中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG101—2004

接觸式干涉儀

Contact-typeInterferometers

2004-09-21發(fā)布2005-03-21實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJG101—2004

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Contact-typeInterferometers

本規(guī)程經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20040921,

年月日起施行

20050321。

歸口單位:全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

起草單位:上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

本規(guī)程委托全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJG101—2004

本規(guī)程起草人:

殷德華上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

()

張鴻順上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

()

JJG101—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量性能要求…………

4(2)

干涉濾光片的特性…………………

4.1(2)

平面工作臺(tái)帶筋工作臺(tái)球筋工作臺(tái)的平面度………………

4.2、、(2)

帶筋工作臺(tái)中間筋球筋工作臺(tái)測(cè)頭的高出度…………………

4.3、(2)

平面工作臺(tái)的可調(diào)性………………

4.4(2)

帶筋工作臺(tái)與測(cè)量軸線的垂直度…………………

4.5(2)

工作臺(tái)工作面的粗糙度……………

4.6(2)

帶筋工作臺(tái)球筋工作臺(tái)與輔助工作臺(tái)的相對(duì)位置……………

4.7、(3)

測(cè)量力及其調(diào)整范圍………………

4.8(3)

測(cè)量桿徑向受力時(shí)的示值變化……………………

4.9(3)

干涉帶的成像質(zhì)量和調(diào)整的可靠性……………

4.10(3)

干涉帶的對(duì)稱性…………………

4.11(3)

測(cè)量重復(fù)性………………………

4.12(3)

儀器的示值誤差…………………

4.13(3)

平行平晶的平面度和平行度……………………

4.14(3)

通用技術(shù)要求…………

5(3)

外觀及各部分相互作用……………

5.1(3)

標(biāo)識(shí)…………………

5.2(4)

計(jì)量器具控制…………

6(4)

檢定條件……………

6.1(4)

檢定項(xiàng)目……………

6.2(4)

檢定方法……………

6.3(5)

檢定結(jié)果的處理……………………

6.4(8)

檢定周期……………

6.5(8)

附錄測(cè)帽的技術(shù)要求及檢定方法…………………

A(9)

附錄主要配套檢定工具及其技術(shù)要求……………

B(10)

附錄檢定證書及檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式………

C(12)

JJG101—2004

接觸式干涉儀檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于接觸式干涉儀的首次檢定后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)

、。

2引用文獻(xiàn)

本規(guī)程引用下列文獻(xiàn)

:

通用計(jì)量術(shù)語及定義

JJF1001—1998

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059—1999

立式接觸式干涉儀

JB/T8233—1999

光學(xué)計(jì)量?jī)x器用測(cè)帽

JB/T9342—1999

使用本規(guī)程時(shí)應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

接觸式干涉儀是應(yīng)用光波干涉原理采用比較法測(cè)量長(zhǎng)度的儀器主要用于檢定長(zhǎng)

,。

度不大于的量塊和其他工件的精密測(cè)量