標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 25186-2010《表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定相對(duì)靈敏度因子》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在為使用二次離子質(zhì)譜（SIMS）技術(shù)進(jìn)行材料表層成分分析時(shí)提供一種方法來確定相對(duì)靈敏度因子。該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要通過SIMS定量分析樣品中特定元素濃度的情況。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，相對(duì)靈敏度因子是指在相同實(shí)驗(yàn)條件下，目標(biāo)元素與參考元素之間信號(hào)強(qiáng)度比值與其實(shí)際濃度比值之間的關(guān)系。通過已知組成的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（通常是經(jīng)過精確控制劑量的離子注入材料），可以校準(zhǔn)和計(jì)算出待測樣品中未知元素含量所對(duì)應(yīng)的相對(duì)靈敏度因子。

具體實(shí)施過程中，首先選擇適合于研究目的且具有代表性的一系列已知組成的參考物質(zhì)；接著，在相同的實(shí)驗(yàn)參數(shù)下對(duì)這些參考物質(zhì)進(jìn)行SIMS測試，記錄下目標(biāo)元素和參考元素各自的信號(hào)強(qiáng)度；然后基于所得數(shù)據(jù)計(jì)算每個(gè)參考物質(zhì)的相對(duì)靈敏度因子，并繪制其隨深度變化曲線或查找最佳平均值作為最終使用的相對(duì)靈敏度因子；最后，利用這個(gè)相對(duì)靈敏度因子去估算未知樣品中相應(yīng)元素的實(shí)際濃度。

整個(gè)過程強(qiáng)調(diào)了實(shí)驗(yàn)條件一致性的重要性，包括但不限于加速電壓、初級(jí)束流密度、分析區(qū)域大小等因素都需保持一致，以確保結(jié)果準(zhǔn)確可靠。此外，還特別指出了對(duì)于不同類型的樣品可能需要采用不同的參考物質(zhì)及相應(yīng)的調(diào)整措施來獲得更精確的結(jié)果。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2010-09-26 頒布
  • 2011-08-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 25186-2010表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定相對(duì)靈敏度因子_第1頁
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文檔簡介

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25186—2010/ISO181142003

:

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定

相對(duì)靈敏度因子

Surfacechemicalanalysis—Secondary-ionmassspectrometry—

Determinationofrelativesensitivityfactorsfrom

ion-implantedreferencematerials

(ISO18114:2003,IDT)

2010-09-26發(fā)布2011-08-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T25186—2010/ISO181142003

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定相對(duì)

ISO18114:2003《

靈敏度因子

》。

為了方便使用本標(biāo)準(zhǔn)做了下列編輯性修改

,:

用本標(biāo)準(zhǔn)代替本國際標(biāo)準(zhǔn)

———“”“”。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人馬農(nóng)農(nóng)何友琴何秀坤

:、、。

Ⅰ

GB/T25186—2010/ISO181142003

:

引言

在二次離子質(zhì)譜分析中常使用離子注入物質(zhì)校準(zhǔn)儀器

,。

本標(biāo)準(zhǔn)將提供一種統(tǒng)一的方法由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)來確定某種元素在特定基體中的相對(duì)靈敏度

:

因子并說明如何確定具有相同基體材料的不同樣品中該元素的濃度

,。

Ⅱ

GB/T25186—2010/ISO181142003

:

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定

相對(duì)靈敏度因子

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)指定了一種由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定二次離子質(zhì)譜分析中相對(duì)靈敏度因子的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于基體化學(xué)成分單一的樣品其中注入物質(zhì)的峰值原子濃度不超過

,1%。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4符號(hào)及縮略語

AM

Ci,深度剖析的第i個(gè)周期時(shí)被分析元素A在基體M中的原子濃度用單位體積原子個(gè)數(shù)

,,

表示

;

d深度剖析中求積分用的深度用長度單位表示

,;

Aj

Ii在測試的第i周期時(shí)同位素Aj的被分析離子檢測計(jì)數(shù)率用計(jì)數(shù)表示

,,/s;

Mk

Ii在測試的第i周期時(shí)參考同位素Mk的檢測計(jì)數(shù)率用計(jì)數(shù)表示

,,/s;

IAj的被分析離子的平均本底計(jì)數(shù)率用計(jì)數(shù)表示

BG,/s;

NAj未知樣品中被分析同位素Aj的豐度值

,;

n深度剖析中求積分用的深度所包含的周期數(shù)

;

?同位素Aj的注入劑量用單位面積原子個(gè)數(shù)表示

,;

相對(duì)靈敏度因子用單位體積原子個(gè)數(shù)表示

RSF,;

二次離子質(zhì)譜

SIMS。

5原理

可以從離子注入外標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的深度剖析中得出特定的元素基體組合中某一同位素的相對(duì)

SIMS,-

靈敏度因子該可以用來定量給出基體材料相同的不同樣品中同一特定元素濃度隨深度

(RSF)。RSF

的變化公式如下

,:

AMkA

j,j

AMi

,

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