掃描隧道原子力顯微鏡第一頁，共二十一頁，2022年，8月28日100nmHIV第二頁，共二十一頁，2022年，8月28日《作為本征值問題的量子化》第三頁，共二十一頁，2022年，8月28日E<UO透射率a/nm0.10.20.510.0D0.101第四頁，共二十一頁，2022年，8月28日Va第五頁，共二十一頁，2022年，8月28日壓電陶瓷上的電壓反應(yīng)了表面的起伏壓電陶瓷壓電陶瓷精度：1nm/V第六頁，共二十一頁，2022年，8月28日第七頁，共二十一頁，2022年，8月28日樣品必須是導(dǎo)體，至少是半導(dǎo)體真空環(huán)境二維像第八頁，共二十一頁，2022年，8月28日原子力顯微鏡AFM第九頁，共二十一頁，2022年，8月28日1982年,GerdBinnig和HeinrichRohrer第十頁，共二十一頁，2022年，8月28日懸臂長：100~200μm寬：10~40μm厚：0.3~20μm彈性系數(shù)：0.005N×m-1共振頻率：10kHZ探針由Si

或Si3N4經(jīng)光刻技術(shù)制成第十一頁，共二十一頁，2022年，8月28日檢測系統(tǒng)光反射法、光干涉法、隧道電流法、電容檢測法等第十二頁，共二十一頁，2022年，8月28日檢測系統(tǒng)

AFM對樣品掃描的精確控制是靠掃描器來實現(xiàn)的．掃描器中裝有壓電轉(zhuǎn)換器．壓電裝置在X，Y，Z三個方向上精確控制樣品或探針位置。

鈦鋯酸鉛[Pb(Ti,Zr)O3]制成的壓電陶瓷材料

1mv~1000V的電壓信號轉(zhuǎn)換成十幾分之一納米到幾微米的位移。第十三頁，共二十一頁，2022年，8月28日靈敏度探測器激光器懸臂分子間力第十四頁，共二十一頁，2022年，8月28日工作方式接觸式非接觸式敲打式第十五頁，共二十一頁，2022年，8月28日1.接觸成像方式

探針與被測表面距離約為1nm，通過斥力來使懸臂發(fā)生彎曲。第十六頁，共二十一頁，2022年，8月28日2.非接觸成像方式

探針與被測表面距離在幾納米到幾十納米之間，通過引力來使懸臂發(fā)生彎曲，通常在10-12N左右，導(dǎo)致的彎曲可使探針以接近于其自身共振頻率及幾納米到數(shù)十納米的振幅振動。第十七頁，共二十一頁，2022年，8月28日3.敲擊成像方式

懸臂在試樣表面上方以其共振頻率振蕩，針尖僅僅是周期性地短暫地接觸、敲擊樣品表面，它在一定程度上減小樣品對針尖的粘滯現(xiàn)象。第十八頁，共二十一頁，2022年，8月28日1.接觸成像方式

優(yōu)點：掃描速度快，垂直方向分辨率最高。

缺點：橫向力大，橫向分辨率差，針尖容易損傷軟質(zhì)樣品。2.非接觸成像方式

優(yōu)點：不會損傷樣品。

缺點：分辨率低，掃描速度慢。3.敲打成像方式

優(yōu)點：橫向力影響很小，圖像分辨率高，適于觀察軟質(zhì)、粘稠樣品。

缺點：掃描速度較第一種差。第十九頁，共二十一頁，2022年，8月28日1.優(yōu)點

極高分辨率

對樣品、環(huán)境沒特別要求

可進行原子操作

1988，Albrecht，聚合物膜第二十頁，共二十一頁，2022年