1、，收入端：國產(chǎn)替代加速推進，疫情影響下仍高速增長，66751101291612461440%10%20%30%05010015020040%25050%30060%2016201720182019202020212022H1365%144%77%75%67%51%47%44%22%-14%-73%400%350%300%250%200%150%100%50%0%-50%-100%2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計實現(xiàn)營業(yè)收入144億元，同比+42%。若剔除精測電子和萬業(yè)企業(yè)， 2022H1九家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)營業(yè)收入合計131億元，同比+59%。在疫情影響設(shè)備交付、客戶驗證的基礎(chǔ) 上，收入端仍

2、實現(xiàn)高速增長，表現(xiàn)十分亮眼。分環(huán)節(jié)來看，薄膜沉積設(shè)備、CMP設(shè)備、測試設(shè)備表現(xiàn)十分出色。1）2022H1拓荊科技、華海清科營收 增速分別為365%和144%，主要系2021年在手訂單充足，2022H1設(shè)備加速交付確認收入。2）2022H1長 川科技、華峰測控營收增速分別為77%和67%，一方面受益于2021年封測行業(yè)景氣度較高，另一方面系 積極進行新品拓展，長川科技數(shù)字測試機、三溫分選機快速放量，華峰測控STS8300快速放量、IC設(shè)計 客戶順利拓展。3）2022H1盛美上海營收同比增速達到75%，主要受益于ECP&爐管設(shè)備快速放量。4） 2022H1精測電子、萬業(yè)企業(yè)營收同比下滑，主要系傳統(tǒng)

3、主業(yè)拖累，二者半導(dǎo)體設(shè)備收入占比較低。圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)營業(yè)收入144億元，同比+42%圖：2022H1拓荊科技、華海清科營收同比增速領(lǐng)跑行業(yè)營業(yè)收入（億元）同比（%）2022H1營收同比（%）4圖：2022H1長川科技、盛美上海、華海清科等利潤端表現(xiàn)突出，利潤端：延續(xù)高速增長，扣非利潤增速遠超收入端，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計歸母凈利潤24.8億元，同比+46%，略高于收入增速，延續(xù)高速增長。若剔除精測電子和萬業(yè)企業(yè)，2022H1九家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)歸母凈利潤合計24.2億元，同比+90%。分企業(yè)來看：1）2022H1長川科技、盛美上海、華海清科、北方華創(chuàng)歸母凈利潤同比增

4、速均超過100%， 領(lǐng)跑半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，利潤端增速大幅領(lǐng)先收入端，盈利水平明顯提升。此外，2022H1芯源微、華峰 測控利潤端表現(xiàn)同樣出色，高于收入端增速。2）2022H1拓荊科技實現(xiàn)歸母凈利潤1.08億元，扭虧為盈（2021H1為-0.2億元），盈利水平大幅改善。3）2022H1至純科技歸母凈利潤同比-46%，出現(xiàn)大幅下滑，主要系2022H1政府補助、公允價值變動凈收益同比大幅下降。174%164%143%98%82%18%-46%-80%-90%-150%-100%-50%0%50%100%150%200%2022H1歸母凈利潤同比（%）163%8221716254224.8-50%0%5

5、0%100%150%200%4540353025201510502016201720182019202020212022H1圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)歸母凈利潤25億元，同比+45%歸母凈利潤（億元）同比（%）5，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計實現(xiàn)扣非歸母凈利潤22.15億元，同比+140%。若剔除精測電子和萬 業(yè)企業(yè)，2022H1九家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)扣非歸母凈利潤合計21.8億元，同比+270%?？鄯抢麧櫠嗽鏊亠@ 著高于營業(yè)收入、歸母凈利潤，側(cè)面反映出行業(yè)真實盈利水平大幅提升。分企業(yè)來看，2022H1大部分半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)扣非歸母凈利潤增速均高于歸母凈利潤增速，其中中微公 司、盛美上海

