消失磁性。3.3光學(xué)直角器（見圖9）光學(xué)直角器7由五角棱鏡及棱鏡座組成，它起到指教轉(zhuǎn)折光路的作用。3.4取景器（見圖9）取景器4由取景光學(xué)系統(tǒng)、取景器座組成，當(dāng)發(fā)射鏡和儀器主體相距很遠時，借助取景器可以方便地找到發(fā)射像。3.4個單元結(jié)構(gòu)之間的機電聯(lián)系只要使變壓器與220V電源接通，將照明燈的引線插銷插進變壓器插座內(nèi)，按下變壓器開關(guān)，點亮儀器體內(nèi)的照明燈，繼而可進行測量工作。3.5輔助裝置的功能結(jié)構(gòu)及其工作原理在逐段法測量中，反射鏡應(yīng)安放在專用基板上。（用戶自備）3.5.1專用基板結(jié)構(gòu)圖

14、10反射鏡基板座形式可以采用正弦規(guī)，如圖10a；具有三個球頭或圓柱頭支點的平板，如圖10b；或按被測表面的需要采用的其它形式。3.5.2基座的有效長度選擇基座的有效長度時，一要考慮測量精度，測點要多些，有效長度不宜過大。其次應(yīng)使被測曲線的總長除以基座的有效長度所得值為整數(shù)，以免發(fā)生漏測或重測現(xiàn)象而造成測量誤差。除此還應(yīng)考慮便于計算。本臺儀器有效長度最佳值為200mm,這時當(dāng)測微鼓輪轉(zhuǎn)一格時，有效長度兩端高度相差1pm。5.3多面棱體多面棱體作為測量圓分度誤差的基準(zhǔn)，其本身精度要求較高，面數(shù)不受限制，經(jīng)常使用的是六面、十六面、三十六面棱體，受加工工藝以及多面體外徑尺寸和最小反射面尺寸的限制，多面

15、體的最大面數(shù)少于72面。.使用、操作1使用前的準(zhǔn)確和檢查用汽油和脫脂棉或綢布清潔儀器主體和附件，清潔被測表面將照明燈插入儀器主體，鎖緊之，接通電源。c選擇儀器的安放位置，儀器安放一定要穩(wěn)固可靠，位置合適，宜于觀察，測量過程中不得上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證LalviJMrihC #移動儀器主體。d安裝儀器主體，使于水平調(diào)整板或被測表面接觸良好，并盡量使物鏡光軸與測量方向一致。e視度調(diào)節(jié)，直到能看清分劃板上的刻線和刻

16、度為止。2找像與讀數(shù)2.1找像a儀器主體與平面反射鏡處于同一被測面上。當(dāng)反射鏡離主體較近時，擺動反射鏡，明亮的十字線就會出現(xiàn)在視場中，當(dāng)反射鏡離主體較遠時，可以使用取景器快速找像。其方法如下：首先把取景器放在反射鏡的前面，在取景器內(nèi)找到由主體物鏡出射光束所形成的綠色十字簇，然后擺動反射鏡，這時在取景器內(nèi)可以看見一簇隨著反射鏡擺動而移動的綠色十字，當(dāng)兩簇十字重合時，字線像就會出現(xiàn)在主體目鏡的視場中央。b主體與反射鏡不在同一被測平面上主體應(yīng)放在水平調(diào)整板上，使主體物鏡中心和反射鏡中心大致處于同一高度，調(diào)整水平調(diào)整板，使主體上和反射鏡上的水準(zhǔn)泡具有同一示值，然后重復(fù)a的作法。2.2讀數(shù)十字線的像成在

