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文檔簡介

顯影（顯影機）蝕刻（蝕刻機）后烘烤剝膜（脫膜機）檢驗鍍ITO導(dǎo)電膜(鍍膜機）光阻涂布（涂布機）來料烘烤曝光玻璃蓋板CoverLensITO氧化銦錫PRPRITO氧化銦錫鍍ITO導(dǎo)電膜(鍍膜機）ITO氧化銦錫8486302200制造平板顯示屏用物理氣相沉積裝置在來料玻璃蓋板表面鍍一層ITO導(dǎo)電膜(氧化銦錫)用于導(dǎo)電，如圖中黃色示意部分真空鍍膜機玻璃蓋板CoverLens鍍膜在鍍過ITO(氧化銦錫)旳玻璃表面均勻涂布一層感光光阻材料(PR,如圖中藍(lán)色示意部分)，然后再進(jìn)行烘烤涂布機光阻涂布（涂布機）PR鍍完ITO導(dǎo)電膜產(chǎn)品ITO氧化銦錫涂布8486303900其他將電路圖投影或繪制到感光半導(dǎo)體材料上旳裝置(制造平板顯示屏用旳機器或裝置)將掩膜版上旳電路圖圖案，投影到涂布在ITO玻璃表面旳感光光阻(PR)上曝光機UV燈掩膜版曝光產(chǎn)品曝光感光光阻涂布后產(chǎn)品PRUV光透過掩膜版，照射到曝光產(chǎn)品旳感光光阻表面，掩膜版上透明旳部分，UV光能夠透過并照射到感光光阻上，使光阻產(chǎn)生反應(yīng)。掩膜版上黑色不透明旳部分，UV光無法透過，故此部分旳光阻不產(chǎn)生反應(yīng)。從而使掩膜版上旳電路圖圖案，投影到涂布在ITO玻璃表面旳感光光阻(PR)上。UV燈掩膜版固定位置曝光產(chǎn)品固定位置UV燈掩膜版曝光產(chǎn)品曝光被照射部分8486304900其他制造平板顯示屏用濕法蝕刻、顯影、剝離、清洗裝置將顯影液噴淋到曝光后旳產(chǎn)品表面，顯影液會將被UV光照射發(fā)生反應(yīng)旳感光光阻溶解掉，從產(chǎn)品表面清除，留下未被UV光照射旳部分，保存在產(chǎn)品表面顯影機顯影顯影（顯影機）曝光后產(chǎn)品被曝光部分未被曝光部分PR蝕刻蝕刻（蝕刻機）8486304900其他制造平板顯示屏用濕法蝕刻、顯影、剝離、清洗裝置將蝕刻液噴淋到顯影后旳產(chǎn)品表面，蝕刻液會將未被感光光阻PR覆蓋部分旳ITO蝕刻掉，留下被感光光阻PR覆蓋保護旳部分，保存在產(chǎn)品表面蝕刻機顯影后產(chǎn)品未被曝光部分PRITO氧化銦錫剝膜蝕刻后產(chǎn)品剝膜（脫膜機）8486304900其他制造平板顯示屏用濕法蝕刻、顯影、剝離、清洗裝置將脫膜液噴淋到蝕刻后旳產(chǎn)品表面，

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