6、、華海清科扣非歸母凈利潤同比增速分別達到615%、427%和316%，大幅超過歸母凈利潤 增速（18%、164%、163%），真實盈利水平大幅提升，主要在于非經(jīng)常性損益、公允價值變動凈收益 等普遍出現(xiàn)明顯下降，壓制了利潤端表現(xiàn)。特別地，2022H1拓荊科技扣非歸母凈利潤為0.49億元，同比 扭虧為盈（2021H1為-0.68億元），扣非后利潤端首次實現(xiàn)盈利。圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)扣非歸母凈利潤同比+133%圖：2022H1中微公司、盛美上海等扣非歸母凈利潤同比大幅增長利潤端：延續(xù)高速增長，扣非利潤增速遠超收入端615%427%316%203%187%128%122%84%-88%-94

7、%700%600%500%400%300%200%100%0%-100%-200%2022H1扣非歸母凈利潤同比（%）2.547.9813.9311.0910.7425.6122.15-50%0%50%100%150%200%250%0510152025302016201720182019202020212022H1扣非歸母凈利潤（億元）同比（%）6圖：2022H1華峰測控銷售凈利率繼續(xù)領(lǐng)跑半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，盈利水平：整體穩(wěn)中有升，扣非凈利率大幅提升圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)銷售凈利率為18%，同比+0.7pct，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)銷售凈利率為17.9%，同比+0.7pct，略

8、有增長。若剔除精測電子和萬 業(yè)企業(yè)，2022H1九家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)銷售凈利率為19.4%，同比+3.2pct，明顯提升。分企業(yè)來看，1）2022H1華峰測控銷售凈利率達到50%，同比+4pct，領(lǐng)跑本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)；2）2022H1華海清科、長川科技、盛美上海、拓荊科技、北方華創(chuàng)、芯源微銷售凈利率分別同比+2、+7、+7、+39、+6和+4pct，均同時受益于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化、毛利率提升，以及規(guī)模效應(yīng)下期間費用率下 降。3）2022H1中微公司和至純科技銷售凈利率有所下降，分別同比-6、-8pct，主要受非經(jīng)常性損益（政府補助減少）和公允價值變動收益（持有股票價格波動）影響。50%26%24%2

9、2%21%20%16%15%14%8%0%60%50%40%30%20%10%0%-10%-20%-30%2021H12022H129.8%16.3%12.5%15.6%17.4%17.9%0%5%10%15%12.8%20%25%30%35%2016201720182019202020212022H1銷售凈利率（%）7，圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)扣非歸母凈利率15.4%，同比+6pct，盈利水平：整體穩(wěn)中有升，扣非凈利率大幅提升2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)扣非歸母凈利率為15.4%，同比+6.3pct。若剔除精測電子和萬業(yè)企業(yè)， 2022H1九家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)扣非歸母凈利率為16.7

10、%，同比+9.5pct，明顯提升。分企業(yè)來看，1） 2022H1華峰測控扣非歸母凈利率為49%，同比+5pct，表現(xiàn)優(yōu)異，遠超其他半導(dǎo)體設(shè) 備同行； 2）2022H1拓荊科技、盛美上海、中微公司扣非歸母凈利率分別同比+70、+16、+18pct，增 幅領(lǐng)跑半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)。3）2022H1華海清科、長川科技、芯源微、北方華創(chuàng)、至純科技扣非歸母凈 利率同樣明顯改善，分別同比+8、+8、+5、+6、+4pct。4）2022H1萬業(yè)企業(yè)、精測電子扣非歸母凈利 率分別為15%、1%，分別同比-18、-10pct，大幅下降，主要系傳統(tǒng)主業(yè)拖累。12.7%8.6%6.7%10.4%15.4%18%16%14

11、%12%10%8%6%4%2%0%20182019202020212022H1扣非歸母凈利率（%）49%23%22%20%18%15%13%12%9%9%1%60%40%20%0%-20%-40%-60%-80%圖：2022H1拓荊科技、中微公司等扣非歸母凈利率大幅提升2021H12022H18圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)銷售毛利率普遍有所提升，毛利率：測試設(shè)備繼續(xù)領(lǐng)跑，前道設(shè)備快速爬升圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)銷售毛利率47%，同比+3pct，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)銷售毛利率為47.3%，同比+3.1pct，延續(xù)持續(xù)上升態(tài)勢。分環(huán)節(jié)來看，測試設(shè)備依舊領(lǐng)跑半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，各個前