17、分劃板之后，轉(zhuǎn)動測微鼓輪，使指標(biāo)線在視場內(nèi)移動，直到指標(biāo)線套在十字線內(nèi)，即可從刻線分劃板及測微鼓輪上的刻度讀出數(shù)值。測微鼓輪一圈等分100格,相當(dāng)于刻線分劃板上的一格。3水平面的直線度測量3.1操作方法（1）松開測微器鎖緊螺釘，轉(zhuǎn)動目鏡頭以使測尾鼓輪的軸線防線平行于物鏡光軸的方向，擰緊鎖緊螺釘。鎖住目鏡頭。（2）將反射鏡安置在專用的基座上固定，測量中二者不能相對移動。（3）將基座安放在被測表面上找像。（4）按照3.1.2圖4,將基座放在被測表面的0-L毫米位置上讀數(shù)，然后按首尾相接的原則,每隔L毫米依次移動反射鏡座并讀數(shù)，直至被測表面的末端。3.2注意事項（1）測量中，最好在反射鏡基座側(cè)面位置

18、擋板，使基座始終緊靠擋板移動，有利于提高測量精度。（2）如主體放在被測表面的一端，完成一個測量之后，應(yīng)將主體放在另一端，重測一次，以得到被測表面在整個長度上的平直度誤差。（3）如果只需對直線度進行粗略測量，可將反射鏡座直接放置在被測表面上，按首尾相接的原則每隔200mm依次移動反射鏡座，操作方法同4.3.1（4）。3.3數(shù)據(jù)處理直線度誤差通常是以被測表面測量方向上各點至某一參考線之間的距離來計量的。參考線一般是取被測表面的起始點和末端點的聯(lián)線，如3.1.2圖3所示，聯(lián)線OP就是參考線。但是，按照上述的測量方法所得到的讀數(shù)值卻是以平行于主體物鏡光軸的直線，亦即以平行于主體底面的直線作為參考線的，

19、該直線通過測量的起點0,相當(dāng)于圖3中的直線OX,OX稱為測量參考線。為了求得被測表面的直線度誤差，應(yīng)對測量數(shù)據(jù)做如下處理：首先計算出被測方向上各點至測量參考OX之間的距離。從圖3可以看出，某個測量點到0X之間的距離，是該測量點之前個點讀數(shù)值的累計，用式子表示為：i.式中：i被測點位置的順序數(shù)i=l,2，3.i各被測點的讀數(shù)值（測微鼓輪的分格值）；其中：40=0而為反射鏡基座在0-L位置的讀數(shù)值；測微鼓輪的分度值（線度值），對本儀器而言，當(dāng)安放反射鏡的基座的有效長度為Lmm時，鼓輪格值所代表的線度值為L/200mm微米。當(dāng)L=200mm時，=lAm。根據(jù)上式的計算結(jié)果，就可以用作圖法求出被測表面

20、的直線度誤差。在測量方向上相對與測量參考線的形狀曲線。以測量參考線為橫坐標(biāo)軸，以各點至測量參考線之間的距離為縱坐標(biāo)，作出被測表面在測量方向上相對于測量參考線的形狀曲線。把起始點與末端點連成一線，它就是計量直線度誤差的參考線。各測量點到該參考線之間的距離就是直線度誤差。為計算和作圖方便，通常使0=A1=0,可以這樣處理：如3.1.2圖3所以，若以通過i=0和i=l兩測點的直線0X作為測量參考線，那么個測量點上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* # #上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:

21、2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證LalviJMrihC #的讀數(shù)值A(chǔ)i應(yīng)為：ii=Ai-Al式中：-以平行于主體物鏡光軸的直線（OX）作為測量參考線使個測量點的讀數(shù)值。1=1,2,3被測方向上任一測量點到測量參考線OX之間的距離為：Si.e表1就是按照上式利用圖法計算直線度誤差的計算表格，圖11是根據(jù)表1的數(shù)據(jù)作出的直線度誤差曲線，各點到參考線OP之間的距離就是直線度誤差。如果要用計算方法直接得到各點的直線度誤差數(shù)值，只要將OP繞0點回轉(zhuǎn)到OX的位置就行，這時曲線上各點到0P的距離，亦即各點的直線度誤差hi可以用下式表示：Hi=Yi.e-（i/n）Si.e式中：n整個測量長度上所分的段數(shù)表2是直接計算

