1、成品清洗與產(chǎn)品封裝游游更健康1主要內(nèi)容1、成品清洗A、作用和意義B、清洗儀器C、清洗環(huán)境D、清洗工藝E、清洗工藝改進2、產(chǎn)品封裝A、封裝流程B、注意事項2一、成品清洗作用與意義3一、成品清洗作用與意義PSS生產(chǎn)中，片子表面的清潔處理占有重要作用，如果片子表面有沾污或有金屬離子時，則1、光刻工序中，雜質(zhì)會使涂膠不均勻，沾潤不良，從而導致圖像不清晰，高度和尺寸改變，大大降低成品率。2、同時使在其上生長的LED性能變壞，反向飽和電流增大。4一、成品清洗常用清洗劑特性類別常用清洗劑主要作用有機溶劑丙酮(ACE), IPA (異丙醇)，三氯乙烷相似相溶原理，去除有機沾污無機酸硫酸，磷酸，硝酸腐蝕作用氧化

2、劑雙氧水，濃硫酸，硝酸氧化還原作用雙氧水洗液1號液（APM）：NH4OH:H2O2：H2O2號液 （HPM): HCL:H2O2: H2O3號液 （SPM）: H2SO4: H2O2: H2O 強氧化性，可去除無機及有機沾污絡(luò)合劑鹽酸（HCL）、氫氟酸(HF)、氟化銨絡(luò)合作用，去除金屬雜質(zhì)5一、成品清洗一般清洗流程清除顆粒，分子去除離子去除原子DI水清洗6一、成品清洗清洗設(shè)備（超聲）7一、成品清洗清洗間環(huán)境要求整個圖行化藍寶石襯底加工環(huán)境對藍寶石晶片的表面質(zhì)量有很大影響。對于開盒即用得藍寶石襯底，通常要求清洗包裝需要在100級的凈化室里進行。操作人員必需按要求穿戴防塵服，代口罩，手套，人員進入

3、需要經(jīng)過風淋，最好不要使用手機，禁止拉開防塵服拿取手機注意花籃，鑷子衛(wèi)生，清洗后的片子減少直接暴露在空氣中的時間。8一、成品清洗清洗工藝丙酮+超聲（5min）IPA+超聲（5min）DI水沖洗（5min）H2SO4:H2O2 (90，10min)DI水沖洗（10min）甩干檢測，數(shù)據(jù)，分類H2SO4:H2O2 (90，10min)DI水沖洗（10min）甩干9一、成品清洗-清洗工藝改進三氯乙烷+超聲（5min）丙酮+超聲（5min）IPA+超聲（5min）DI水沖洗（5min）有頑固有機沾污時，如有臘檢測，數(shù)據(jù)，分類H2SO4:H2O2 (90，10min)DI水沖洗（10min）2號液（HCL:H2O2）(70，10min，超聲)DI水沖洗 （5min）甩干增強防ESD效果去除金屬離子10二、產(chǎn)品封裝工藝流程包裝前檢測做好分類標記，數(shù)據(jù)整理，歸類真空包裝入庫雖然步驟簡單，這是直接交客戶GaN生長的最后一道工序，一定要做到，產(chǎn)品清潔完整，標識分類清楚，真空度高。11二、產(chǎn)品封裝注意事項1、產(chǎn)品分類清楚，標條與產(chǎn)品一一對應(yīng)2、出貨檢測報告，標條數(shù)據(jù)信息填寫規(guī)范整潔3、包裝后，產(chǎn)品包裝袋呈真空狀態(tài)（以方便折疊產(chǎn)品為準），若空氣過多不合格，重新包