12、道設(shè)備環(huán)節(jié)正在穩(wěn)健提升。1）測試設(shè)備： 2022H1華峰測控、長川科技銷售毛利率分別為79%、56%，同比-2.0pct和+2.1pct，在半導(dǎo)體設(shè)備中遙 遙領(lǐng)先，其中華峰測控毛利率出現(xiàn)一定下滑，主要系STS8300仍處于市場開拓期，毛利率較低，上半 年收入占比提升明顯；長川科技毛利率有所提升，主要系毛利較高的測試機收入占比提升所致。2）前 道晶圓設(shè)備：2022H1華海清科、盛美上海、拓荊科技、北方華創(chuàng)、中微公司毛利率分別同比+5.5、+4.6、+8.4、+3.2和+3.0pct，毛利端明顯改善。我們判斷一方面系產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化，另一方面成本端也存 在規(guī)模效應(yīng)，進一步促進毛利率上行。38.2%48

13、.7%44.6%42.9%41.0%43.3%47.3%0%10%20%30%40%50%60%2016201720182019202020212022H1銷售毛利率（%）79%61%56%47% 47% 47% 46%45%44%40%36%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%2021H12022H19圖：2022H1大部分半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)期間費用率明顯下降，費用率：規(guī)模效應(yīng)顯現(xiàn)，期間費用率持續(xù)下降圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)期間費用率29%，同比-3pct，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)期間費用率為29%，同比-2.8pct，規(guī)模效應(yīng)持續(xù)體現(xiàn)，期間費用率下降 半導(dǎo)體

14、設(shè)備板塊利潤端大幅增長的重要驅(qū)動力之一。分企業(yè)來看：1）2022H1絕大部分半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)期間費用率均明顯下降，其中拓荊科技期間費用率 為36.8%，同比大幅下降62.8pct。此外，芯源微、華海清科、中微公司、盛美上海、華峰測控期間費用 率也明顯下降，分別同比-6.5、-5.7、-6.8、-11.3、-8.5pct，核心在于規(guī)模效應(yīng)。2）2022H1萬業(yè)企業(yè)、 精測電子期間費用率大幅提升，分別同比+47.0、+10.6pct，其中精測電子主要系研發(fā)費用率明顯提升，同比+8.0pct；萬業(yè)企業(yè)主要系股權(quán)激勵增厚管理費用，管理費用率同比大幅提升49.0pct。56%41%36.8%36%29%2

15、7%24%24%23%22%20%120%100%80%60%40%20%0%2021H12022H125%31%31%31%29%35%30%25%20%15%10%5%0%-5%20182019202020212022H1銷售費用率（%） 財務(wù)費用率（%）管理費用率（%）研發(fā)費用率（%） 期間費用率（%）10圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)經(jīng)營活動現(xiàn)金流普遍出現(xiàn)下滑，（單位：百萬元）現(xiàn)金流：備貨增加&設(shè)備交期拉長，經(jīng)營活動現(xiàn)金流變差圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)經(jīng)營活動現(xiàn)金流凈額-24億元，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)經(jīng)營活動現(xiàn)金流凈額合計為-24億元，2021H1為-7億元，經(jīng)營質(zhì)量有

16、所 下滑，主要系供應(yīng)鏈緊張，原材料備貨增加，同時設(shè)備交期有所延長。分企業(yè)來看，1）2022H1拓荊科技、華峰測控、芯源微、中微公司和長川科技經(jīng)營活動現(xiàn)金流出現(xiàn)好 轉(zhuǎn)，其中拓荊科技和芯源微經(jīng)營活動現(xiàn)金流凈額分別達到2.61億元和1.12億元，分別同比增加2.94和 2.51億元，領(lǐng)跑半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)。我們判斷主要系地處沈陽，生產(chǎn)經(jīng)營受疫情影響小于華東地區(qū)，設(shè) 備加速交付、確認收入。2）2022H1北方華創(chuàng)、至純科技、盛美上海經(jīng)營活動現(xiàn)金流出現(xiàn)明顯下滑。 我們判斷北方華創(chuàng)主要系原材料備貨大幅增加所致，至純科技和盛美上海還受到上海疫情明顯影響。4002000-200-400-600-800-1000-

