標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 826-2012 五氧化二鈮靶材》是一項(xiàng)關(guān)于五氧化二鈮靶材的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了五氧化二鈮靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等方面的內(nèi)容。根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，五氧化二鈮靶材主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中的薄膜沉積過(guò)程。

標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)五氧化二鈮靶材的化學(xué)成分進(jìn)行了明確規(guī)定，包括主成分Nb?O?的含量要求以及其他可能存在的雜質(zhì)元素的最大允許量。此外，還定義了幾何尺寸和外觀質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)，確保產(chǎn)品能夠滿(mǎn)足特定應(yīng)用需求的同時(shí)也便于加工處理。

在物理性能方面，《YS/T 826-2012》提出了密度、電阻率等關(guān)鍵參數(shù)的具體數(shù)值范圍或最低要求，這些指標(biāo)對(duì)于評(píng)估材料是否適合用作濺射源至關(guān)重要。同時(shí)，考慮到實(shí)際使用過(guò)程中可能遇到的各種條件，標(biāo)準(zhǔn)還涵蓋了耐熱性等相關(guān)特性測(cè)試的方法與合格標(biāo)準(zhǔn)。

為了保證產(chǎn)品質(zhì)量一致性，《YS/T 826-2012》制定了嚴(yán)格的取樣規(guī)則及相應(yīng)的檢測(cè)程序。這包括但不限于化學(xué)成分分析、尺寸測(cè)量、表面缺陷檢查等一系列操作流程。通過(guò)遵循這套體系化的檢驗(yàn)指南，可以有效控制生產(chǎn)過(guò)程中的變異性，并及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題。

最后，在產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)、包裝方式選擇上也給出了指導(dǎo)建議，旨在保護(hù)產(chǎn)品免受損害的同時(shí)方便用戶(hù)識(shí)別相關(guān)信息；而關(guān)于運(yùn)輸與存儲(chǔ)的規(guī)定，則是為了確保在整個(gè)物流鏈條中維持良好的狀態(tài)直至最終到達(dá)使用者手中。


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....

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  • 2012-11-07 頒布
  • 2013-03-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS77160

H72.

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T826—2012

五氧化二鈮靶材

Niobiumpentoxidetargetmaterial

2012-11-07發(fā)布2013-03-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T826—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位西北稀有金屬材料研究院中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王鵬張紅梅佂衛(wèi)星扈百直吳紅張憲銘張江峰

:、、、、、、。

Ⅰ

YS/T826—2012

五氧化二鈮靶材

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了五氧化二鈮靶材的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明書(shū)和

、、、、、、、

合同或訂貨單內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以五氧化二鈮粉末為原料采用真空熱壓工藝制成的五氧化二鈮靶材

,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測(cè)定方法

GB/T3850

所有部分鉭鈮化學(xué)分析方法

GB/T15076()

3要求

31化學(xué)成分

.

311產(chǎn)品化學(xué)成分應(yīng)符合表規(guī)定

..1。

表1化學(xué)成分質(zhì)量分?jǐn)?shù)

()%

主成分雜質(zhì)含量不大于

,

雜質(zhì)

Nb2O5TaFeSiAlCrCuMnMoNiSnTiW總和

余量

0.0080.0010.0050.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001≤0.01

312主成分含量用減量法計(jì)算

..。

32密度

.

產(chǎn)品的密度應(yīng)不小于3

4.46g/cm。

33尺寸及允許偏差表面粗糙度和平面度

.、

產(chǎn)品的形狀尺寸及允許偏差表面粗糙度和平面度應(yīng)符合供需雙方簽訂的技術(shù)圖樣

、、。

34外觀質(zhì)量

.

341產(chǎn)品的顏色應(yīng)均勻

..。

342產(chǎn)品的表面應(yīng)平整無(wú)裂紋無(wú)異物無(wú)明顯的針孔孔洞和印記

..,,,、。

4試驗(yàn)方法

41產(chǎn)品的化學(xué)成分檢驗(yàn)按

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