ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T38446—2020

微機電系統(tǒng)MEMS技術

()

帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Testmethodsfortensilepropertymeasurementofstripthinfilms

2020-03-06發(fā)布2020-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T38446—2020

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

試驗方法

4…………………2

數(shù)據(jù)處理

5…………………4

附錄資料性附錄采用工藝的樣品制備

A()MEMS……………………5

附錄資料性附錄對準偏差和幾何結構對性能測試的影響

B()………7

附錄資料性附錄納米壓痕儀的測試結果誤差及補償

C()……………9

參考文獻

……………………10

GB/T38446—2020

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準起草單位北京大學中機生產力促進中心北京智芯傳感科技有限公司無錫華潤上華科技

:、、、

有限公司中北大學北京必創(chuàng)科技股份有限公司

、、。

本標準主要起草人張威李海斌張亞婷朱悅夏長奉石云波陳得民馬書嫏程紅兵周浩楠

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38446—2020

微機電系統(tǒng)MEMS技術

()

帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

1范圍

本標準規(guī)定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法及數(shù)據(jù)處理

。

本標準適用于厚度在到數(shù)微米之間且長度和厚度的比值大于的樣品也可用于

50nm300,MEMS

產品帶狀薄膜結構的質量監(jiān)控

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

微機電系統(tǒng)技術術語

GB/T26111(MEMS)

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T26111。

31

.

彈性模量modulusofelasticity

E

材料在彈性變形階段時應力與應變的比值

,。

注改寫定義

:GB/T3102.3—1993,3.18.1。

32

.

屈服強度yieldstrength

Re

當材料呈現(xiàn)屈服現(xiàn)象時在試驗期間達到塑性變形發(fā)生而力不增加的應力點

,。

注1改寫定義

:GB/T228.1—2010,3.10.2。

注2對于屈服現(xiàn)象明顯的材料屈服強度就是材料發(fā)生屈服現(xiàn)象時屈服極限的應力對于屈服現(xiàn)象不明顯的材料

:,;,

屈服強度為應變達到殘余應變時的應力

0.2%。

33

.

抗拉強度tensilestrength

Rm

材料拉斷過程中對應的最大應力

。

注改寫定義

:GB/T228.1—2010,3.10.1。

34

.