17、1200-1400-1600-18002021H12022H12578347-24403020100-10-20-302016201720182019-9202020212022H1經(jīng)營活動現(xiàn)金流凈額（億元）11圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)為98天，運營能力：存貨周轉(zhuǎn)明顯變慢，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)略有放緩圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)存貨周轉(zhuǎn)天數(shù)為655天，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)存貨周轉(zhuǎn)天數(shù)為655天，2021H1為357天（不含拓荊科技、華海清科）， 存存貨周轉(zhuǎn)速度明顯變慢，主要系在手訂單大幅增長，存貨明顯提升。特別地，2022H1萬業(yè)企業(yè)存貨 周轉(zhuǎn)天數(shù)高達2177天，2

18、021H1僅為453天，我們判斷主要系傳統(tǒng)房地產(chǎn)業(yè)務(wù)影響。2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)為98天，2021H1為94天（不含拓荊科技、華海清科），應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)速度略有放慢，其中盛美上海、至純科技2022H1應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)分別同比增加27天、12天，我們判斷主要系上海疫情影響客戶驗收進度。此外，2022H1萬業(yè)企業(yè)、精測電子應(yīng)收賬款周 轉(zhuǎn)天數(shù)分別同比增加55天、60天，應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)明顯放慢，我們判斷主要系主營業(yè)務(wù)影響。34046561440639843465540030020010007006005002016201720182019202020212022H1存貨周轉(zhuǎn)天數(shù)（

19、天）1461581391079779981801601401201008060402002016201720182019202020212022H1應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)（天）應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)天數(shù)（天）12，（注：億元）合同負債：同比大幅提升，訂單充足確保短期業(yè)績，2022H1末十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合同負債合計達到120億元，較2021年底增長27%，達到歷史最高值， 驗證在手訂單充足，保障半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)短期業(yè)績延續(xù)高速增長。分公司來看，2022H1末中微公司、芯源微、至純科技、盛美上海合同負債同比增速分別為268%、183%、77%和71%，萬業(yè)企業(yè)合同負債達到9.1億元，同比+1349%，均大幅增長

20、，驗收在手訂單充足。具體 來看：1）華海清科：2021年末未發(fā)出的在手訂單超過70臺，超過2019-2021年累計確認收入總數(shù)67臺。 此外，2022H1新簽訂單金額達到20.19億元，同比+133%。2）中微公司：在2021年新增訂單為41.29億 元，同比+90%的高基數(shù)背景下，2022H1新簽訂單達到30.6億元，同比增長62%。3）至純科技：2022H1 半導(dǎo)體制程設(shè)備新增訂單8.06億元，同比+87%，2022全年新增訂單目標為20億元，同比增長50%+。圖：2022H1末半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)合同負債120億元，歷史最高點圖：2022H1前道晶圓制造設(shè)備企業(yè)合同負債大幅提升57161110

21、9644210010302060504020212022H12836392949951204020014012010080602016201720182019202020212022H1預(yù)收賬款/合同負債（億元）13圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)存貨普遍明顯提升，（單位：億元）存貨：原材料+庫存商品占比較高，存貨持續(xù)創(chuàng)新高圖：2022H1半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)存貨達到248億元，歷史最高點，2022H1十一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)存貨合計達到248億元，較2021年底提升34%，達到歷史最高，主要系 在手訂單充足，發(fā)出商品和原材料大幅增長，同時由于全球供應(yīng)鏈緊張，也有進行一定原材料儲備。分企業(yè)來看，半導(dǎo)體設(shè)備