22、出直線度誤差的表格，圖12是根據(jù)表2的數(shù)據(jù)作出的直線度誤差曲線。表一直線度誤差計算表格被測點位置的順序數(shù)i0123456反射鏡基座位置L（毫米）020040060080010001200各點的讀數(shù)值i（格）078.879.388.080.072.565.8i（格）-0.0+0.5+9.2+1.2-6.3-13.0示值ie（微米）-0.0+0.5+9.2+1.2-6.3-13.0各點至測量參考線的距離SAie（微米）0.0+0.5+9.7+10.9+4.6-8.4上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系

23、認(rèn)證* 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證LalviJMrihC #圖2直線度誤差計算表格被測點位置的順序值i0123456反射鏡基座位置L（毫米）020040060080010001200各點的讀數(shù)值i（格）078.879.388.080.072.565.8i（格）0.0+0.5-9.2-1.2-6.3-13.0示值ie（微米）0.0+0.5+9.2+1.2-6.3-13.0各點至測量參考線的距離為i8（微米）0.0+0.5+9.7+10.9+4.6i-8.4示值的算術(shù)平均值1/nSie（微米）（-8.4）/6=-1.4參考線旋轉(zhuǎn)修正值i/nSie（微米）-

24、1.4-2.8-4.2-5.6-7.0-8.4直線度誤差Hi=Si8（微米）-i/n0.0+1.4+3.3+13.9+16.5+11.60.0工i8（微米）hi（Am）圖13平直度度誤差曲線注：直線度誤差定義為包容實際直線度誤差曲線，且距離為最小的兩平行直線之間的距離。而我們在評定直線度誤差時，卻是以被測表面的起始點和末端點的連線作為參考，取各測量點到該參考線之間的最大距離作為直線度誤差。對于圖3所示的那種只有一個最高點(或一個最低點)的曲線，其評定方法與定義并無矛盾。但對于具有多個最高點(或最低點)的曲線，若以起點和終點和連線作為參考線來評定直線度誤差，就違背了直線度誤差的定義。不過評定值的

25、差別不大，一般情況下可以不予考慮。4.4垂直于水平面的側(cè)面的直線度測量4.4.1操作方法松開目鏡頭鎖緊螺釘，將目鏡頭順時針旋轉(zhuǎn)90度，使測微鼓輪的軸線方向與物鏡光軸方向垂直，鎖緊目鏡頭。將基座安置于水平面上，其側(cè)面應(yīng)經(jīng)過刮研，能沿被測表面可靠移動，基座側(cè)面與被測表面接觸良好。反射鏡安放在基座上，找像，重復(fù)4.3.1(13)的步驟。同4.3.1(4)4.4.2數(shù)據(jù)處理同4.3.34.5垂直面的直線度和垂直度測量常用的例子是銑床水平導(dǎo)軌與垂直導(dǎo)軌的直線度和垂直度檢查。4.5.1操作方法在被測表面上，每隔L毫米處做一記號，作為測量點。按圖4所示，將光學(xué)直角器安放在兩平面的交角處，將主體安裝在水平面上

26、，再調(diào)節(jié)主體上目鏡頭的測微鼓輪軸線與物鏡光軸重合。帶磁放射鏡放在垂直面測量起點。注意盡量使物鏡光軸通過光學(xué)直角器和平面反射鏡的中心。輕微擺動反射鏡和光學(xué)直角器，使亮十字線出現(xiàn)在視場中，讀數(shù)。帶磁反射鏡在垂直面上，每移動2毫米讀一次數(shù)，直至被測表面的全長。4.5.2數(shù)據(jù)處理4.5.2.1平直度同4.3.34.5.2.2垂直度在處理數(shù)據(jù)求得垂直度之前，先按4.3.1的方法測出水平面各點的直線度誤差，舉例如下（參見4.3.3,測yi相當(dāng)于表2中Yi測得水平面各點相對于測量基準(zhǔn)的量值為：測點Xi測值yi(Am)0-0.5-0.5+1+0.5上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體