22、企業(yè)存貨普遍明顯增長，其中拓荊科技、長川科技、中微公司2022H1末存貨 分別較2021年底增長64%、47%和41%，增幅領(lǐng)先。拆分存貨來看，發(fā)出商品和原材料構(gòu)成存貨主要組 成部分：1）華海清科：截至2022H1末，存貨為19.7億元，其中發(fā)出商品和原材料分別達到9.4和5.8億 元，占比分別達到48%和29%。2）拓荊科技：截至2022H1末，存貨為15.8億元，其中發(fā)出商品和原材 料分別為9.3和4.3億元，占比分別達到59%和27%。565875841101852480501001502002503002016201720182019202020212022H1存貨（億元）107252

23、01916141312128202040608010012020212022H114圖：半導(dǎo)體設(shè)備板塊估值水平仍處在歷史底部偏下位置圖：中微公司估值水平處于歷史底部，半導(dǎo)體設(shè)備板塊估值水平仍處于底部，圖：北方華創(chuàng)估值水平處于歷史底部，600500400300200100035302520151050PSPE（右軸）80070060050040030020010009080706050403020100PSPE（右軸） 15 SEMI，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達歷史最高點，中國大陸市場占比快速提升。1）全球：2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備 銷售額達到1026億美元，SEMI預(yù)計2022和2023年將分別達

24、到1175和1208億美元，分別同比+14.7%和+2.8%，持續(xù)創(chuàng)下歷史新高。2）中國大陸：2021年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為296億美元，2012- 2021年CAGR達到32%，明顯高于全球平均增速（12%）；從全球占比來看，2012年中國大陸半導(dǎo)體設(shè) 備銷售額全球占比僅7%，2022Q1快速上升至31%，產(chǎn)業(yè)重心趨勢愈發(fā)明顯，具備更強成長彈性。圖：2022Q1全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比+5%SEMI，50%40%30%20%10%0%-10%-20%120010008006004002000全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額（億美元）yoy70%60%50%40%30%20%10%0%3503002

25、50200150100500圖：2022Q1中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比+27%中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額（億美元）yoy晶圓擴產(chǎn)背景下，本土半導(dǎo)體設(shè)備需求有望維持高位16圖：2021年中國大陸半導(dǎo)體銷售額全球占比為35%SIA，晶圓擴產(chǎn)背景下，本土半導(dǎo)體設(shè)備需求有望維持高位高基數(shù)背景下，市場普遍擔(dān)心半導(dǎo)體行業(yè)景氣度拐點向下，對半導(dǎo)體設(shè)備需求放緩。我們認為，晶圓產(chǎn) 能東移背景下，本土晶圓廠開工率依舊較高，封測廠稼動率存在分化趨勢，先進封裝、汽車電子等領(lǐng)域 依舊供不應(yīng)求，2022年下游客戶資本開支仍有保障，半導(dǎo)體設(shè)備的需求有望維持在較高水平。中觀層面上來看，中國大陸正承接中國臺灣、韓國成為全球晶圓

26、新增產(chǎn)能中心。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2021- 2022年全球新增晶圓廠29座中，中國大陸新增8座，占比達到27.59%。然而，中國大陸市場晶圓產(chǎn)能缺 口依舊較大，2021年底晶圓全球產(chǎn)能占比僅為16%，遠低于半導(dǎo)體銷售額全球占比（2021年約35%）。 在政策扶持&IC設(shè)計加速崛起驅(qū)動下，中國大陸持續(xù)擴產(chǎn)將是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)長期發(fā)展趨勢。圖：2021年底中國大陸晶圓產(chǎn)能全球占比僅16%Knometa Research，韓國23%中國臺灣21%中國大陸16%日本15%美洲11%歐洲5%其他地區(qū) 9%美洲21% 歐洲9%日本8%中國大陸35%亞太及其他 地區(qū) 27%17，微觀層面來看，在消費電子需求疲軟

27、背景下，中國大陸晶圓廠開工率依舊較高，產(chǎn)能利用率超100%。1）中芯國際：2022Q1產(chǎn)能利用率達到100.4%，同比+1.7pct，環(huán)比+1.0pct；2）華虹半導(dǎo)體：2022Q2產(chǎn)能利用率達到109.7%，同比+0.2pct，環(huán)比+3.7pct；其中12英寸和8英寸產(chǎn)能利用率分別為109.3%和110.0%，分別同比+5.2pct、-2.1pct，分別環(huán)比+5.4pct、+2.3pct。由此可見，晶圓產(chǎn)能東移背景下，中國大陸晶圓廠產(chǎn)能普遍吃緊，擴產(chǎn)動力依舊較為充足。具體來看，在半導(dǎo)體行業(yè)景氣度整體向下的背景下，頭部晶圓廠延續(xù)大規(guī)模擴產(chǎn)步伐。據(jù)8月27日中 芯國際公告，中芯國際擬在天津新建1

28、2英寸晶圓代工生產(chǎn)線項目，規(guī)劃產(chǎn)能10萬片/月，技術(shù)節(jié)點覆 蓋28-180nm，產(chǎn)品主要應(yīng)用于通訊、汽車電子、消費電子、工業(yè)等領(lǐng)域。圖：2022Q1中芯國際產(chǎn)能利用率達到100.4%圖：2022Q2華虹半導(dǎo)體產(chǎn)能利用率達到109.7%，98.8%98.5%98.6%97.8%95.5%98.7%100.4%100.3%99.4%100.4%90%92%96%94%98%102%100%產(chǎn)能利用率（%）82.4%93.4%104.2%95.8% 99.0%109.5% 110.9% 105.4% 106.0% 109.7%100%80%60%40%20%0%120%1.210.80.60.40.

29、20200nm300nm總體晶圓擴產(chǎn)背景下，本土半導(dǎo)體設(shè)備需求有望維持高位18圖：僅華虹集團、中芯國際、長江存儲、合肥長鑫四家晶圓廠未來合計擴產(chǎn)產(chǎn)能將過100萬片/月廠商實施主體工廠代碼工藝尺寸類型項目地點2021年底產(chǎn)能（萬 片/月）規(guī)劃產(chǎn)能（萬片/月）狀態(tài)華虹集團華虹半導(dǎo)體Fab1-3功率器件1um-90nm8寸上海17.818建成上海華力F5功率器件50-40-28nm12寸上海3.53.5建成上海華力F6功率器件28-14nm12寸上海34建成華虹半導(dǎo)體Fab7功率器件90-65/55nm12寸無錫68建成上海華力Fab812寸上海04計劃華虹半導(dǎo)體Fab912寸無錫08計劃中芯國際中

30、芯上海S1(Fab1 2 3)邏輯代工0.35m0.15m制程， 主要0.11/0.13um8寸上海11.513.5建成中芯南方SN1邏輯代工FinFET14-7nm12寸上海1.53.5建成中芯南方SN2邏輯代工FinFET14-7nm12寸上海03.5在建中芯北京B1(Fab4、6)邏輯代工0.18m55nm12寸北京5.26建成中芯北方B2邏輯代工65-24nm12寸北京6.210建成中芯京城B3P1邏輯代工45/40-32/38nm12寸北京05在建中芯京城B3P2邏輯代工45/40-32/38nm12寸北京05計劃中芯京城B3P312寸北京05計劃中芯京城B3P412寸北京05計劃中

31、芯深圳Fab15邏輯代工0.35m0.15m8寸深圳4.47建成中芯深圳Fab16A/B邏輯代工28nm12寸深圳04建成中芯天津FabB7P2邏輯代工0.35m90nm8寸天津9.518建成中芯天津28180nm邏輯12寸天津010計劃中芯紹興MEMS、功率器件8寸紹興4.2510建成中芯寧波N10.18um射頻及高壓模擬器件8寸寧波1.51.5建成中芯寧波N2特種工藝模擬芯片8寸寧波02.75建成合肥長鑫合肥長鑫Fab1DRAM12寸合肥612.5建成合肥長鑫Fab2DRAM12寸合肥012.5計劃合肥長鑫Fab3DRAM12寸合肥012.5計劃長江存儲長江存儲Fab13D NAND FL