27、系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* #上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證LalviJMrihC #測得垂直面各點相對測量基準(zhǔn)的量值為：注：若兩個表面平直度好，粗略地檢驗垂直度誤差可以用以下方法：帶磁反射鏡首先放在水平面上讀一次數(shù)，然后放在垂直面上讀一次數(shù)，此兩個讀數(shù)值之差就是兩表面的垂直度誤差。4.6垂直移動導(dǎo)軌運動誤差的測量4.6.1操作方法1將儀器主體安放在導(dǎo)軌以外的平臺的水平調(diào)整板上。2將反射鏡安放在導(dǎo)軌滑板上，在測量過程中，不準(zhǔn)碰到反射鏡。3移動導(dǎo)軌滑板，每隔L毫米讀一次數(shù)，直到滑板的移動全程。4.6.2數(shù)據(jù)

28、處理如果我們并不需要對運動誤差作嚴(yán)格的檢查，那么只要取得導(dǎo)軌的起始點、中間點和末尾點三個測量點就夠了，由這但個測量點的讀數(shù)值，就可以很快的作出運動誤差曲線。舉例如下：各測量點至起點的距離（mm）300600各測量點的讀數(shù)值（秒）20.216.2從表中可以看出，讀數(shù)值從起始點到末尾點是逐漸減小的，并且是比較均勻地改變。因此該導(dǎo)軌的直線性誤差是中間凸起的圓弧狀，如圖14所示。上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 圖14圖中A

29、、B、C點表示起始點，中間點和末尾點，從圖上可以看出，ZAOC=（20.2-12.6）=7.6而ZAOB=（20.2-16.2）=4，即ZAOC=2ZAOB，因此：我們可以把直線誤差曲線看作圓弧狀。實際上，導(dǎo)軌的直線性誤差曲線通常總是呈現(xiàn)上凸或下凹的近似圓弧的形狀，這個例子是具有普遍意義的。中間的凸起量BD的數(shù)值有一經(jīng)驗公式：BD=ZADC/4x0.5x10-2xL式中：ZA0C單位：秒L測量的間距單位：毫米BD單位：微米這個例子中，BD=7.6/4x0.5x10-2x3003Am如果讀數(shù)值從起始點到末尾點是逐漸增大，那么，誤差曲線就成為中間低，兩邊高的圓弧形狀。4.6.3注意事項導(dǎo)軌直線性誤

30、差，引起導(dǎo)軌在移動過程中對起始運動方向的偏移，這個偏移可分解為兩部分，一是在導(dǎo)軌運動面內(nèi)對起始運動方向的相對位移，一是在垂直與導(dǎo)軌運動面內(nèi)的傾斜，第二部分可以用儀器精確地測量，第一部分不會引起反射鏡的傾斜，儀器檢測不出這項誤差，可以利用微測表測量出其平行位移量，因此，利用本儀器和測微表能夠?qū)崿F(xiàn)運動導(dǎo)軌直線性誤差的全面測時。4.7平面度的測量4.7.1測量點的布置如圖5所示，以被測平面的中心0為起點，找出反射鏡基座有效長度L的整數(shù)倍的A、B、C、D、E、F、G、H各點，構(gòu)成一個捎小于被測平面外形的矩形。如果對角線AC和BD不能滿足L的整數(shù)倍，則可將測量點布置成圖5的形狀。4.7.2測量方法分別測

31、得平面上各個方向的平直度誤差。操作同4.3.14.7.3數(shù)據(jù)處理各個方向的平直度誤差列表6，由于各個方向的平直度誤差都是以起始點和末端點的連線作為參考線來度量的，因此各個方向的參考線不會在同一個平面內(nèi)，為了度量平面度誤差，必須有一個參考面，該參考面可以這樣求得：取A點和C點的連線AC（即AOC方向度量平直度的參考線）為參考面內(nèi)的一條線。且令中心點0平直度誤差亦即中線點0離參考線AC的高度為hAC。再由BOD方向測得平直度誤差值，得到中心點0離參考線BD的高度為h。（通常hMh）平行位移參考線BD至BzDz，BDACBD使hB，d，=hAC，我們?nèi)⒖季€AC和B，D，所決定的平面作為度量平面度誤

32、差的參考面。表6中第9、10、11、12欄中，就是把各個方向的平直度誤差換算到相對于參考面的平面度誤差。圖15是各個方向的平面度誤差曲線Hi（Am）上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* #圖15平面度誤差曲線對AOC方向而言，由于參考線AC位于參考面之內(nèi)，因此，它的平直度誤差就是表示了平面度誤差。對BOD方向而言，由于參考線BD平行位移+6.3m,因此，各點的平直度誤差需要加上+6.3Mm才表示該方向的平面度誤差。對AE

33、B防線而言，A點在參考面內(nèi)，而B點離參考面為+6.3，為使參考線AB旋轉(zhuǎn)至AB各點的平直度誤差應(yīng)作旋轉(zhuǎn)修正。其數(shù)值為i*6.3/8。各點的平直度誤差加上旋轉(zhuǎn)修正量就是平面度誤差。DGC，AHD，BFC方向的處理方法同AEB方向相同。對HOF和GOE方向而言，參考線兩端都不在參考面內(nèi)，因此，為了求得相對參考面的平面讀誤差，參考線除了平行位移而外，還需作旋轉(zhuǎn)，以便取得修正量。HOE兩個方向的平面度中可以看出，中心點0的平面度誤差分別為+13.5M和+12.5Mm,其中GOE方向同AOC方向的中心點0的平面度誤差數(shù)值（+13.5Mm）相差lMm,這個偏差主要是由測量誤差產(chǎn)生的。8圓分度誤差的測量（見

34、圖6）4.8.1操作方法（1）把被檢圓周分度儀器與儀器主體（或連同水平調(diào)整板）安放在同一穩(wěn)定平臺上。（2）多面棱體安放或裝夾在被檢儀器精密度盤的回轉(zhuǎn)軸線附近，應(yīng)用磁性千分表大致調(diào)整其同心，同心誤差在1mm左右，將二者固為一體。（3）測量a移動儀器主體，使主體物鏡與多面棱體反射面的距離盡可能接近，減少氣流對測量的影響。b使多面棱體的反射面對稱地處于主體入射光瞳的中心，其光軸需與多面棱體的旋轉(zhuǎn)軸成90度。（可調(diào)節(jié)水平調(diào)整板上的調(diào)節(jié)螺釘）。（4）轉(zhuǎn)動被測儀器，直到任何位置的反射鏡通過目鏡視場時，其反射像始終處于中間狀態(tài)，否則，重復(fù)3的步驟。（5）旋轉(zhuǎn)被測儀器，記下棱體工作面序號，度盤讀數(shù)和測微目鏡的

35、讀數(shù)。8.2數(shù)據(jù)處理a在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值，多面體工作面序號和主體測微目鏡讀數(shù)同時增加。見表7。表7在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值，多面體工作面序號和主體測微目鏡讀數(shù)值同時增加。序號度盤讀數(shù)多面體中主體測微目鏡與起始點讀數(shù)值之差示值誤差值（）心角誤差讀數(shù)值（格）格秒（）（）100.01075.00.00.00.0260+0.31065.5-9.5-9.8-9.5上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* #3120+0.

36、51071.0-4.0-4.1-3.611.04180+2.01074.5-0.5-0.5+1.55240+3.11070.5-4.5-4.6-1.56300+1.21069.0-6.0-6.2-5.0b在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值和多面體工作面序號增加，而主體測微目鏡讀數(shù)值減少。見表8c在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值和主體測微目鏡讀數(shù)值增加，而多面體工作面序號減少。見表9表8在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值和多面體工作面序號增加，而主體測微目鏡度數(shù)值減少。表8序號度盤讀數(shù)多面體中主體測微目鏡讀數(shù)值示值誤差值（）心角誤差與起始點讀數(shù)值之差（）（）秒（變號）格秒100.00.00.00.00.0260