32、ASH12寸武漢810建成長江存儲Fab23D NAND FLASH12寸武漢010在建長江存儲Fab33D NAND FLASH12寸武漢010計劃武漢新芯Fab1Nor FLASH12寸武漢2.52.5建成武漢新芯Fab2Nor FLASH12寸武漢2.511.5建成合計93.35236.75數(shù)據(jù)來源：各公司公告，新材料在線等，東吳證券研究所（注：因為產(chǎn)能狀態(tài)更新不及時可能存在誤差）晶圓擴產(chǎn)背景下，本土半導(dǎo)體設(shè)備需求有望維持高位19外部事件加速國產(chǎn)替代進程，設(shè)備環(huán)節(jié)景氣度最優(yōu)1月2月3月4月5月6月7月1-7月合計光刻設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量000011國產(chǎn)化率0%0%0%0%25%8%涂膠顯影設(shè)

33、備國產(chǎn)中標數(shù)量202318國產(chǎn)化率100%0%15%100%100%40%薄膜沉積設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量0161193737國產(chǎn)化率0%100%18%14%76%50%88%36%刻蝕設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量4253840國產(chǎn)化率13%76%33%100%50%CMP設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量040509國產(chǎn)化率0%100%0%100%0%45%清洗設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量22301917國產(chǎn)化率100%100%23%0%50%90%52%離子注入設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量011103國產(chǎn)化率0%11%20%50%0%9%檢測/量測設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量02141412國產(chǎn)化率0%10%3%40%100%80%16%測試設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量00

34、0044國產(chǎn)化率0%0%0%0%57%9%爐管設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量0822211043國產(chǎn)化率0%32%39%50%50%23%31%去膠機國產(chǎn)中標數(shù)量10721525國產(chǎn)化率100%0%100%100%88%86%剝離設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量66國產(chǎn)化率60%60%刷片機國產(chǎn)中標數(shù)量55國產(chǎn)化率56%56%其他設(shè)備國產(chǎn)中標數(shù)量012211420國產(chǎn)化率0%100%13%67%79%57%48%合計國產(chǎn)中標數(shù)量453666524522230國產(chǎn)化率7%63%21%37%49%66%38%36%數(shù)據(jù)來源：中國國際招標網(wǎng)，東吳證券研究所（注：公開信息匯總更新不及時可能存在誤差；單位：臺）大部分國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)

35、節(jié)仍處于起步階段，國產(chǎn)替代空間較大。我們以2022年以來規(guī)?；?開招標的5家晶圓廠為統(tǒng)計標本，包括華虹無錫、積塔半導(dǎo)體、福建晉華、華力集成和華虹宏 力，2022年1-7月份5家晶圓廠合計完成國產(chǎn)設(shè)備招標230臺，國產(chǎn)化率約36%。（注：統(tǒng)計口徑為“最終中標公告時間”，我們將二手、翻新&外貿(mào)業(yè)務(wù)廠商中標也記入國產(chǎn)設(shè)備，故理論上本文的國產(chǎn)化率統(tǒng)計值偏高）圖：2022年1-7月份5家晶圓廠完成招標設(shè)備國產(chǎn)化率為36%20外部事件加速國產(chǎn)替代進程，設(shè)備環(huán)節(jié)景氣度最優(yōu)展望未來，在整個半導(dǎo)體行業(yè)增速放緩的背景下，設(shè)備環(huán)節(jié)的進口替代邏輯將日益凸顯，設(shè)備 是當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邏輯最好的細分環(huán)節(jié)之一。中長期來看，本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的業(yè)績驅(qū)動力 更多來自于市場份額提升。尤其在芯片與科學(xué)法案等外部事件催化下，本土晶圓廠加速推 進設(shè)備國產(chǎn)替代進程，使得設(shè)備環(huán)節(jié)具備更大的業(yè)績增長彈性。圖：美國針對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相繼釋出保護性政策全球半導(dǎo)體觀察，時間政策名稱主要內(nèi)容美國2022.07芯片與科學(xué)法案1）向美國半導(dǎo)體制造與研發(fā)企業(yè)提供約527億美元（約合人民幣3558億元）的資金補 貼；2）向在