37、+0.3-9.8+9.5+9.8-9.53120+0.5-4.1+4.0+4.1-3.611.04180+2.0-0.5+0.5+0.5+1.55240+3.1-4.6+4.6+4.6-1.56300+1.2-6.2+6.0+6.2-5.0表9在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值和主體測微目鏡讀數(shù)值增加，而多面體工作面序號減少。表9序號度盤讀數(shù)多面體中主體測微目鏡讀數(shù)值示值誤差（）上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證*上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* 上海研潤光機科技有限公司通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證* #值（）心

38、角誤差（）與起始點讀數(shù)值之差格秒100.00.00.00.02601.28.08.39.53120-3.1.050.53.611.041802.0+3.4+3.5+1.552400.51.01.01.563000.34.64.75.0d.在同一回轉(zhuǎn)方向時，度盤讀數(shù)值增加，而多面體工作面序號和主體測微目鏡讀數(shù)值減少。見表10表10在同一回轉(zhuǎn)方向，度盤讀數(shù)值增加，而多面體工作面序號和主體測微目鏡讀數(shù)值減少。表10序號度盤讀數(shù)多面體中主體測微目鏡讀數(shù)值示值誤差值（）心角誤差與起始點讀數(shù)值之差（）（）秒（變號）格秒100.00.00.00.00.02601.28.3+8.0+8.39.531203.1

39、0.5+0.5+0.53.611.041802.0+3.5+3.43.5+1.552400.51.01.0+1.01.563000.34.74.6+4.75.0表11為對分度值10的光學(xué)分度頭示值誤差檢定結(jié)果的處理方法，從該例可以看出，分度誤差：|+6.7|+|-9.1|=15.8表11圓分度誤差計算表格序號度盤讀數(shù)值多面體的主體測微目與起始點讀數(shù)值示值誤差（）實際角度鏡讀數(shù)值之差（格）格秒1000001075.00.00.00.0260000060+0.31065.5-9.5-9.8-9.531200000120+0.5-1071.0-4.0-4.1-3.641800000180+2.010

40、74.0-0.5-0.5-1.511.052400000240+3.11070.5-4.5-4.6-1.563000000300+1.21069.0-6.0-6.2-5.01100001070.00.00.00.0261000060+0.31076.0+6.0+6.2+6.531210000120+0.51076.0+6.0+6.2+6.741810000180+2.01068.0-2.0-2.1+0.115.852410000240+3.11063.0-7.0-7.2-4.163010000300+1.21060.0-10.0-10.3-9.113000001073.00.00.00.029

41、0000060+0.31070.5-2.5-2.6-2.331500000120+0.51065.5-7.5-7.7-7.242100000180+2.01059.0-14.0-14.4-12.414.452700000240+3.11056.0-17.0-17.5-14.463300000300+1.21059.0-14.0-14.4-13.213100001065.00.00.00.0291000060+0.31062.5-2.5-2.6-2.331510000120+0.51066.0+1.0+1.0+1.542110000180+2.01073.5+8.5+8.8+10.813.152

42、710000240+3.11070.5+5.5+5.7+8.863310000300+1.21071.5+6.5+6.7+7.99小角度誤差測量9.1操作方法將儀器主體和被測光學(xué)件放置在同一平臺上，調(diào)整光學(xué)件的第一反射面和儀器光軸垂直。在儀器視場中找到光學(xué)件第一和最后反射面分別反射回來的像。從目鏡分劃板和測微鼓輪讀出兩個像所分開的角距離a。9.2數(shù)據(jù)處理將所測得的數(shù)據(jù)a代入下式：9=a/n即可求出。式中：n玻璃的折射率a-從目鏡測微鼓輪上直接讀出的二個像分開的角距離5故障分析與排除1光學(xué)零件發(fā)霉5.1.1故障現(xiàn)象在光學(xué)零件上，見到蜘蛛絲狀的東西，就是發(fā)霉現(xiàn)象。1.2原因分析這是霉菌繁殖的結(jié)果，